松本 宏 MATSUMOTO Hiroshi

ID:9000045998286

千葉工業大学工学部 Chiba Institute of Technology (2009年 CiNii収録論文より)

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  • Electrical and Mechanical Characteristics of Metal-Doped Carbon Thin Films  [in Japanese]

    MATSUMOTO Hiroshi , KAMATA Tomoyuki , UMEMURA Shigeru , YABE Mitsunori , HIRONO Shigeru , NIWA Osamu , DIAO Dongfeng

    金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として,RFスパッタ法によって成膜したNiドープおよびAgドープカーボン薄膜について,電気的・機械的性質および摩擦特性の評価を行った.その結果,Niドープカーボン薄膜およびAgドープカーボン薄膜は金属ドープ濃度の増加に伴い,導電性に優れ,耐摩耗性は劣る結果を示した.また,ノンドープカーボン薄膜と比較しNiドープカーボン薄膜は摩 …

    IEICE technical report 109(352), 21-24, 2009-12-11

    References (2)

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