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韓 剛, 佐々木 実 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 142 (10), 259-265, 2022-10-01
<p>At present, there is no suitable mask for the etching process to fabricate micron-level textures on stainless steel. In this paper, we take advantage that Si can be processed as fine structures …
DOI Web Site 参考文献13件
Huynh ThiCam Tu, 山口 昇, 大平 圭介 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2206-2206, 2020-08-26
DOI
渡邉 桂 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 141-141, 2019-02-25
別府 晟多, 毎田 修, 伊藤 利道 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1376-1376, 2017-03-01
奥村 宏克, 陣内 佛霖, 松永 範昭, 寒川 誠二 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 (0), 1801-1801, 2010-03-03