佐野 貴之 Sano Takayuki

ID:9000345193850

大阪大学 Osaka University (2016年 CiNii収録論文より)

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  • Effect of Cu(Ti)/IGZO-Junction Interface on IGZO-TFT Performance  [in Japanese]

    Kohama Kazuyuki , Ito Kazuhiro , Nishibata Atsushi , Sano Takayuki , Nabatame Toshihide , Ohi Akihiko

    IGZO膜上にCu(Ti)合金電極を成膜して薄膜トランジスタを作製し、熱処理してCu(Ti)/IGZO接合界面に導電性Ti基酸化物層を反応形成させた。界面の接触抵抗値低減とトランジスタの電気特性向上に及ぼす界面微細組織の影響を調査し、両特性のバランスが良くなる熱処理条件等を探索して従来電極に対する優位性を検討した。

    Preprints of the National Meeting of JWS 2016s(0), 160-161, 2016

    J-STAGE 

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