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検索結果 232 件

  • Liイオン電池材料評価を目指した走査型AES装置活用の取り組み

    田口 昇 顕微鏡 58 (1), 18-22, 2023-04-30

    ...<p>試料のサイズなどの制約がより少ない走査電子顕微鏡（SEM）をベースにした化学状態分布可視化の手法として，走査型オージェ電子分光（AES）装置を用いた電子分光による材料評価をこれまで検討してきた．材料解析に一般的に活用されてきたオージェピークによるLi測定に加えて，反射電子エネルギー損失分光（REELS）を用いることでも化合物のLiを検出することが可能であり，リチウムイオン電池材料のLi評価といった...

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  • Effects of Metal Cations on Corrosion Morphology of Carbon Steel in Model Fresh Water

    Li Li, Sakairi Masatoshi Ｚａｉｒｙｏ‐ｔｏ‐Ｋａｎｋｙｏ 71 (7), 208-212, 2022-07-10

    ...<p>模擬淡水における炭素鋼の腐食形態に及ぼす金属カチオンの影響を表面観察と分析により調査した．走査型電子顕微鏡を用いて試料の表面及び断面の形態を観察した．X線光電子分光分析と断面のオージェ電子分光点分析の結果から，Zn<sup>2＋</sup>を含む溶液中で形成された腐食生成物にはZn化合物が含まれていることが示唆された．</p>...

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  • AES化学状態マッピングに向けた全固体電池における 電子線ダメージの検討

    寺島 雅弘, 間宮 一敏, 飯田 真一 Journal of Surface Analysis 29 (1), 25-32, 2022

    ...次世代電池として注目されている全固体電池は，固体電解質と正極界面で形成される内部抵抗の低減が実用化に向けて大きな課題となっている．本研究では，走査型オージェ電子分光分析装置（SAM: Scanning Auger Microprobe）が搭載されたマルチテクニックXPS装置を用いて，固体電解質/正極断面の観察を試みた．一般に固体電解質材料は電子線によるダメージが顕著である．そこでまず，LiPON表面...

    DOI Web Site 参考文献10件

  • ISO/TR 22335 スパッタリング速度の測定法： メッシュ・レプリカ法についての技術的検討

    奥村 洋史 Journal of Surface Analysis 28 (3), 179-196, 2022

    ...メッシュ・レプリカ法は，オージェ電子分光法およびX線光電子分光法において，イオンスパッタリング速度を決定するための手法の一つであり，ISO/TR 22335にはその実施における推奨事項等が記載されている．スパッタリング速度を実測する上で有用な手法であるが，その報告例は多くない．本報告では，ISO/TR 22335のメッシュ・レプリカ法について解説し，そのトレース試験結果および実用上の注意点を報告する...

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  • 電子エネルギー分析器の強度軸校正方法

    Seah M. P., 鈴木 峰晴, 堂前 和彦, 田中 彰博 Journal of Surface Analysis 28 (3), S33-S46, 2022

    ...オージェ電子分光法（AES: Auger electron spectroscopy），X線光電子分光法（XPS: x-ray photoelectron spectroscopy）で使用される電子エネルギー分析器に関する強度/エネルギー応答関数（response function）の校正方法について記述する．どのようにデータが導出され，SI単位系のもとでどのような校正方法が遡及可能（traceable...

    DOI Web Site 参考文献24件

  • Martin P. Seah博士の表面化学分析における特筆すべき功績

    藤田 大介 Journal of Surface Analysis 28 (3), 197-204, 2022

    ...オージェ電子分光法やX線光電子分光法などの表面電子分光に関連した著作が最も多く，6割近くを占める．次にランクされるのが二次イオン質量分析法（SIMS）関連分野と表面/粒界偏析に関する分野である．走査型プローブ顕微鏡法（SPM）に関連する分野も4%を占めている．Seah博士の研究対象分野は年代とともに変遷が見られる．1970年代においては，粒界偏析や表面偏析の研究が主であったが，1980年代から表面電子分光法...

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  • X線光電子分光法および軟X線吸収分光法による<i>L</i>-酒石酸ナトリウムおよび関連化合物の化学状態分析

    伊藤 佑弥, 中村 亮太, 藤原 学, 原田 忠夫, 大澤 力, 吉田 圭吾, 飛田 有輝, 村松 康司 Ｘ線分析の進歩 51 (0), 157-168, 2020-03-31

    <p>プロキラルであるアセト酢酸メチルの不斉還元合成の際に，鏡像体の一方のみを効率的に生成する触媒の不斉修飾材として用いられる<i>L</i>-酒石酸ナトリウムのNa（1<i>s</i>，2<i>s</i>，2<i>p</i>）電子に関わるX線光電子（Na（1<i>s</i>，2<i>s</i>，2<i>p</i>）XPS）スペクトルをそれぞれ測定した．また，その関連化合物として，種々のナトリウ…

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  • 高分子材料のオージェ分析

    舟岡 真一, 石崎 祐美子, 小林 聡, 山本 佳永, 黒川 博志, 松原 弘樹 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1510-1510, 2020-02-28

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  • 固体中における電子の非弾性散乱．表面定量のキーパラメータを考える

    田沼 繁夫, Powell Cedric J. 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 2Hp03-, 2019

    ...<p>固体中における電子の非弾性散乱に関する情報は、放射線物理学から透過型電子顕微鏡（TEM）における薄膜分析、ならびにオージェ電子分光法およびＸ線光電子分光法による表面分析などにとって非常に重要である。 これらの用途における重要なパラメータは、電子非弾性平均自由行程（IMFP）である。 そこで、電子非弾性平均自由行程（IMFP）の計算と測定に重点を置いて、固体中の非弾性電子散乱の概要を説明する．...

