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検索結果 29 件

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  • 無変形冷凍ピンチャックの開発 (第3報)

    宇根 篤暢, 小川 裕司, 吉冨 健一郎, 餅田 正秋 精密工学会誌 78 (5), 410-414, 2012

    As current large quartz masks have a warp range of 10 to 100 μm, polishing to a flatness of better than 10 μm is required. However, it is difficult to fabricate a mask that does not warp because the …

    DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献1件

  • 無変形冷凍ピンチャックの開発 (第2報)

    宇根 篤暢, 小川 裕司, 吉冨 健一郎, 餅田 正秋 精密工学会誌 77 (10), 972-976, 2011

    Large quartz masks require a flatness tolerance of 10 μm to transfer fine patterns; however, these masks typically have a warp range of 10 to 100 μm. Fabricating a nonwarped mask is difficult …

    DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献2件

  • 無変形冷凍ピンチャックの開発（第４報）

    吉冨 健一郎, 宇根 篤暢, 餅田 正秋, 小川 裕司 精密工学会学術講演会講演論文集 2011S (0), 307-308, 2011

    反りを持つ薄板試料を無変形で保持固定することはきわめて難しい．本研究では冷凍ピンチャックを用いてこれを実現することを目的としている．試料の保持固定には冷凍液を用いるが，使用する冷凍液の凝固には17℃以下が必要であり，一般的な加工よりも低い温度域での加工となる．本報では，スラリ温度を-5°～25°とした場合のセリア砥粒による石英ガラスの研磨特性を調べ，低温時にも十分に加工が進むことを確認した．

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  • 無変形冷凍ピンチャックの開発（第３報）

    小川 裕司, 宇根 篤暢, 吉冨 健一郎, 餅田 正秋 精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 139-140, 2010

    反りを持つ試料を無変形で保持固定することはきわめて難しい．本研究では冷凍ピンチャックを用いてこれを実現することを目的としている．本報では，ピンチャックのピン上部にのみ冷凍液を付着させるために親水・疎水性加工を施したチャックを製作し，このチャックを用いて冷凍液の塗布方法を検討し，その塗布特性および保持特性を明らかにした．また，冷凍固着により試料の変形を低減できることを立証した．

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  • 無変形冷凍ピンチャックの開発（第２報）

    小川 裕司, 宇根 篤暢, 吉冨 健一郎, 餅田 正秋 精密工学会学術講演会講演論文集 2010S (0), 71-72, 2010

    大型化が進むマザーガラスの需要に伴い、これらガラス板上にパターンを転写するマスク基板も大型化し、その表面積には高い平坦度が要求されている。無変形冷凍ピンチャックの開発を目指し、反りを有する基板を無変形で凝固固着させるため、本報では使用する冷凍液の凝固プロセス、凝固固着時のせん断力と凝着面依存性等の依存性を調べ、さらに、ピンチャック上での凝固保持時における試料基板の変形などについて明らかにする。

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  • 無変形冷凍ピンチャックの開発（第１報）

    小川 裕司, 宇根 篤暢, 小笠原 永久, 吉冨 健一郎, 餅田 正秋 精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 345-346, 2009

    大型化が進むマザー・ガラスの需要に伴い、パターン転写するマスク基板も大型化し、その表面にも高い精度が要求されている。マスク基板は、現在、水貼り法で保持して研磨されているが、反りを矯正するため研磨後に矯正反り分が残存する。本研究では、反りを矯正せず無変形で試料を保持するチャックの開発を目指す。本報では、ピン上の冷凍液のみ凝固させる無変形冷凍ピンチャックの原理と、冷凍液の基本特性について明らかにする。

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  • 歯と歯茎の境界抽出に関する一検討

    肥後 尚志, 小川 裕司, 篠田 之孝, 佐々木 嘉雄 照明学会　全国大会講演論文集 35 (0), 163-163, 2002

    歯周病は歯周菌が歯とは歯茎の境界に侵入し最終的には歯の喪失を招くものである。この為歯と歯茎の境界位置を把握することは、ことに高齢者の歯の健康管理において重要である。そこで本文では、白色LED光源とCCDカメラを撮像された画像にたいして、色度図上の距離がそのまま色の差となるU’-V’色度図をもちいて歯と歯茎の境界を抽出する基礎的実験を行い、歯と歯茎の境界を比較的簡単に抽出することができることを示し…

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  • Efficient synthesis of isocarbacyclins.

    袖岡 幹子, 小川 裕司, 間瀬 俊明, 柴崎 正勝 ＣＨＥＭＩＣＡＬ　＆　ＰＨＡＲＭＡＣＥＵＴＩＣＡＬ　ＢＵＬＬＥＴＩＮ 37 (3), 586-598, 1989

    An efficient and useful synthesis of isocarbacyclins, potent carbon analogs of Prostacyclin(PGI<SUB>2</SUB>), has been accomplished.Three synthetic routes to isocarbacyclins using intramolecular …

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