牧野内 昭武

ID:9000258635222

理化学研究所 ものつくり情報プログラム (2003年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • Surface Valuation of Ceramics for Lightweight Mirrors after ELID Grinding

    戴 玉堂 , 大森 整 , 渡辺 裕 , 林 偉民 , 鈴木 亨 , 惠藤 浩朗 , 牧野内 昭武

    軽量ミラーを仕上げ加工する際,ミクロンオーダーの微細砥石でも,表面にマイクロボイド及びマイクロクラックが発生する可能性がある.それを除去または改善するために,研削条件の最適化が効果的と予想される.そこで本研究は,3種の軽量ミラー材(CVD-SiC, Sintered-SiC, Zerodur)に対し,各条件においてELID研削した表面を原子間力顕微鏡にて評価し,研削条件の影響について検討したので報 …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003S(0), 342-342, 2003

    J-STAGE 

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