東原 秀和 TOHARA Hidekazu

ID:9000046001128

信州大学繊維学部 Shinshu University (2009年 CiNii収録論文より)

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  • Tribological Characteristics of ECR-Sputtered Fluorocarbon Thin Films  [in Japanese]

    SUZUKI Manabu , KAMATA Tomoyuki , TOMINE Yusuke , HIRUMA Shun , UMEMURA Shigeru , HIRONO Shigeru , TOHARA Hidekazu , OKINO Hujio , HATTORI Yoshiyuki , NIWA Osamu , DIAO Dongfeng

    筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜について,AFMによる表面粗さ測定,ボールオンディスク型摩擦試験機による摩擦試験を行った.その結果,表面粗さは無添加ECRスパッタカーボン薄膜と比べて変化はなかった.また,摩擦試験の結果,膜中フッ素濃度の増加に伴い摩擦係数は増加した.

    IEICE technical report 109(352), 17-20, 2009-12-11

    References (4)

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