伊東 聡 ITO So

論文一覧:  18件中 1-18 を表示

  • 3次元微細加工用高速高機能工具サーボ制御装置の開発 (特集 ものづくりライセンス技術の実用化)

    伊東 , 陳 遠流 , 盧 泳辰 [他]

    ケミカルエンジニヤリング 58(7), 515-523, 2013-07

  • 超高感度角度センサに関する研究

    村田 大 , 清水 裕樹 , 伊東 , 高 偉

    近年,半導体デバイスや光学素子の微細化に伴って,それらの製造・検査に用いられている精密ステージには高精度な位置決めが要求されている.角度センサはレーザオートコリメーション法を用いて精密ステージの位置決め誤差の要因となる微小な姿勢変化を計測するセンサである.本報では,センサのレーザービーム径を拡大することで受光素子上の光スポット径を小径化し,角度検出感度の高感度化を行った結果を報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 919-920, 2013

    J-STAGE

  • 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究

    伊東 , 児玉 一成 , 高 偉

    本研究では微小構造物の形状計測のための微小球付きナノピペットプローブの開発に取り組んでいる.熱引き加工により先鋭介したガラス製ナノピペットの先端部分にマイクロ微小球を取り付けることでプローブとして使用する.本報では,微小球付きナノピペットプローブを用いたマイクロ構造物の形状計測システムの開発とその基本特性の評価について報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 899-900, 2013

    J-STAGE

  • 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究

    伊東 , 小玉 一成 , 高 偉

    本研究では微小構造物の形状計測のために微小球付きナノピペットプローブの開発に取り組んでいる.本研究で対案するプローブは測定対象物表面に存在するメニスカス層との相互作用に起因するシェアフォースを用いて試料との接触を検出し,測定対象の形状を計測する.本報では,周波数変調(FM)法によるシェアフォース検出の高感度化について紹介し,接触検出の分解能および計測精度の評価について報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013A(0), 357-358, 2013

    J-STAGE

  • 微細形状測定のための非接触静電気力走査型プローブ顕微鏡に関する研究

    後藤 成晶 , 細渕 啓一郎 , 伊東 , 清水 裕樹 , 高 偉

    本研究では微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡を提案し,その開発を目的とする.水晶振動子に接着した探針に電荷を与え,探針と試料表面との間に働く静電気力を測定しながら試料表面を非接触で倣い走査する.20 nm以上の探針・試料間距離を維持する完全非接触走査で,静電気力に影響を与える試料表面電荷分布等のパラメータをキャンセルしつつ探針・試料間の絶対距離を算出することにより表面形状を定量的に取得する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012S(0), 469-470, 2012

    J-STAGE

  • 歯車形状測定の高精度化に関する研究

    武石 俊希 , 許 斌 , 伊東 , 清水 裕樹 , 高 偉 , 山崎 宏 , 中沢 芳司

    歯車測定装置において,歯車及び変位センサをシステムに設置するときに生じる主な誤差要因である偏心誤差,センサ軸のずれによる誤差を計算し,それらの影響を取り除く方法を提案する.実際の実験系においては偏心量およびセンサ軸のずれ量を測定するのは困難であるため,偏心量およびセンサ軸のずれ量を与えることができる測定シミュレーションを開発し,提案手法の有効性を確認した.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012S(0), 449-450, 2012

    J-STAGE

  • モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究

    細野 幸治 , 金 于載 , 清水 裕樹 , 伊東 , 高 偉

    筆者らは,2枚のXY格子からのXY方向±1次回折光によって生じる干渉信号からXYZ 3軸の変位を同時計測できる3軸サーフェスエンコーダを提案してきた.本センサはXY格子を3軸変位検出の計測基準として用いているため,XY方向の計測範囲はスケール用XY格子のサイズによって決まる.本報では,モザイクXY格子によりXY方向の計測範囲を拡大する手法を提案する.モザイクXY格子に対応したセンサヘッドを開発し, …

