川波多 裕司 KAWAHATA Yuji

ID:9000303645365

立命館大学理工学部 (2015年 CiNii収録論文より)

同姓同名の著者を検索

論文一覧:  3件中 1-3 を表示

  • G1300106 鋳鉄ラップと多孔質ウレタンパッドの相似性

    谷 泰弘 , 張 宇 , 川波多 裕司 , 桐野 宙治

    In this paper, we examined the processing characteristics of the cast iron plate and the urethane resin porous polishing pads. The similarities between the cast iron lapping plate and the porous ureth …

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015, "G1300106-1"-"G1300106-3", 2015-09-13

  • G1300105 研磨パッドの研磨特性とスラリーのポンピング効果の関連性

    張 宇 , 谷 泰弘 , 川波多 裕司 , 桐野 宙治

    Various kinds of polishing pads have been utilized for polishing glasses, Si wafers, etc. In this paper, authors focus on the pumping effect of slurry in the pores of polishing pads. For improving the …

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015, "G1300105-1"-"G1300105-3", 2015-09-13

  • S133012 Siのエッチング援用スライスにおける切断特性の向上([S133]先進砥粒加工技術)

    村田 順二 , 土田 剛史 , 谷 泰弘 , 張 宇 , 桐野 宙治 , 川波多 裕司

    Si wafers for solar cells are fabricated by slicing ingot using mechanical slicing method such as multi-wire sawing. Recently, the slicing method for achieving low kerf loss and thin wafer without gen …

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013, "S133012-1"-"S133012-3", 2013-09-08

ページトップへ