金丸 正剛 KANEMARU Seigo

ID:9000253326918

電子技術総合研究所電子デバイス部 Electron Devices Division, Electrotechnical Laboratory (1998年 CiNii収録論文より)

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  • Application of nanofabrication technology to vacuum microelectronics

    ITOH Junji , KANEMARU Seigo , MATSUKAWA Takashi

    真空マイクロエレクトロニクス研究の現状を,ナノメートル加工の応用という視点で解説した.スピント型エミッタやシリコンエミッタ,さらにはカーボンナノチューブまで含めて,構造を示しながら加工プロセスを述べた.また,エミッタの構造や表面物性の評価技術についても特に触れた.

    OYOBUTURI 67(12), 1390-1394, 1998

    J-STAGE 

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