横沢 毅 Yokosawa Tsuyoshi

ID:9000258641904

東京都立産業技術研究所 技術開発部 加工技術グル-プ Tokyo Metropolitan Industrial Technology Reserch Institute (2005年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • Polishig of CVD diamond Film – 4th Report Study of Condition for Polishing plane

    Yokosawa Tsuyoshi , Takagi Jun-ichiro , Kataoka Seizi

    CVDダイヤモンド膜の新たな研磨方法として砥粒レス超音波研磨を提案し,工具材にチタンを選び,さらに研磨表面に油を塗布することで研磨が進むことを既に確認している.そこで,本研磨法を実用化することを目的に平面研磨を試みた.その結果,一回目の工具送り方向と二回目の工具送り方向を直行させることで滑らかな研磨面が得られ,さらに工具送り方向と超音波振動方向を同一にすると研磨面はさらに滑らかになることを確認した …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2005A(0), 513-514, 2005

    J-STAGE 

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