長尾 守 Nagao Mamoru

ID:9000283808076

高知工科大学 工学部 知能機械システム工学科 Kochi University of Technology (2006年 CiNii収録論文より)

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  • Micro Manufacturing by Use of Highly Charged Ar Ion Beams

    Momota Sadao , Morita Noboru , Iwamitsu Shingo , Nagao Mamoru , Pahlovy Shahjada , Nojiri Yoichi , Ohno Hirohisa , Taniguchi Jun , Miyamoto Iwao , Kawasegi Noritaka

    ArイオンをSOGに照射し、エッチングにより試料表面に段差構造を形成した。Arイオンの加速電圧を変えて照射し、イオンの運動エネルギーが段差構造に与える影響を観測した。実験結果を予想される飛程や欠陥分布と比較し、加工のメカニズムについて考察する。

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2006S(0), 1245-1246, 2006

    J-STAGE 

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