周 立波 Zhou Libo

論文一覧:  18件中 1-18 を表示

  • ステレオ法を用いた研削砥石作業面の機上3次元計測システムに関する研究

    尾嶌 裕隆 , 小松崎 一気 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平

    砥粒切れ刃の高さ,形状や分布を計測するために,ステレオ視法を用い,研削機上で砥石作業面トポグラフィの3次元計測が可能なシステムの構築を行った.撮影したステレオ画像視野内各点の視差に基づき,その奥行情報(高さ)を求め,トポグラフィを再構築し,また研削過程における砥石作業面の追跡観察を行った.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 756-757, 2016

    J-STAGE

  • LTウエハ研削プロセスにおける応力計算

    陸 文通 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 山本 武幸

    タンタル酸リチウム単結晶(LiTaO3またはLT)は,圧電・焦電性を持ち多機能材料として幅広く使われる.圧電及び焦電特性が働いているため,材料の機械特性に影響される.本研究の目的は、LTウエハ研削における機械的応力,電気的応力,熱的応力三つの応力を分析した.<0001>に沿って焦電及び圧電効果が発生する力は総合応力の80%を占めている.また,<2110>(あるいはX-cut …

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 709-710, 2016

    J-STAGE

  • 定在波音場を用いた産業廃棄物分別方法の開発

    染谷 瑠実 , 稲田 智広 , 尾嶌 裕隆 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平

    工業廃棄物に含まれる金や銅などの貴金属は電子製品の導電体として用いられ,再利用価値が高い.それらは一般的に,小片から磁選機によって磁性金属とプラスチック類に分別される.しかし,この方法ではアルミなどの非磁性金属は取り出すことができない.そこで本研究では,音響浮揚技術を用いて物質の大きさに関係なく密度のみで分別する方法及び分別装置の開発を行った.実際に分別実験を行い,その結果について報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 551-552, 2016

    J-STAGE

  • ハイブリッド送り機構を用いたCFRP加工技術の開発

    會田 和樹 , 竹之内 大輔 , 尾嶌 裕隆 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平 , 山本 武幸

    CFRP(炭素繊維強化プラスチック)は新たな材料として航空機などに用いられ,その需要が高まっているが加工難度が高く、加工精度や工具寿命の問題がある.本研究では定圧・定送りを両立したハイブリッド送り機構を用いた研削加工による穴あけ加工技術を開発し,精度の高いCFRP加工の実現を目指す.その前段階として,ハイブリッド送り機構のシステムを構築し,ハイブリッド送り機構についての検証実験を行った.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 529-530, 2016

    J-STAGE

  • 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究(第3報)

    小貫 哲平 , 小林 悠太 , 蝦名 雄太郎 , 尾嶌 裕隆 , 清水 淳 , 立波

    光学式厚さ計における、焦点合わせ誤差、測定角度誤差、および偏心収差が厚さ測定値に及ぼす影響を数値解析および実験から定量評価する。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 401-402, 2016

    J-STAGE

  • Cu-W電極を用いた微小放電堆積加工

    高濱 到 , 石井 雅人 , 山本 武幸 , 清水 淳 , 立波 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆

    これまでにもEDM堆積を用いた加工は他の研究者によって研究され,微細構造の創成も報告されている.しかしながら,諸々の加工条件が堆積に及ぼす影響はあまり深く探求されていないとみなせる.本研究では,Cu-W電極を用いて微小構造物の創成を試み,おもに電極直径や放電条件が微小構造に及ぼす影響を調べた結果について報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 155-156, 2016

    J-STAGE

  • ダイヤモンド砥石によるサファイアウエハの研削加工技術に関する研究

    山崎 直樹 , 菅野 直 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 金安 充

    単結晶サファイアは青色LEDの基盤やスマートフォンのカバーガラスなどに工業的に広く用いられている.一方,加工には課題も多く,プロセスの開発進められている.本研究では,研削実験により除去メカニズムを解明して,ダイヤモンド砥石による高能率・高品質な加工プロセスの確立を目的としている.本報では,SD1000砥石による研削実験で得られた結果に基づいて,加工における問題点,除去メカニズムについて報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2016A(0), 139-140, 2016

    J-STAGE

  • 金属のねじり変形に及ぼす圧縮静水圧応力の影響

    植崎 圭人 , 清水 淳 , 立波

    It is known that the mechanical properties of metals change with the given compressive hydrostatic pressure. However, the mechanism of such phenomenon has not been fully understood, because most exper …

    精密工学会誌 82(5), 448-453, 2016

    J-STAGE

  • ステレオ画像による砥石作業面トポグラフィの機上3次元計測システム開発に関する研究

    尾嶌 裕隆 , 長山 拓矢 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平

    The shape and distribution of abrasive grains in the grinding wheel have a significant influence on the grinding performance. Therefore in order to realize the high-precision grinding process, it is e …

