谷口 直哉 Taniguchi Naoya

ID:9000258656013

大阪大 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 Osaka University (2011年 CiNii収録論文より)

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  • Light scattering simulation of nano structures on silicon wafer by 3D-FEM based electromagnetic analysis

    Oshikane Yasushi , Higashi Takaya , Taniguchi Naoya , Inoue Haruyuki , Nakano Motohiro

    Siウエハ上に存在するナノ粒子やナノ欠陥などの大面積,高速検出には,ウエハ上の広範囲を高感度CCDカメラにより観察することが望ましく,実験では,単色光やブロード光の斜入射照明により,それらナノ構造の散乱輝点をCCD画像中に撮影できている.しかし照明条件,観察条件に依存した輝点強度とナノ構造との相関を明らかにしなければ,CCD画像によるナノ構造検出の優位性が示せない.そこで同散乱現象の電磁場シミュレ …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2011A(0), 1008-1009, 2011

    J-STAGE 

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