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012S(0), 431-432, 2012

    J-STAGE

  • 微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究

    伊東 , 小玉 一成 , 高 偉

    微細形状計測のための新規なプローブについて提案する.本研究では,中空の毛細ガラス管を熱引き加工により先鋭化したナノピペットを使用する.先鋭化されたナノピペットの先端部分に微小球を取り付けることでプローブとして用いられる.本報では,ナノピペットプローブ先端と測定対象物間の距離をナノメートルオーダーの分解能で検出可能なセンサを開発し、ナノピペットプローブの感度特性について評価した結果を報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012A(0), 969-970, 2012

    J-STAGE

  • 衛星用大型ミラーの加工機上高精度形状測定に関する研究 (第1報)

    後藤 成晶 , 清水 裕樹 , 李 貞徹 [他] , 伊東 , 高 偉 , 足立 茂 , 大宮 恭平 , 佐藤 広規 , 久田 哲弥 , 齋藤 佳史 , 久保田 浩明

    This paper presents an on-machine surface profile measurement system for a large mirror to be used on a satellite. The system is constructed by fixing a long-stroke length gauge on a commercial rotary …

    精密工学会誌 78(7), 631-635, 2012

    J-STAGE

  • ナノピペットプローブを用いた電気泳動による液中堆積加工法の開発

    伊東 , 山崎 晃資 , 岩田 太

    走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いた微細加工はナノスケールの加工技術として注目されている。我々は内部に溶液試薬を充填可能なナノピペットをプローブとして用いたSPMを開発し、ナノスケール微細堆積加工法を報告してきた。本研究では液中環境下でプローブ-基板間距離を制御可能なナノピペットプローブを有するSPMを開発し、ナノ微粒子を充填したナノピペットを用いて溶液中で電気泳動により基板上への堆積加工を行っ …

    精密工学会学術講演会講演論文集 2010A(0), 25-26, 2010

    J-STAGE

  • マイクロ磁気プローブで操作された磁性体微粒子による生体試料のマニピュレーション

    伊東 , 岩田 太 , 中尾 秀信 [他] , 七里 元晴

    We describe a novel manipulation technique by using localized magnetic field for manipulation of micro magnetic particles in non-contact condition. In this micro manipulation technique, soft-ferromagn …

    精密工学会誌 76(1), 64-68, 2010

    J-STAGE

  • 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた微細金属ドット堆積法の開発

    伊東 , 岡田 光希 , 慶野 拓也 , 可児 昌寛 , 岩田 太

    我々は新規な微細加工法として内部に溶液試薬が充填可能なナノピペットをプローブとした走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発し、ナノスケールにおける微細加工法を開発してきた。これまで電解質溶液を内部に充填したピペットを用いて、めっき加工による金属ナノドットを作製した。本研究ではめっき加工中に流れるピペット‐基板間の電流をモニタリングすることで、ナノドットの体積コントロールを行った。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2009A(0), 811-812, 2009

    J-STAGE

  • レーザマニピュレーションと界面相互作用を用いた微粒子の基板固定方法の開発

    伊東 , 山本 龍二 , 岩田 太 , 佐々木 彰

    レーザマニピュレーション技術はマイクロマシンなどの分野において組立て技術への応用が注目されている。我々は液中でレーザマニピュレーションにより微粒子を基板上に配列させ、界面相互作用を用いて強固に固定する方法を開発した。界面相互作用による粒子の固定方法は液中で配列したパターンを維持した状態で大気中に取り出すことが可能であり、マイクロマシンの組立てや光導波路などの光学デバイスの作成への応用が期待される。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2006S(0), 939-940, 2006

    J-STAGE

  • マイクロマグネティックマニピュレータの開発と磁気微粒子の非接触操作

    伊東 , 岩田 太 , 佐々木 彰

    微小領域で微細な物体を観察するのみでなく、マニピュレーションする技術の開発はマイクロマシンなど微細部品の組み立てやバイオの分野において重要である。<br>我々は磁気を制御することで非接触でマイクロ磁性微粒子を移動及び配列させるマイクロマニピュレータを開発したので報告する。マイクロスケールの磁気微粒子はDNAなど生体分子に吸着させることが可能であり、バイオの分野での応用が期待できる。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2004A(0), 562-562, 2004

    J-STAGE

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