齋藤 陽一 SAITO YOICHI

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  • Preparation of ZnO thin films via solution-deposited ZnO2 precursor films  [in Japanese]

    SHIGA TATSUKI , SAITO YOICHI , HITOMI MISAKO , KAWAI TAKAHIRO , UNUMA HIDERO

    Zn<SUP>2+</SUP>イオンと過酸化水素を含む水溶液からZnO<SUB>2</SUB>前駆体薄膜を析出させ、これを加熱してZnO薄膜を作製した。透明なZnO薄膜を得るための、Zn塩の種類、出発溶液の組成、加熱条件などについて最適化した。ZnO薄膜にインジウムをドープし、その電気伝導度を評価した。

    Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br>Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan 2007F(0), 597-597, 2007

    J-STAGE 

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