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築山 義信, 加藤 友規, 松尾 啓汰 自動制御連合講演会講演論文集 59 (0), 1154-1156, 2016

...<p>非球面加工機などの超精密位置決め装置には，リニアモータとバランスシリンダを併用した電空ハイブリッド方式がある．この方式においてはバランスシリンダへの供給圧を高速かつ精密に制御する必要がある．そこで本研究では，圧力制御をダイヤフラム型レギュレータと超精密高速応答圧力レギュレータの2種類の方法で行い比較した．</p>...

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加藤 友規, 東嶋 元気, 矢澤 孝哲, 大坪 樹, 野崎 悠輔, 田中 克敏 日本フルードパワーシステム学会論文集 45 (1), 8-14, 2014

The aim of this research is to establish a quick and robust rotation control method for the air turbine spindle used in ultra-precision machining. In ultra-precision machine tool, such as an …

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川嶋 健嗣, 香川 利春 計測と制御 48 (3), 225-230, 2009-03-10

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川嶋 健嗣, 加藤 友規, 山崎 俊平, 香川 利春 日本フルードパワーシステム学会論文集 38 (2), 29-34, 2007

The pressure regulator is a substantial element in a pneumatic system. In this paper, we propose a regulator that achieves precise pressure control with high a dynamic response using a pressure …

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