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長澤 颯, 菅 洋志, 渡邉 怜音, 荻谷 拳 精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 86-87, 2022-03-02
...<p>微細加工用のプラズマ技術は半導体故障解析などに役立てられており、より高精度で微細な加工のためにプラズマをより細く絞ることが求められている。本研究では、磁気ミラーによるプラズマの微細化を目指し、プラズマを収束させる磁場レンズについて検討を行った。試作した磁場レンズを通過した吸引型プラズマが収束することを確認し、磁気ミラーによるプラズマ収束の有効性を明らかにした。</p>...
DOI
松井 拓人, 辰巳 功裕, 川島 朋宏, 村上 義信, 穂積 直裕, 江浦 茂, 松本 徹 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 39 (0), n/a-, 2018-10-29
平井 伸幸 映像情報メディア学会技術報告 37.5 (0), 1-2, 2013
...近赤外線と赤外線の計測を手段とした半導体故障解析装置は、広く一般に使用されている。近赤外線発光計測による解析技術、及び赤外線計測による発熱解析技術と、それらの解析事例について解説する。...
DOI 参考文献5件
王 洲光, 平山 司, 加藤 直子, 佐々木 勝寛, 坂 公恭 まてりあ 41 (12), 892-893, 2002
DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献3件
