毎田 修 Maida Osamu

ID:9000347215411

応用物理学会 The Japan Society of Applied Physics (2015年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • Fabrication of single-crystalline CVD diamond with periodic thin columnar structure and its application to particle detectors

    Shimizu Akito , Maida Osamu , Ito Toshimichi

    我々は、検出領域に微細構造を有するダイヤモンド検出器における検出感度の向上を目指し、単結晶ダイヤモンドの周期的微細柱状構造の作製とその検出器として特性評価を行っている。本研究では、簡易フォトリソグラフィプロセスを用いて、≈1μm、あるいはそれ以下のより微細なパターンを作製できるプロセスを確立するとともに、そのような微細構造を有するCVDダイヤモンド検出器を作製し、電子線における検 …

    Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 35(0), 128, 2015

    J-STAGE 

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