検索結果 15 件

松本 知也 表面と真空 67 (4), 172-175, 2024-04-10

<p>Quietness has become one of the key performance requirements for many users of vacuum pumps. In responcse, we launched the new air-cooled dry pump ‘NeoDry-G’ series in 2022. ‘NeoDry-G’ series is …

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神谷 潤一郎, 大井 元貴, 小林 史憲, 酒井 健二, 山田 逸平 表面と真空 67 (4), 186-191, 2024-04-10

<p>This report describes the usage, specification, troubles and the countermeasures of dry pumps in Japan Proton Accelerator Research Complex (J-PARC). In J-PARC, while dry scroll pumps (DSP) are …

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長山 真己 表面と真空 61 (8), 510-513, 2018-08-10

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関口 信一 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 346-, 2018

半導体製造ラインにおけるドライ真空ポンプの使用台数は１ライン当たり数百から数千台であり，24時間連続稼動している．その結果，半導体製造工場の全電力消費量の12～13％をドライ真空ポンプが占めている．このため，ドライ真空ポンプの省エネルギー化は，半導体製造工場の電力削減に対して重要な課題である．ドライ真空ポンプの省エネルギー化技術について，これまでの取組みと進展及び今後の展望について報告する．

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澤田 雅, 大林 哲郎 真空 49 (8), 460-465, 2006

  Since almost all commercially provided dry pumps are of the positive displacement type, the leak flow through clearance between displacement chambers in the pump is a dominant factor which …

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近藤, 裕, 宮内, 幹雄, 敦賀, 将太 筑波大学技術報告 24 81-85, 2004-03

機関リポジトリ HANDLE Web Site

村上 義夫, 湯山 純平 真空 46 (3), 185-188, 2003

A new oil-free vacuum pump has been developing to substitute for the conventional oil-sealed rotary vacuum pumps. The pump is a four-stage positive displacement pump whose pumping unit consists of a …

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相川 純一, 菅家 幸雄, 湯山 純平 真空 43 (5), 564-571, 2000

Newly released roots type dry vacuum pumps (PDR-C series; ULVAC JAPAN, Ltd.) are described.<BR>Main parts of the pumps consist of aluminum cast alloys. Their high thermal conductivity makes it easy …

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澤田 雅 真空 43 (5), 557-563, 2000

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松本 隆夫 ターボ機械 23 (11), 664-669, 1995

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澤田 雅 ターボ機械 23 (11), 630-634, 1995

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大谷 祐治, 曽我美 晋, 岡村 知明, 竹下 興二, 吉田 善一 真空 33 (3), 170-172, 1990

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真瀬 正弘, 刑部 一郎, 長岡 隆司, 上田 新次郎 真空 33 (7), 627-630, 1990

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沼尾 源司 真空 33 (7), 615-618, 1990

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加藤 正和 石油学会誌 27 (3), 179-187, 1984

The first underground stockpiling plant in Japan for test operation has been constructed utilizing basement rocks in Shikoku Island, Western Japan. The construction of the test plant started in …

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