八谷 宏光, 根岸 学, 前田 恒昭, 伊東 哲, 大屋 誠志郎, 原田 謹爾, 楊 明, 中野 禅, 内山 一美, 保母 敏行
分析化学
49
(12),
981-987,
2000
...センサーボディにはPyrexガラスをダイシングソーで加工して使用した。ECRスパッタリングにて,TiをバインダーとしたPt薄膜を作製し,内部電極とした。気液分離部としては,シリコンウェハーに微細孔をDeepRIEによって加工し,更にはっ水処理等の表面改質処理を行って使用した。...
DOI
NDLデジタルコレクション
Web Site
ほか1件
被引用文献2件
参考文献22件