丹羽 修 NIWA Osamu

ID:9000046001141

産業技術総合研究所 Advanced Industrial Science and Technology (2009年 CiNii収録論文より)

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  • Electrical and Mechanical Characteristics of Metal-Doped Carbon Thin Films  [in Japanese]

    MATSUMOTO Hiroshi , KAMATA Tomoyuki , UMEMURA Shigeru , YABE Mitsunori , HIRONO Shigeru , NIWA Osamu , DIAO Dongfeng

    金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として,RFスパッタ法によって成膜したNiドープおよびAgドープカーボン薄膜について,電気的・機械的性質および摩擦特性の評価を行った.その結果,Niドープカーボン薄膜およびAgドープカーボン薄膜は金属ドープ濃度の増加に伴い,導電性に優れ,耐摩耗性は劣る結果を示した.また,ノンドープカーボン薄膜と比較しNiドープカーボン薄膜は摩 …

    IEICE technical report 109(352), 21-24, 2009-12-11

    References (2)

  • Tribological Characteristics of ECR-Sputtered Fluorocarbon Thin Films  [in Japanese]

    SUZUKI Manabu , KAMATA Tomoyuki , TOMINE Yusuke , HIRUMA Shun , UMEMURA Shigeru , HIRONO Shigeru , TOHARA Hidekazu , OKINO Hujio , HATTORI Yoshiyuki , NIWA Osamu , DIAO Dongfeng

    筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜について,AFMによる表面粗さ測定,ボールオンディスク型摩擦試験機による摩擦試験を行った.その結果,表面粗さは無添加ECRスパッタカーボン薄膜と比べて変化はなかった.また,摩擦試験の結果,膜中フッ素濃度の増加に伴い摩擦係数は増加した.

    IEICE technical report 109(352), 17-20, 2009-12-11

    References (4)

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