和田 恭雄 Wada Tasuo

ID:9000392018609

東洋大融合科研 Graduate school of interdisciplinary new science, Toyo Univ. (2010年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • SIMS analysis for ultra shallow layer by mesa-structure preparation  [in Japanese]

    Seki Setsuko , Tamura Hifumi , Wada Tasuo , Tsutsui Ken

    SIMS分析をより精確に行うことを目標に,これまでメサ構造化により微小領域のデプスプロファイルの改善を得てきた。今回,nmオーダーのHfO2の薄層を試料に用い,メサ構造化とフラット試料についてSIMSデプスプロファイルを比較検討した。SIMS分析における,一次イオンエネルギー,走査領域,検出領域の調整,さらに機種による比較を行った。セクター型,Q-pole型,TOF-SIMSを用いて,デプスプロフ …

    Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 30(0), 446-446, 2010

    J-STAGE 

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