武岡 吉彦 TAKEOKA Yoshihiko

ID:9000253324137

新日本製鐵(株)第一技術研究所素材第三研究センター R & D Laboratories I. Niooon Steel Corp. (1988年 CiNii収録論文より)

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  • Ring-Likely Distributed Stacking Faults in CZ-Si Wafers

    HASEBE Masami , TAKEOKA Yoshihiko , SHINOYAMA Seiji , NAITO Shunta

    半導体集積回路の微細化と,それに使用されるシリコンウエハーの大口径化に伴い,結晶中の欠陥および不純物の低減と分布均一化が強く求められている.本稿で紹介する欠陥は, CZシリコン結晶中に熱酸化処理後,ウエハー面内にリング状に分布し,発生する積層欠陥である.われわれは,不均一分布の原因が,結晶育成中に生成される高温で安定な酸素析出物核の分布によるものであること,また,この積層欠陥は,酸化によって導入さ …

    OYOBUTURI 57(10), 1541-1545, 1988

    J-STAGE 

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