廣田 正樹, 中島 靖志, 齋藤 誠則, 佐藤 文紀
映像情報メディア学会技術報告
26.50
(0),
19-22,
2002
...初めてCMOS技術で120×90画素サーモパイル型赤外線FPAを作製した.本デバイスは,3900V/Wの高感度を実現し且低コスト化が可能である.チップサイズは,14.4mm × 11.0mm, イメージ領域が12.0mm × 9.0mmである.各センサの構造は,真空封止パッケージに最適化され,2対のサーモパイルとNMOSトランジスタからなり,100 × 100 μm の外寸,90kΩの内部抵抗を有する...
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参考文献8件