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  • レーザー照射による使用済み酸化セリウム研磨材の表面改質に関する研究

    加藤 照子, 春日 博, 渡邊 剛, 上原 嘉宏, 大森 整, 茂木 俊樹, 城谷 飛翔, 堀内 勉, 小泉 俊郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 757-758, 2018-03-01

    <p>大気中において波長405nm半導体レーザーを乾燥させた使用済み酸化セリウム研磨剤に照射した結果、照射面のSi成分が減少する傾向及びCe成分が増加する傾向が得られた。照射前後の使用済み研磨剤スラリーの模擬的研磨試験を行った結果、レーザー照射後の使用済み研磨剤の研磨特性向上の可能性が示唆された。</p>

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  • 半導体技術を応用した有機/バイオ素子作製

    堀内 勉, 林 勝義 応用物理 74 (3), 366-370, 2005-03-10

    <p>有機/バイオ素子の作製は,半導体で広く用いられている微細加工技術を基礎にしているが,材料や素子構造が異なるため,実際の加工法も異なる.本講座では,微細加工技術について詳しく,かつ有機/バイオ素子作製への展開を図ろうと考えている研究者を対象に,微細加工装置,材料,バイオセンサーの検出原理,バイオ材料の固定化法,微細流路の形成法,基板接着技術を紹介し,具体例として,カテコールアミンセンサーと揮…

    DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献15件

  • 大気環境モニタリング用小型VOC検出装置の開発

    堀内 勉, 上野 祐子, 丹羽 修 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 123 (4), 134-135, 2003

    Airborne benzene, toluene, and xylene (BTX) are aromatic volatile organic compounds (VOCs) of great social and environmental significance. Since they are toxic even at ppb concentrations and their …

    DOI Web Site 参考文献3件

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