下元 泰治 SHIMOMOTO Yasuharu

ID:9000254333478

(株) 日立製作所中央研究所 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. (1979年 CiNii収録論文より)

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  • Dry Etching  [in Japanese]

    OKUDAIRA Sadayuki , SHIMOMOTO Yasuharu , KAWAMOTO Yoshifumi

    Journal of the Metal Finishing Society of Japan 30(10), 508-517, 1979

    J-STAGE 

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