石内 秀美 ISHIUCHI Hidemi

ID:9000045428967

(株)東芝セミコンダクター&ストレージ社 Semiconductor & Storage Products Company, Toshiba Corporation (2012年 CiNii収録論文より)

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  • Trends in CMOS Technology Based on ITRS 2011 Edition  [in Japanese]

    ISHIUCHI Hidemi

    ITRS(国際半導体技術ロードマップ)は,世界5極(欧州,日本,韓国,台湾,米国)の半導体工業会(ESIA,JEITA,KSIA,TSIA,SIA)がスポンサーとなって,将来15年にわたる半導体技術動向とそれを実現するための技術課題をそれぞれの分野の専門家がまとめたものである.ITRSの2011年版(最新版)から見たCMOS技術のトレンドを紹介する.素子寸法の微細化を続けるためにリソグラフィーをは …

    The Journal of the Institute of Electronics, Information, and Communication Engineers 95(11), 954-959, 2012-11-01

    References (2) Cited by (1)

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