金丸 正剛 KANEMARU Seigo

ID:9000253648813

電子技術総合研究所 Electrochemical Laboratory (1996年 CiNii収録論文より)

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  • Field Emission Phenomena and Applications. Emission Characteristics of Silicon Field Emitter Array.  [in Japanese]

    ITOH Junji , KANEMARU Seigo

    単結晶Siを用いたゲート電極付電界放射列(FEA)の研究は,ここ数年間で急速に進展してきた。最新のSi-LSI技術を利用することで,高い再現性と精度で構造を作製でき,また,半導体としての電気伝導メカニズムに基づく多様な電子放射特性を示す,などがその理由であろう。本稿では,Si-FEAの構造,作製プロセス,放射電流の揺らぎ,p/n接合を内蔵するエミッタの放射特性を述べ,最後に放射電流の安定化に対する …

    Hyomen Kagaku 17(12), 718-723, 1996

    J-STAGE 

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