    精密工学会誌 82(2), 186-191, 2016

    J-STAGE

  • SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究

    田代 芳章 , 立波 , 清水 淳 , 篠田 知顕 , 三上 祐樹

    In semiconductor industry, production of ever flatter, thinner and larger Si wafer are required to fulfill the demands in high integration and cost reduction. A severe problem encountered in wafer thi …

    精密工学会誌 81(10), 957-962, 2015

    J-STAGE

  • ニオブ酸リチウム単結晶への超短パルス・サブバンドギャップレーザを用いた レーザアブレーション微細加工における材料除去と変質・損傷発生の機構解明と制御

    村山 一平 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 清水 淳 , 立波

    LiNbO3への高品位微細加工技術のために、レーザアブレーション微細加工における材料除去機構について調べ、変質・損傷を抑えて除去加工する条件を求めた。発熱が加工面変質・損傷の要因になり、光学的吸収端(3.8eV)より低レベル(1.17eV)で電子-格子相互作用時間(>nsec)より短い(60ps)レーザパルスの断続的(1kHz)重ね照射による多光子遷移と冷却期間の過程導入が有効であることを示した。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 573-574, 2013

    J-STAGE

  • ダイヤモンド砥石における砥粒切れ刃の3次元分布

    蛯名 雄太郎 , 杭 偉 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 山本 武幸 , 渡邊 拓也

    GaN系発光ダイオード(LED)の基板材料として使用されているサファイアウエハは難削材であり、平坦化工程のさらなる高能率化のために、ダイヤモンド研削工程における表面品位の向上が求められている。本研究では砥石の砥粒切れ刃の3次元分布を求め、砥粒粒径の標準偏差σと突き出し係数κについて、値を変化させ砥粒切れ刃密度の変化を調査したことについて報告する。

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 547-548, 2013

    J-STAGE

  • 金属材料切削におよぼす引っ張り静水圧力の影響

    植崎 圭人 , 清水 淳 , 立波 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 山本 武幸

    工作物に引張り静水圧を付与することは難しく,引張り静水圧環境が機械加工に及ぼす影響は明らかにされていない.本研究では,引張り静水圧環境が切削に与える影響を明らかにするため,分子動力学による検討を試みた結果について報告する.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 315-316, 2013

    J-STAGE

  • 微小テクスチャ金型の開発とその応用(第2報)

    清水 淳 , 山本 武幸 , 立波 , 尾嶌 裕隆 , 小貫 哲平 , 永岡 駿一

    微小テクスチャによる表面機能向上への期待は大きい.著者らも微小切削溝導入に伴う表面積増大により,光触媒機能の一種の親水性の改善を見出している.本報では,高周波微小振動を加工面と垂直に付加し微小切削した.その結果,数ミクロンの振幅と切込みによれば,数ミクロン高低差の押込み痕と塑性盛上りによる凹凸創成可能なことがわかった.3ミクロン周期で1ミクロン未満の高低差の凹凸によるテクスチャ創成も実現した.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 311-312, 2013

    J-STAGE

  • Development of Areal Wavelet Transform applying to the 2D image

    鈴木 泰樹 , 尾嶌 裕隆 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平

    Today, there is an increased need for quality control in the manufacturing sectors. Particularly, the automated detection of the product surface defect is essential to fulfill the requirement of qual …

    精密工学会学術講演会講演論文集 2013S(0), 1109-1110, 2013

    J-STAGE

  • サファイアウエハの研削加工に関する研究

    蛯名 雄太郎 , 杭 偉 , 立波 , 清水 淳 , 小貫 哲平 , 尾嶌 裕隆 , 山本 武幸

    GaN系発光ダイオード(LED)の基板材料として使用されているサファイアウエハは,難削材であり,研削工程において高品質かつ高効率に加工を行うことが困難である.本研究ではダイヤモンド砥石の集中度とボンド材,および砥石周速を変化させた際の,算術平均表面粗さ(Ra),接線方向研削抵抗(Ft),研削比に与える影響を比較検討した.

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012S(0), 581-582, 2012

    J-STAGE

  • 振動切削による表面微小テクスチャ創成に関する研究

    清水 淳 , 小林 剛 , 山本 武幸 , 尾嶌 裕隆 , 小貫 哲平 , 立波

    微小テクスチャによる表面機能向上への関心は高い.著者らも既報において,微小切削テクスチャによる光触媒膜の機能向上を確認するなどしている.本報では,精密三軸加工機にファストツールサーボを導入し,背分力方向に微小振動をさせつつ微小切削することにより,より微細な表面テクスチャの創成を試みた.その結果,切削溝への振動パターンの転写と,三角錐圧子の稜をすくい面に見立てた切削によるバリの高さが,面による切削に …

    精密工学会学術講演会講演論文集 2012S(0), 53-54, 2012

    J-STAGE

ページトップへ