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  • 銅張積層板における接着特性に関する考察

    宮内 恭子, 渡邊 寛人, 山辺 秀敏, 湯浅 真 色材協会誌 91 (5), 151-158, 2018-05-20

    ...<p>メタライジング法による二層基板の破壊位置および破壊面における化学結合に注目し，クロム・ニッケル合金シード層－ポリマーフィルム間接着低下メカニズムをX線光電子分光法（XPS），オージェ電子分光分析（AES）により考察した。...

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  • ナノ材料の特性評価のための仮想基板法

    達 博, 吉川 英樹, 田沼 繁夫 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 9-, 2018

    ...そのため従来のオージェ電子分光法で利用されるコアレベルのスペクトルは材料の特性評価における唯一の選択肢ではなくなる。...

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  • Cu<sub>2</sub>O/TiO<sub>2</sub>薄膜において酸素流量が光起電力に及ぼす影響

    石坂 啓介, 鷹野 一朗 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 263-, 2018

    ...しかしながら、薄膜作製の酸素流量が光起電力に影響を与えることが明らかとなったため、両酸化物作製時の酸素流量を変化し、オージェ電子分光により深さ方向における薄膜内部の酸素量を決定することで光起電力への影響を調査した。...

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  • 複合表面分析法によるFe2P(10-10)面のキャラクタリゼーション

    本山 寛大, 杉崎 裕一, 枝元 一之, 小澤 健一 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 85-, 2017

    Ar<sup>+</sup>イオン衝撃及び600℃加熱を繰り返し行い、清浄化したFe<sub>2</sub>P(10-10)に対してPES、AES、LEED測定を行った。加熱温度の上昇に伴いc(2×2)LEEDパターンがシャープとなり、AESとPESの加熱温度依存測定より、c(2×2)構造は偏析したPにより形成されると考えた。また、Fe<sub>2</sub>PとNi<sub>2</sub>Pの…

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  • Kr3d,Xe4d光イオン化における光電子再捕獲の角度相関

    小杉 聡, 鈴木 紀裕, 熊谷 尚樹, 岩山 洋士, 繁政 英治, 小池 文博, 東 善郎 日本物理学会講演概要集 72.1 (0), 785-785, 2017

    ...本研究では真空紫外光を用いた気相原子の角度分解オージェ電子分光を行い、Kr 3d,Xe 4d内殻光イオン化に伴う光電子再捕獲を示すリュドベリ列を測定した。光電子とオージェ電子の間の角運動量の交換について新たな知見を得た。</p>...

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  • グラフェン導電層を用いた絶縁物のオージェ電子分光分析

    鴨井 督 Journal of Surface Analysis 23 (3), 160-166, 2017

    ...オージェ電子分光分析（AES）は物質の数nmの最表面組成を判定できる反面，その測定対象は導電性を持つ材料に限定される．そのため，AESによる絶縁物観察のためには極薄の金属膜コートにより，試料表面に導電性を付与する等の前処理が必要となる．本報告では導電性付与のため，1原子層状物質であるグラフェンを測定対象上に保持することで，絶縁材料の微小領域におけるAES分析を実現した．...

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  • Hf/SiO2/Si(110)およびHfO2/SiO2/Si(110)超薄膜の界面を選別した局所価電子状態の研究

    垣内 拓大, 池田 恭平, 長岡 伸一, 間瀬 一彦 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 441-, 2016

    我々は、Hf/SiO<sub>2</sub>/Si(110)およびHfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si(110)超薄膜を作製し、その界面局所価電子状態をオージェ電子-光電子コインシデンス分光法を用いて評価した。界面を選別したSi <i>L</i><sub>23</sub><i>VV</i>オージェ電子スペクトからHf/SiO<sub>2</sub>/Si(110)…

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  • Fe2P(10-10)のAES, LEED, PESによる解析

    本山 寛大, 杉崎 裕一, 枝元 一之 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 438-, 2016

    Fe<sub>2</sub>P(10-10)をAr<sup>+</sup>イオン衝撃及び加熱を繰り返して清浄化すると、加熱温度500℃においてc(2×2)LEEDパターンが現れ、加熱温度を上げるにつれスポットはシャープとなった。<br>AESとPESの加熱温度依存測定より、c(2×2)構造は偏析したPにより形成されると考えられる。

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  • オージェ電子分光法の最近の活用事例

    堤 建一, 田中 章泰, 島 政英, 小野寺 浩 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 93-, 2016

    AESとXPSは，どちらも表面から深さ数nmの領域を分析する表面分析手法である。しかし、XPSは多くの有機・無機試料に対して幅広く活用されているのに対して、AESは導体試料に対する元素分析や面分析といった限定的に用いられることが多い。最近では、AESにおける絶縁物分析の方法も確立され、AESを使った化学状態分析も実用的なレベルになってきた。本講演では、最近のAESの活用事例を紹介するとともに、A…

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  • Au(111)表面上におけるスズ超薄膜の原子配列と電子構造

    西埜 和樹, 柚原 淳司, 仲武 昌史, Lay Guy Le 日本物理学会講演概要集 71.2 (0), 2319-2319, 2016

    ...Sn超薄膜が形成する表面原子配列を明らかにするために走査トンネル顕微鏡、低速電子回折、オージェ電子分光を用いて分析した。また、スズ超薄膜のバンド構造を明らかにするために角度分解能光電子分光を行った。</p>...

