古城 直道 Furushiro Naomichi

ID:9000398140117

関西大 システム理工学部 Kansai University (2018年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • 単結晶シリコンの超仕上げにおける砥石表面状態の影響  [in Japanese]

    Dohi Kazuki , Furushiro Naomichi , Hirooka Daisuke , Yamaguchi Tomomi , Matsumori Noboru , Tanada Kenichi

    <p>化学的作用を持つ軟質な硫酸バリウム砥粒とダイヤモンド砥粒を固定砥粒化したメカノケミカル超砥粒砥石を用いた単結晶シリコンの超仕上げにおいて,砥石の表面状態によって,超仕上げ性能に差が現れる問題がある.本報では,目直し条件が作業面積率と目直し量に及ぼす影響,および砥石の表面状態が超仕上げ性能に及ぼす影響を調査した.その結果,良好な仕上げ面が得られる作業面積率および目直し量が明らかにな …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2018S(0), 279-280, 2018

    J-STAGE 

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