田辺 稔 Tanabe Minoru

ID:9000303997299

(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門 National Metrology Institute of Japan, AIST (2015年 CiNii収録論文より)

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  • Study on Bimetal MEMS Calorimeter as Optical Power Standard with High Sensitivity and Large Sensitive Area  [in Japanese]

    Amemiya Kuniaki , Fukuda Daiji , Numata Takayuki , Tanabe Minoru , Zama Tatsuya

    高感度な熱型光検出器としてのバイメタルMEMSカロリメータの実現可能性について検討した.標準的なMEMS製造プロセスで作製できる構造のうち,5mm×5mmに及ぶ大面積のバイメタルセンサについて熱-機械的特性を有限要素法数値計算で評価した.その結果いくつかの設計において,同サイズの従来型熱電モジュール方式熱型光センサと比べて,等価ノイズパワーを一桁以上小さくできることを見出した.試作したセンサを評価 …

    Netsu Bussei 29(1), 19-26, 2015

    J-STAGE 

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