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  • オージェ電子分光法の最近の活用事例

    堤 建一, 田中 章泰, 島 政英, 小野寺 浩 表面科学 37 (4), 156-161, 2016

    AES and XPS have been used to analyze the top surface of a solid sample for a long time. In late years scientific reports including an AES result became less than those of XPS year by year. It …

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  • 腐食研究のための表面分析技術の現状と今後

    大塚 俊明 Ｚａｉｒｙｏ‐ｔｏ‐Ｋａｎｋｙｏ 64 (7), 268-272, 2015

    ...腐食研究のための表面分析技術の現在の状況を要約した．腐食反応で生成した腐食生成物の測定には，in-situ（その場）測定が望まれる．光，つまりガンマ線から赤外光まで電磁波を使う測定では，工夫が必要であるが，in-situ測定がなされてきている．電磁波の性質により，窓材の選択や窓材の試料表面との距離などの調整が必要である．X線光電子分光（XPS）やオージェ電子分光（AES）などの電子分光法では，in-situ...

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  • X線光電子分光分析やオージェ電子分光分析を用いるAl合金の表面分析

    坂入 正敏, 佐々木 遼, 鈴木 啓太 Ｚａｉｒｙｏ‐ｔｏ‐Ｋａｎｋｙｏ 64 (7), 281-284, 2015

    ...本解説では，X線光電子分光分析（XPS）装置およびオージェ電子分光分析（AES）装置を各種金属カチオンが存在する0.5 kmol m<sup>－3</sup> H<sub>3</sub>BO<sub>3</sub>/0.05 kmol m<sup>－3</sup> Na<sub>2</sub>B<sub>4</sub>O<sub>7</sub>でアルミニウム合金上に形成した不働態皮膜の構造解析への適用例...

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  • 表面分析法AES，XPS，TOF-SIMSの最近の進歩と腐食分析への応用

    眞田 則明 Ｚａｉｒｙｏ‐ｔｏ‐Ｋａｎｋｙｏ 64 (9), 388-392, 2015

    ...固体表面の原子・分子レベルの化学情報が得られるオージェ電子分光法（AES），X線光電子分光法（XPS），飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）は，固体表面がその特性に深くかかわる材料・デバイスの研究開発および品質保証などの故障解析に欠かせない分析手法として広く利用されている．本稿では，それぞれの手法の最近における分析性能の進歩のなかから，特に高感度化と微小化，イオン源の改善に伴う深さ方向分析...

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  • オージェ電子分光分析法の標準化：界面近傍の分析における現状と問題点～超硬工具基材のへの応用～

    奥村 洋史, 峰 和久 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 41-, 2015

    超硬工具基材において、Co結合相中のW固溶量の把握は工具性能を評価するうえで重要である。従来、WC/Co界面近傍での背面散乱電子効果が無視できないため、Co結合相中のW固溶量のオージェ分析による直接的な解析は困難であった。加えて、このような界面近傍の系の分析に関する標準化の動きもまだ無い。本研究では、オージェ分析とモンテカルロシミュレーションの組み合わせにより背面散乱電子効果を考慮し、WC/Co…

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  • 表面化学分析の標準化とは何か

    笹川 薫 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 36-, 2015

    ...ISOに設立された表面化学分析の標準化に関する第２０１技術委員会（ISO/TC201)の活動によって、オージェ電子分光、X線光電子分光、及び二次イオン質量分析の定量分析値の精確さがどのように向上してきたのかを詳細に検討することによって、表面化学分析の標準化とは何か、という疑問に答えようとする試み。...

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  • 江戸期小判などの色揚げに関する自然科学的研究

    齋藤 努 国立歴史民俗博物館研究報告 = Bulletin of the National Museum of Japanese History 183 1-51, 2014-03-31

    ...江戸時代を通じて10次にわたって発行された金貨のうち，2種類の慶長小判とその後の7次分 の小判，および萬延二分判に対してアルゴンイオンによるラスタースパッタリングを実施しながら オージェ電子分光分析を行い，色揚げの実態を調べた。その結果，以下のことがわかった。...

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  • 鉄鋼の酸化生成物と防食皮膜のメスバウアー分析

    野村 貴美, 氏平 祐輔 ＲＡＤＩＯＩＳＯＴＯＰＥＳ 63 (11), 531-558, 2014

    ...メスバウアー分光は，X線回折，オージェ電子分光，グロー放電発光分光又はラザフォード後方散乱の分析法を併用することによって多様な酸化物の状態や表面構造の分析法になる。鉄の酸化過程，酸化物やリン酸塩のメスバウアーパラメータとともに鉄鋼，ステンレス鋼，耐候性鋼板の酸化皮膜とリン酸塩処理などの防食皮膜のメスバウアー分光による解析例を紹介する。...

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  • 水の解離吸着によるSi(110)-16×2清浄面の表面構造と局所価電子状態の変化

    垣内 拓大, 西浦 伸吾, 川本 淳滋, 長岡 伸一, 間瀬 一彦 表面科学学術講演会要旨集 34 (0), 105-, 2014

    我々は、Si(110)-16×2清浄表面を作製し、水の吸着過程と表面構造・物性変化を評価した。表面１次元構造は、水吸着後に窒素大気圧下に取りだしても保持するが大気中で消失する。また、水はSi(110)表面の1次元鎖のステップから吸着し、曝露量が1 Langmuir以下で飽和することが分かった。表面物性は、表面準位が消失するために、価電子帯上端が高結合エネルギー側へシフトする。

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  • 極低角度入射ビームを用いたオージェ深さ方向分析による極薄膜多層試料の評価

    荻原 俊弥, 田沼 繁夫 表面科学学術講演会要旨集 33 (0), 237-, 2013

    ...半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置では，高傾斜試料ホルダーを用いると装置のジオメトリ特性との関係から極低角度電子・イオン入射オージェ深さ方向分析が可能である。本発表では，本計測法により実用材料（Si/AlO/HfO2/SiO2とHfO2/AlO/Si/SiO2）の構造を評価した結果を報告する。...

