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小林 光俊 敬心・研究ジャーナル 1 (1), 1-1, 2017
DOI
小林 光俊, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩 精密工学会学術講演会講演論文集 2011S (0), 809-810, 2011
物体の3次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度3次元座標計測器の開発のためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。プローブは捕捉レーザの測定物による遮断、測定面に近づける方向などによって不安定な挙動を示す。本報では、これを捕捉レーザの偏光状態やプローブ形状によって改善する方法を検討した。
小林 光俊, 道畑 正岐, 林 照剛, 高谷 裕浩 精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 523-524, 2010
近年、マイクロ部品の３次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度３次元座標計測器の開発が求められている。そのような計測器を実現するためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。本報では、プローブに被測定物の形状に依らないセンシング特性を持たせることを目的とする。その検証に適した凹凸構造をもつSiバルク材に対してプローブ球を様々な方向から近づけ、その位置検出特性を確認した。
