谷口 尚司 Taniguchi Syoji

ID:9000283739125

東北大学 環境科学研究科 (2004年 CiNii収録論文より)

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  • Experiment of wet-etching with spry nozzle for copper in ferric chloride solution

    Matsumura Kazutoshi , Matsumoto Katsutoshi , Taniguchi Syoji

    これまで、代表的な乱流場である攪拌槽でのウェットエッチングを行ってきたが、実操業ではスプレーノズルを用いて強い乱流場でエッチングを行っている。そこで、スプレーノズルを用いて塩化第二鉄溶液による銅のエッチングを行った。流量、液温などの条件を変化させエッチング速度、見かけの活性化エネルギー、キャビテイ形状などに対する影響について考察を行った。

    Proceedings of JIEP Annual Meeting 18(0), 177-178, 2004

    J-STAGE 

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