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  • Si(110)-16×2清浄表面の原子構造と局所価電子状態

    垣内 拓大, 吉崎 佑也, 久保田 裕之, 佐藤 勇輝, 間瀬 一彦 表面科学学術講演会要旨集 33 (0), 163-, 2013

    Si(110)-16x2清浄表面の表面最安定構造モデルは決定しておらず、いくつか提唱された中からAdatom Buckling(AB)モデルとAdatom-tetramer-interstitial（ATI）モデルが有力視されている。そこで、本研究では、光電子-オージェ電子コインシデンス分光法を用いてSi(110)-16x2清浄表面の最安定構造を検討し、ABモデルが最適であることがわかっ…

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  • オージェ電子分光法

    間宮 一敏, 眞田 則明 色材協会誌 86 (5), 175-178, 2013

    ...オージェ電子分光法（AES）は，物質表面から1～5 nm程度の深さまでの領域を化学分析する手法である。AESはほかの表面分析法と比較して，最も微小な領域の分析が可能であることから，表面の局所で発生する現象と化学変化との関連などを調べる研究開発，異常部解析，品質保証などの目的で，種々の研究分野および産業分野に貢献してきた。本稿では，このAESの簡単な原理，測定法，応用例について概説した。...

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  • 金属基板上のグラフェン成長その場観察

    小田原 玄樹 炭素 2013 (258), 234-239, 2013

    ...具体的に述べると，過去の研究の表面測定手段であるオージェ電子分光 (AES)，X線光電子分光 (XPS)，紫外線光電子分光 (UPS)，低エネルギー電子回折 (LEED)，高分解電子エネルギー損失分光 (HREELS) などにより得たデータは，巨視的なスケールで平均化された情報に限られおり，逆に，走査トンネル顕微鏡 (STM) や原子間力顕微鏡 (AFM) では極めて狭いナノメーター領域の情報のみの...

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  • 有機ハイブリッド材料表面の分子配向に関する研究

    池浦 広美, 関口 哲弘 表面科学学術講演会要旨集 33 (0), 157-, 2013

    ...Ｘ線吸収分光法の偏光測定とオージェ電子分光法を組み合わせ、遷移モーメントを利用した3次元解析手法を構築し、P3HT:PCBMハイブリッド膜表面のP3HTラメラの構造の配向評価を行った。...

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  • Si(001)表面に対するRHEED入射電子波動場

    堀尾 吉已, 高桑 雄二, 小川 修一 表面科学学術講演会要旨集 32 (0), 46-, 2012

    Si(001)表面近傍に形成されるRHEED入射電子波動場を動力学的に計算し、RHEED実験中に放出されるオージェ電子強度との相関関係について報告する。室温のSi(001)表面の構造解析には非対称ダイマーのフリップフロップ運動といった困難があるが、RHEEDの低視斜角入射では、入射方位に沿った投影ポテンシャルが支配的となり、構造解析が容易となる。視斜角変化に対する波動場の特徴も含め考察する。

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  • Ni2P表面電子状態におけるP偏析の効果

    今西 沙織, 宗像 紫織, 安野 信行, 掛札 洋平, 小澤 健一, 枝元 一之 表面科学学術講演会要旨集 32 (0), 137-, 2012

    ...本研究ではオージェ電子分光・低速電子回折を用い、アニールによる電子状態の変化を調査した。　AES測定より、300℃付近でPが偏析することが分かった。LEEDパターンは300℃以上で(1×1)からc(2×4)に変化した。これらの結果からc(2×4)は偏析したPの配列を反映していると考えられる。これはSTMで提案されたPの偏析モデルを分光学的に実証するものである。...

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  • 極低角度入射ビームを用いた極薄膜多層試料のオージェ深さ方向分析

    荻原 俊弥, 永富 隆清, 田沼 繁夫 表面科学学術講演会要旨集 31 (0), 124-124, 2011

    ...半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置のジオメトリ特性と傾斜ホルダーを利用することにより，極低角度電子・イオン入射オージェ深さ方向分析が可能である。この計測法により実用材料である厚さ数nmの極薄膜数層から成る極薄膜多層試料の構造を評価した結果，その構造を十分に評価できることがわかったのでその結果について報告する。...

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  • 走査型トンネル顕微鏡による還元されたLi2TiO3(001)表面の構造解析

    東 喜三郎, 小田 卓司, 田中 知 日本原子力学会　年会・大会予稿集 2011s (0), 728-728, 2011

    ...三元系Li酸化物の表面構造を解明するために，高温・真空下で還元された単結晶Li2TiO3(001)表面を対象として，走査型トンネル顕微鏡(STM)による構造解析を行った．表面の周期構造は低速電子線回折(LEED)，原子組成はオージェ電子分光法(AES)によって評価した．観測されたSTM像から表面構造モデルを提案し，表面再構成のメカニズムに関して考察した．...

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  • 原子炉圧力容器鋼の高照射量領域の照射脆化予測

    西山 裕孝, 山口 正剛, 海老原 健一, 鬼沢 邦雄, 松澤 寛 日本原子力学会　年会・大会予稿集 2010f (0), 619-619, 2010

    高照射量領域まで中性子照射された原子炉圧力容器鋼の粒界分析を行い、リンの粒界偏析濃度に対する照射速度の影響について調べた。そして、リンの粒界偏析濃度と延性脆性遷移温度の関係から高照射量領域での粒界脆化の顕在化の可能性について検討した。

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  • 高傾斜ホルダーを用いた極低角度電子・イオン入射オージェ深さ方向分析

    荻原 俊弥, 田沼 繁夫 表面科学学術講演会要旨集 29 (0), 55-55, 2009

    ...半球型オージェ電子分光装置のジオメトリ特性を利用することにより高傾斜ホルダーにセットした試料は，試料表面から極低角度での電子およびイオン入射によるオージェ深さ方向分析が可能である。この計測法によりGaAs/AlAs超格子標準物質を用いて深さ分解能のイオン入射角依存性について検討した。...

