齋藤 章憲 Saitoh Akinori

ID:9000391991189

ミツトヨ つくば研究所 Mitutoyo Corporation (2002年 CiNii収録論文より)

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  • Development of Micro-roughness Measuring Probe

    Koga Satoshi , Saitoh Akinori , Hidaka Kazuhiko , Nishioki Nobuhisa

    本発表は触針型力センサを用いた微細形状測定プローブの開発に関するものである。現在、接触式の形状測定器には、粗さ測定器や原子間力顕微鏡(AFM)等がある。しかし、粗さ測定器では測定力が大きいためワークに傷つけてしまう問題、AFMでは測定速度が遅いため、測定時間を要する問題がある。これらの問題を鑑み、粗さ測定器とAFMの中間領域に位置する測定器の開発を進めてきた。本発表では、ISO規格より小さな測定力 …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2002A(0), 700-700, 2002

    J-STAGE 

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