田中 佑享 Tanaka Hiromichi

ID:9000391877039

東京理科大学 Tokyo University of Science (2009年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • Durability of Thin Film Type SnO<SUB>2</SUB> Gas Sensors  [in Japanese]

    Tanaka Hiromichi , Fujimoto Kenjiro , Ito Shigeru

    SnO<SUB>2</SUB>ガスセンサは焼結体のものが優れた感度、耐久性を示し実用化されている。これに対して、小型装置への適用、省電力化の観点から薄膜型センサの必要性が高まっている。薄膜型センサの研究は感度、検出ガス選択性の付与を中心に報告されているが、センサの繰り返し動作や耐久性に対する知見は少ない。本研究では常圧CVD法によりSnO<SUB>2</S …

    Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br>Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan 2009F(0), 2Q03-2Q03, 2009

    J-STAGE 

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