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  • AES/XPSによる表面分析の現状と標準化

    鈴木 峰晴 表面科学学術講演会要旨集 29 (0), 58-58, 2009

    ...表面分析技術として広く用いられているオージェ電子分光法（ＡＥＳ）およびＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）の現状を概括するとともに、主にＩＳＯ／ＴＣ２０１（表面化学分析）委員会でまとめられた、または議論されている標準化活動に関して報告する。AES、XPSを用いた深さ方向分析についても言及する。...

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  • 原子炉圧力容器鋼の高照射量領域の照射脆化予測

    西山 裕孝, 山口 正剛, 鬼沢 邦雄, 松澤 寛 日本原子力学会　年会・大会予稿集 2009s (0), 389-389, 2009

    高照射量領域まで中性子照射された原子炉圧力容器鋼の粒界分析を行い、リン等の粒界偏析濃度の中性子照射による変化を明らかにした。この結果と延性脆性遷移温度の関係を検討するとともに、リンによる粒界強度の低下メカニズムの理論解析を行った。

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  • 冷間加工ステンレス鋼のIGSCCに及ぼす空孔拡散の役割

    有岡 孝司, 山田 卓陽, 寺地 巧, 宮本 友樹 日本原子力学会　年会・大会予稿集 2008s (0), 440-440, 2008

    ...冷間加工非鋭敏化ステンレス鋼のIGSCC進展メカニズムの考察を目的として、異なる電位環境で進展したIGSCC先端および大気中で進展した粒界クリープき裂先端をオージェ電子分光分析および高分解能SEMで詳細分析しIGSCC進展機構を考察した。その結果、電位に拘らず開口前のIGSCC先端で粒界拡散が進行していることを示す粒界組成の変化およびき裂先端で酸化物の観察されない部位の存在が認められた。...

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  • 傾斜ホルダーを利用したオージェ電子分光法による角度分解計測および低角度イオン入射深さ方向分析の検討

    荻原 俊弥, 田沼 繁夫 表面科学学術講演会要旨集 28 (0), 116-116, 2008

    傾斜ホルダーを利用したAESにおける角度分解計測ならびに低角度イオン入射深さ方向分析について検討した。角度分解計測によりSiO2:2nm/Siを測定した結果，取り出し角度が浅い位置でのスペクトルでは酸化膜に由来する酸化物Siのピークを検出できることがわかった。また，傾斜ホルダーを用いた低角度イオン入射深さ方向分析では，Geデルタ層を高感度に検出できることがわかった。

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  • クリプトンクラスター内の交換相互作用の表面サイト依存性の研究

    長坂 将成, 初井 宇記, 小杉 信博 表面科学学術講演会要旨集 28 (0), 79-79, 2008

    ...次に共鳴オージェ電子分光により、2価イオンとRydberg電子となる終状態における交換相互作用を測定した。これにより1価から2価イオンに変わることによる変化を表面サイトごとに調べ、Rydberg準位の変化を明らかにした。...

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  • 電子線照射によるSiO2薄膜損傷の角度依存性

    佐藤 秀勝 表面科学講演大会講演要旨集 27 (0), 122-122, 2007

    ...我々はオージェ電子分光法を用いて電子線照射時間とスペクトル強度の関係からSiO2薄膜損傷の定量的評価ができないか調査した。試料傾斜角を試料法線から0,15,30,45,60°と変化させ、電子線の入射角を変化させたところ試料傾斜角が大きくなるにつれ少ない電子線照射時間で損傷が起こることが観察された。...

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  • 炭素材料の二次電子放出特性

    荒木 祥和 Journal of Surface Analysis 14 (2), 118-123, 2007

    ...<p>　様々な炭素材料の二次電子放出特性について，オージェ電子分光分析装置（SAM）と特製ファラデーカップ付きサンプルホルダーを用いて検討した．本手法を用いた過去の検討によって，二次電子放出係数<i>δ</i>は表面組成に大きく依存することが確かめられている[<i>J. Surf. Anal</i>....

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  • オージェ電子分光法における背面散乱補正

    田沼 繁夫 Journal of Surface Analysis 14 (1), 9-19, 2007

    <p>　AESによる表面定量分析において重要な電子の背面散乱について検討した．電子の背面散乱係数の入射角度依存性，およびそのエネルギーの平均値および中央値について，モンテカルロ(MC)法を用いてBe, B, C, Al, Si, Cu, Zr, Ag, La, Auの10種類の元素について検討し，電子の背面散乱係数の入射角度依存性を明らかにした．また，計算した10-30 …

    DOI Web Site Web Site ほか1件 研究データあり 参考文献13件

  • パルスYAGレーザを用いたCu/CuMo材の溶接技術に関する研究

    吉原 克彦, 佐藤 圭輔, 後藤 友彰 溶接学会全国大会講演概要 2006f (0), 117-117, 2006

    銅は低電気抵抗で配線材料に多用されているが，熱膨張係数が大きいため接合界面での熱歪みが問題となる．このため，バッファ層として低抵抗・低熱膨張係数を特徴とした銅-モリブデン焼結体を用いることが有効である．ここでは，Cu/CuMo間をパルスYAGレーザにより溶接する方法について検討を行った．

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  • ヨウ素固定化技術開発 (5)

    川嵜 透, 野下 健司, 吉田 拓真, 朝野 英一, 西村 務, 金子 昌章, 桜木 智史 日本原子力学会　年会・大会予稿集 2006f (0), 691-691, 2006

    ...浸漬後、断面のSEM観察およびオージェ電子分光分析により、AgCl層、AgI層の2層構造の表面層が形成されることが分かった。浸出モデルを構築し評価した結果、液中への浸出量は概ね一致したが、表面層の形成厚さは過小評価となった。このことから表面層はポーラスな構造となっている可能性があることが分かった。...

