河村 敏雄 Kawamura Toshio

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  • An a-Si TFT Array for 15-inch Full-Color High Resolution LCD.  [in Japanese]

    Kawamura Toshio , Fujii Ken-ichi , Honda Kouichi , Iwasaki Katsuo , Tamura Tatsuhiko , Koseki Hideo , Hotta Sadayoshi

    ワークステーション対応15インチTFTアレイの高歩留まりプロセスを確立した.信号遅延を低減するためにゲート, ソースの両配線にアルミニウムを用いた.ゲート配線は, ヒロック発生を抑制するためクロムとシリコン添加アルミニウム合金の2層構造とし, ソース配線は, 半導体層へのアルミニウムの拡散を抑制するためにバリアメタルとしてチタンを取り入れた2層構造にした.断線, 短絡欠陥の発生確率を低減するため, …

    The Journal of the Institute of Television Engineers of Japan 47(5), 630-635, 1993

    J-STAGE 

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