垣本 明徳, 今野 雄太, 金子 純一, 藤田 文行, 後藤 拓人, 坪内 伸輝, 杢野 由明, 茶谷原 昭義, 渡邊 幸志, 梅澤 仁, 鹿田 真一, 本間 彰, 古坂 道弘
日本原子力学会 年会・大会予稿集
2010f
(0),
108-108,
2010
...研磨により成長層を自立膜化すると基板が損失してしまうが、Lift-off法と呼ばれるイオン注入を用いたダイヤモンド膜分離法を用いることにより、基板の再利用と薄い自立膜の作製を行った。この手法の導入により使用基板の特性によらないCVD合成が可能となった。...
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