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  • 電解処理によるTi-Ni合金表面におけるNiを含まない酸化皮膜の形成

    米山 隆之, 福島 修, 土居 壽, 塙 隆夫 日本歯科理工学会学術講演会要旨集 2006s (0), 5-5, 2006

    ...力学的機能性を有するTi-Ni合金の表面酸化皮膜から、生体為害性のあるNi濃度を低減させることを目的に電解処理を行い、皮膜組成などをX線光電子分光法（XPS）およびオージェ電子分光法（AES）によって解析した。電解液組成はグリセリン、乳酸および水で、乳酸と水の組成比を変化させた。XPSの結果、Ti-Ni合金表面からNi由来のピークが検出されない電解処理条件が存在した。...

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  • SiO2の電子線照射損傷 -低速イオンによる炭素汚染除去-

    中村 拓, 永富 隆清, 高井 義造 表面科学講演大会講演要旨集 26 (0), 104-104, 2006

    ...本研究ではオージェ電子分光法(AES)によるSiO<sub>2</sub>薄膜の分析において見られるSiO<sub>2</sub>の電子線照射損傷過程の解明を目的としている．損傷の程度は照射する電子線の電流密度に加え，SiO<sub>2</sub>表面の汚染にも依存する．本講演では，低速Arイオンを用いてSiO<sub>2</sub>表面の炭素汚染の除去を行い，SiO<sub>2</sub>薄膜の電子線照射損傷...

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  • オージェ電子分光による化学状態分析の現状

    境 悠治 Journal of Surface Analysis 13 (3), 239-244, 2006

    最新のオージェ分析装置（AES: Auger Electron Spectrometer）は，電子銃として熱電界放射型フィールドエミッション(TFE)銃を装備したFEオージェ分析装置（FE-AES）が実用化され，数10nmの微小領域が容易に分析できるようになってきた．従来からのAESの特徴である表面層に敏感なこと，深さ方向分析が可能なことに加えて，数10nmの微小領域の分析，さらに, …

    DOI Web Site 被引用文献5件 参考文献1件

  • 電子分光による電子放出特性評価法の検討

    佐藤 誓, 荒木 祥和, 當麻 肇 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 77-77, 2004

    ...具体的には、オージェ電子分光分析装置(AES)によりδ、紫外線光電子分光分析(UPS)によりΦを測定し、表面組成を同時に評価することで、実測値の妥当性を調べた。その結果、実測値は、ほぼ文献値を再現していることが明らかとなった。...

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  • 超格子構造を用いたオージェ電子分光における空間分解能の検討

    漆原 宣昭, 眞田 則明, 岩井 秀夫, 山本 公, 鈴木　 峰晴 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 118-118, 2004

    ...オージェ電子分光技術の高空間分解能化をすすめるに際し、GaAs/AlAs超格子 断面を用いて適用を評価した。層厚 10 nmの領域で明瞭なオージェ元素マップ をえることができた。...

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  • 溶融亜鉛めっき皮膜表面に生成した極薄アルミニウム酸化層の電子線照射損傷挙動とその定量評価

    荒井 正浩, 浜中 真人, 速水 弘子, 木村 隆, 西田 憲二, 田沼 繁夫 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 74-74, 2004

    ...オージェ電子分光装置を用いて、溶融亜鉛めっき皮膜表面に生成した極薄アルミニウム酸化層に電子線を照射し、還元反応挙動をAl LMMオージェピーク強度変化で評価。強度変化は「2段階反応モデル」で記述できることを見出した。得られた臨界ドーズ量は、Pennのアルゴリズムを用いてエネルギー損失関数から計算により求めた酸化アルミニウムの電子の阻止能とよい相関が認められた。...

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  • Ni(111)上にH2Sの解離で生成するひも状吸着物質

    北田 暁彦, 平島 秀水, 松本 健俊, 中村 潤児 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 215-215, 2004

    ...オージェ電子分光法(AES)において硫黄以外のピークが観測されず、ひも状物質は新規な硫黄吸着構造であると考えられる。...

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  • Pt/Pd中間層によるCo-Cr系二層膜垂直記録媒体の粒経制御と熱安定性

    有明 順, 本多 直樹, 大内 一弘 映像情報メディア学会技術報告 25.36 (0), 27-34, 2001

    ...これはオージェ電子分光装置での測定より、記録層の成長初期での酸素混入が抑制されたためであると考えられる。Pt(Pd)層を導入することで記録層の粒経が微細に制御され、かつ結晶性が改善されていることが分かった。また高磁気異方性膜では昇温時のH_c&bottom;, SQ_&bottom;の低下が抑制されることも確認した。...

    DOI Web Site 参考文献9件

  • 低化成電圧で作製したAl3Hｆ陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構

    尾関, 雅彦, 山根, 美佐雄, 佐々木, 克孝, 阿部, 良夫, 柳沢, 英人, 川村, みどり 電子情報通信学会論文誌 J83-C (7), 663-665, 2000-07

    ...30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの，熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果，Al上部電極／陽極酸化膜界面が崩壊することにより，金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために，キャパシタが短絡することがわかった。...

