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松野 祥太郎, 森川 徹也 廃棄物資源循環学会研究発表会講演集 34 (0), 391-, 2023
<p>高反応消石灰はJIS特号消石灰に比べて使用量が少なくなり、排ガス処理コストの低減や飛灰発生量の減少といったメリットがある。一方、排ガス処理工程中で高反応消石灰に含まれる有機成分から1,4-ジオキサンが生成されるという報告がなされており、実際にごみ焼却施設の飛灰固化物における溶出試験でジオキサンが検出された事例も報告されている。当社では有機成分の溶出を抑制した低環境負荷型の高反応消石灰を開発…
DOI
森川 徹也, 坂本 博 廃棄物資源循環学会研究発表会講演集 30 (0), 329-, 2019
<p>ごみ焼却施設から発生する酸性ガスの除去には、比表面積等を増大させ酸性ガス除去性能を向上した高反応消石灰が用いられることが多くなってきている。高反応消石灰はJIS特号消石灰に比べて使用量が少なくなり、排ガス処理コストの低減や飛灰発生量の減少といったメリットがある。一方で、最終処分場において飛灰からの有機成分溶出が問題となっている。その主たる要因は重金属溶出抑制のために添加される有機キレート剤…
石川 忠彦, 蝶野 彩, 北山 眞, 田中 貴裕, 恩田 健, 沖本 洋一, 腰原 伸也, 森川 徹, 白旗 崇, 御崎 洋二 日本物理学会講演概要集 66.1.4 (0), 744-, 2011
蝶野 彩, 北山 眞, 石川 忠彦, 恩田 健, 沖本 洋一, 腰原 伸也, 森川 徹, 白旗 崇, 御崎 洋二 日本物理学会講演概要集 66.2.4 (0), 757-, 2011
北山 眞, 蝶野 彩, 石川 忠彦, 恩田 健, 沖本 洋一, 腰原 伸也, 森川 徹, 白旗 崇, 御崎 洋二 日本物理学会講演概要集 65.2.4 (0), 835-, 2010
上田 真己, 森川 徹也, 山村 和也, 柴原 正文 精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 259-260, 2009
大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウエハの厚み均一化プロセスの開発において、現在設定加工量との誤差が10%程度あるため、10nm以内の均一性を達成するには不十分である。加工精度の低下要因としてプラズマからの熱流入による電極の熱膨張、試料台上に形成した溶射膜厚さの不均一性、アルミ合金製電極表面におけるフッ化膜と酸化膜の生成およびその剥離等が考えられ、これらの要因を詳細に検討した。
森川 徹也, 上田 真己, 山村 和也, 森 勇蔵, 柴原 正文 精密工学会学術講演会講演論文集 2008A (0), 805-806, 2008
大気開放型プラズマCVMを用いた高周波振動子作製用水晶ウエハにおける厚みムラの修正加工において、これまで、厚みの均一性として50nm以下を達成した。さらに、電源をCWからパルス電源にかえることにより、ラジカル密度の向上と、基板表面温度の低下による熱応力由来の基板割れの防止を実現し、加工速度の高速化を達成した。今回パルス変調で数値制御加工を行い、高精度化に関して検討を行なった結果について報告する。
森川 徹也, 柴原 正文, 山村 和也, 森 勇蔵 精密工学会学術講演会講演論文集 2008S (0), 1077-1078, 2008
高周波振動子作製用のATカット水晶ウエハにおける厚みムラの修正加工において、我々は大気開放型数値制御プラズマCVMを適用することを提案し、これまでに、40mm角のウエハに対して50nm以下の厚み均一性を達成している。本報では、印加する高周波電力を連続波からパルス変調とすることで熱応力による基板割れを防ぐとともに、加工速度の高速化を図った結果について報告する。
森川 徹也, 山本 雄介, 柴原 正文, 佐野 泰久, 山村 和也, 森 勇藏 精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 533-534, 2007
大気開放型プラズマCVMを用いた高周波振動子作製用水晶ウエハにおける厚みムラの修正加工において、反応ガス組成、投入電力、加工ギャップ等の加工条件の最適化をはかり、数値制御加工を行った。修正加工の結果、厚みの均一性として50nm以下を達成した。
森川 徹也, 柴原 正文, 山村 和也, 森 勇蔵 精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 131-132, 2007
大気開放型プラズマCVMを用いた高周波振動子作製用水晶ウエハにおける厚みムラの修正加工において、反応ガス組成、加工ギャップ等の加工条件の最適化をはかり、数値制御加工を行った。修正加工の結果、厚みの均一性として50nm以下を再現性よく達成した。
山本 雄介, 森川 徹也, 柴原 正文, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 森 勇藏 精密工学会学術講演会講演論文集 2006A (0), 959-960, 2006
材料にダメージを与えない高能率の超精密加工法としてプラズマCVMが提案されているが、本研究ではチャンバー内のガス置換プロセスが不要の大気開放型プラズマCVM加工装置を開発した。本装置を用いて厚さが100µm以下のATカット水晶ウエハの厚さムラを、数値制御加工により数十ナノメータ以下に低減することに成功した。
森川 徹夫 大気汚染学会誌 28 (1), A40-A43, 1993
森川 徹夫 Japan Thermosetting Plastic Industry Association 14 (3), 161-166, 1993
大量生産・大量消費・大量廃棄によって有限な資源の枯渇化を招くと共に, 地球の環境容量を超えた高度の産業活動が地球規模での環境問題を引き起こしている。地球との共生を果たしながら産業活動の「持続的発展」を可能ならしめるためには, 地球規模での物質循環についての新しいシステム, 即ち「資源循環型社会」の構築が不可欠である。樹脂業界においてもプラスチック材料の評価項目に「環境適合性」が加わり, …
森川 徹夫 熱硬化性樹脂 14 (3), 161-166, 1993
J-STAGE
森川 徹夫 Proceedings of Symposium on Network Polymer 42 (0), 109-112, 1992
大澤 武彦, 大賀 功夫, 森川 徹夫 環境技術 15 (10), 791-796, 1986