    機関リポジトリ Web Site 参考文献2件

  • 薄膜トップレイヤー・スカンデートカソードの電子放射特性

    宇田 英一郎, 中村 修, 松本 貞雄, 樋口 敏春 映像情報メディア学会技術報告 23.1 (0), 59-64, 1999

    ...電子分光法で測定することにより, 拡散係数を求めた.その結果求められたWとSc_2O_3の拡散係数は, 1220Kで6.4×10^<-19>1300Kで1.0×10^<-18>1370Kで1.6×l0^<-18>cm^2/sであった.また, 測定したオージェ・スペクトルより, 拡散過程中にO, Sc, Wの化学状態は変化しないことがわかった....

    DOI 参考文献9件

  • Ta2N陽極酸化膜キャパシタの耐熱要因と薄膜化の検討

    山根, 美佐雄, 佐々木, 克孝, 阿部, 良夫, 川村, みどり, 野矢, 厚 電子情報通信学会論文誌 C 79 (C2), 358-365, 1996-07

    ...オージェ電子分光分析等によってその原因を検討したところ，下地金属であるTa2N化合物膜自体の耐熱酸化性が大きく，Ta膜の場合より下地層への酸素拡散が生じにくいためであることがわかった。...

    機関リポジトリ Web Site 被引用文献3件 参考文献12件

  • セラミックス粒界の組成と電子状態

    田中 滋, 田中 順三 日本化学会誌（化学と工業化学） 1996 (3), 217-224, 1996-03-10

    ...いくつかの分光学的手法に注目して粒界評価技術の展開を行うとともに,非線形な電圧電流特性を示す ZnO バリスタの粒界を,高分解能のオージェ電子分光法 (AES) で評価し,添加物の Bi が粒界に 2～5 の深さで偏析していること, Bi の偏析量にともなって酸素濃度は減る傾向にあること, ZnOn バ リスタの粒界が還元状態であり酸素欠損が存在することなどを明らかにした。...

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  • 熱電界放射陰極 (Zr-O/W (100)) にみる高温表面物性の新たな展開

    志水 隆一, 李 壽燦 応用物理 65 (3), 251-255, 1996

    ...高温 (～1500°C) で非常に安定な熱電子放射特性を示すZr-O/W (100) の表面特性の解明を試みた.オージェ電子分光法,イオン散乱分光法,仕事関数測定および反射高速電子回折法を用いた高温状態における表面キャラクタリゼーションにより,このZr-O/W (100) 表面は使用条件下 (～1500°C, ～10<sup>-6</sup>Pa) において; (1) Zrがon topにp (1×...

    DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献19件

  • 表面分析の現状と将来展望　オージェ電子分光装置の開発の現状と将来展望

    関根 哲 表面科学 17 (10), 583-591, 1996

    AESは広く利用されている代表的な表面分析法である。AESの普及には市販の装置技術の発展も重要な役割を果たした。最近の主な進展は,高輝度のフィールドエミッション(FE)電子銃の導入により空間分解能が高められたこと,および電子分光器の高エネルギー分解能化によって状態分析への道が開けたことの二点であろう。これにより極微小領域の状態分析も可能となった。その他の面でも多くの進展があった。例えば,ソフトウ…

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  • 極低炭素鋼/チタンクラッド材料界面のオージェ電子分光解析

    藤田 大介, 吉原 一絋 鉄と鋼 79 (9), 1088-1094, 1993

    ...オージェ電子分光法を用いてHIP法および爆着法で作製されたチタン/極低炭素鋼クラッド材料の界面解析をおこない,熱処理による界面構造の変化に関するいくつかの新しい知見が得られた。<BR>HIP法によるクラッドでは炭素濃度の違いによってas receivedの界面構造が大きく異なることが判明した。...

    DOI Web Site Web Site 被引用文献4件 参考文献1件

  • オージェ電子分光法定量分析における装置補正因子

    源内 規夫, 広川 吉之助, 福田 安生, 鈴木 堅市, 橋本 哲, 鈴木 敏子, 薄木 智亮, 吉田 鎮男, 甲田 満, 瀬崎 博史, 堀江 浩, 田中 彰博, 大坪 孝至 鉄と鋼 78 (1), 165-172, 1992

    This report is the result of a joint experiment on the quantitative analysis in Auger electron spectroscopy. The Auger intensity ratios of a high energy to a low energy for Al, Ni and Au varied by a …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献4件

  • オージェ電子分光法 (AES, SAM)

    福田 安生, 真田 則明 Ｚａｉｒｙｏ‐ｔｏ‐Ｋａｎｋｙｏ 41 (12), 824-832, 1992

    Principle, apparatus, and measurement method of Auger electron spectroscopy have been described. Applications of this method to surface analysis of corrosion products on electronic materials, …

    DOI 被引用文献2件

  • キャパシタンス法による半導性セラミックス粒界の研究

    津田 孝一, 向江 和郎 表面科学 13 (4), 205-211, 1992

    ...通常,セラミックス粒界の研究手段として,電子顕微鏡,オージェ電子分光などの機器分析装置が用いられる。これらの装置により,最近では粒界近傍の格子像が見られるようになってきた。しかし,ZnOバリスタのような半導性セラミックスでは,非常に微量な元素や欠陥が形成する電気的障壁により特性が決定されるため,機器分析だけでは得られる情報は不十分である。...

    DOI 参考文献3件

  • 各種チタン製骨内インプラントの表面酸化被膜のオージェ電子分光分析

    宮崎 隆, 田中 久雄, 青山 訓康, 杉山 和孝, 岩永 勝彦 日本口腔インプラント学会誌 4 (2), 214-220, 1991-09-30

    ...4種類の市販チタン製骨内インプラントおよび1種類の試作チタン製インプラントを用いて，インプラント表面の酸化物について，オージェ電子分光分析を行い検討した．各試料のオージェスペクトルを測定し，さらにアルゴンイオンでスパッタを行いながら，スパッタ時間とともにスペクトルのピーク高さを計測して，深さ方向の構造について検討した．いずれの試料のオージェスペクトルからも酸素，チタン，炭素のピークが検出された．酸素...

    DOI 医中誌 被引用文献1件

  • オージェ電子分光法による状態分析のためのスペクトル微細構造観察

    広川 吉之助, 福田 安生, 鈴木 堅市, 橋本 哲, 鈴木 敏子, 薄木 智亮, 源内 規夫, 吉田 鎮雄, 甲田 満, 瀬崎 博史, 堀江 浩, 田中 彰博, 大坪 孝至 鉄と鋼 77 (9), 1533-1537, 1991

    Cooperative researches by 8 laboratories were carried out to observe fine structure in Auger spectra for chemical state analysis. In general, structure due to chemical effects can be observed from …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献4件

  • 酸化物高温超伝導体の表面解析　実用分析の観点から

    数田 真弓, 笠村 秀明, 工藤 正博, 福田 安生 表面科学 12 (8), 507-515, 1991

    ...本稿では実用分析の観点から,X線光電子分光(XPS)・オージェ電子分光(AES)・二次イオン質量分析(SIMS)・ラザフォード後方散乱(RBS)を用いて高温超伝導物質を測定した結果の現況についてまとめる。...

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  • 電子，陽電子‐固体相互作用　（２）　モンテカルロ法のオージェ電子分光法への応用

    一村 信吾 表面科学 11 (10), 604-611, 1990

    ...モンテカルロ計算法のオージェ電子分光法 (AES) への応用として, プログラム作製上の基本的な考え方と, 我々のプログラムを使って試みたAESの背面散乱電子効果補正に関して解説した。まず, AESとEPMAの大きな違いが対象とする電子のエネルギー領域にあることを指摘し, AESで必要となる低速電子の散乱の記述のための理論的取扱いについて説明した。...

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  • モリブデン酸塩水溶液による鉄鋼の化成処理

    黒沢 勝登志, 福島 敏郎 日本化学会誌（化学と工業化学） 1987 (10), 1822-1827, 1987-10-10

    ...皮膜はX線回折によれば非晶質であり,その組成は赤外分光分析およびオージェ電子分光分析結果からは,FeMoO<SUB>4</SUB>またはリン酸を添加した場合にはFeMoO<SUB>4</SUB>,およびFe<SUB>3</SUB>(PO<SUB>4</SUB>)<SUB>2</SUB>であると推定された。...

    DOI Web Site 被引用文献3件

  • ステンレス鋼の高温酸化および孔食の研究

    呂 戊辰, 袁 本鎮 日本化学会誌（化学と工業化学） 1987 (6), 1054-1058, 1987-06-10

    ...オージェ電子分光法とX線光電子分光法の測定結果により,この酸化皮膜の主成分はCr,Fe,Oであり,Ni含有率は少ないことがわかった。酸化温度の上昇に応じて,酸化皮膜中のFe含有率が減少し,Cr含有率が増加する傾向がある。...

    DOI Web Site 被引用文献1件

  • 二元合金における熱平衡表面偏析

    橋詰 富博, 桜井 利夫 応用物理 56 (8), 1000-1013, 1987

    ...二元合金における表面偏析の理論と実験の発展を,まとめて取り上げようと試みた.表面偏析の駆動力としては,表面における切断結合ボンドによる表面エネルギー,原子半径の違いに由来するひずみエネルギーおよび,混合熱が主たるものである.これらを組み合わせたさまざまな理論が考えられていて,定性的な実験結果との一致は悪くない. 1975年以来,表面分析法の発展に伴い,一応信頼できる実験結果が,主にオージェ電子分光法...

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  • オージェ電子および電子エネルギー損失分光法による鉄合金粒界破断面の結合状態

    奥 正興, 広川 吉之助 日本化学会誌（化学と工業化学） 1986 (11), 1432-1437, 1986-11-10

    ...オージェ電子分光法(AES)と電子エネルギー損失分光法(EELS)により, 鉄-リンおよび鉄-硫黄合金の粒界破断面(IG)の結合状態, すなわち界面構造を調べた。その比較として, 粒内破断面(TG), 鉄リン化物, 鉄硫化物を選んだ。IGでのリンと硫黄のLVVAESは, それらの原子が鉄金属表面に吸着したときに見られるスペクトルパターンを示した。...

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  • 絶縁物ポリイミドのオージェ電子分光分析

    岡本 浜夫, 尾嶋 正治, 峰岸 延枝 真空 28 (3), 131-134, 1985

    Auger electron spectroscopy of insulator polyimide films has been studied from the viewpoint of discharging effect in order to facilitate surface analysis of contact hole formed by Ar laser beam …

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  • 潤滑油添加剤の固体表面への吸着 (第2報)

    田村 邦光, TSE James T., ADAMSON Arthur W. 石油学会誌 26 (4), 309-317, 1983

    Studies on the adsorption of lubricating oil additives are usually performed with powders although the lubricated surfaces are flat. In this study, the adsorption of such additives are determined on …

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  • オージェ電子分光法

    井口 裕夫 表面科学 3 (4), 195-202, 1982

    Fundamental aspects of Auger electron spectroscopy are reviewed. This review covers : the history of Auger electron spectroscopy, the electron impact ionization cross section of an atom, the …

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