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  • セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

    藤井 陽介, 小谷 浩之, 青木 佑一, 足立 雄介, 高崎 正也, 大竹 尚登, 水野 毅 精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 741-742, 2007

    これまでにセグメント構造ダイヤモンド状炭素(S-DLC)膜を摩擦駆動面に導入した弾性表面波リニアモータの駆動に成功している。前報では、スライダ面にS-DLCを適用した際に従来と同程度の推力を得られることを確認した。本報では、ステータ振動子面にS-DLCを適用し、無負荷速度、推力といった駆動特性を取得し、従来の弾性表面波リニアモータとの駆動特性の比較を行った。

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  • セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

    藤井 陽介, 小谷 浩之, 足立 雄介, 青木 佑一, 高崎 正也, 大竹 尚登, 水野 毅 精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 1019-1020, 2007

    これまでにセグメント構造ダイヤモンド状炭素(S-DLC)膜を摩擦駆動面に適用した弾性表面波リニアモータが報告されている。本報では新たに作成した実験装置を用い、従来のシリコンスライダと、シリコンウエハ表面にS-DLC膜を適用したスライダのそれぞれにおいて、無負荷速度、推力といった駆動特性を取得し、比較することによりスライダ面の材質の違いによる駆動特性の比較を行った。

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  • セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

    藤井 陽介, 小谷 浩之, 足立 雄介, 青木 佑一, 高崎 正也, 大竹 尚登, 水野 毅 精密工学会学術講演会講演論文集 2006A (0), 943-944, 2006

    これまでにセグメント構造ダイヤモンド状炭素（S-DLC）膜をスライダ表面に導入した弾性表面波リニアモータの駆動に成功している。本報では、ステータ振動子表面へのS-DLC膜の導入の検討を行った。プラズマCVD法のパラメータを最適化することにより圧電性単結晶であるLiNbO<sub>3</sub>基板の表面にS-DLC膜を形成することに成功した。さらに同基板上にIDTを形成し電気的特性、機械的特性の…

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  • セグメント構造DLC膜の変形挙動とトライボロジー特性評価

    青木 佑一, 足立 雄介, 大竹 尚登 精密工学会誌論文集 71 (12), 1558-1562, 2005

    基材が弾性・塑性変形を受けるような軟質材料へのDLC膜の成膜手法であるセグメント構造DLC膜の設計手法について検討した. 設計パラメータとしてセグメントサイズや間隔のトライボロジー特性や膜の変形挙動への影響を評価するために, セグメント構造DLC膜をアルミニウム基材上へコーティングしボールオンディスク試験や4点曲げ試験を行った. また, 有限要素解析と合わせてセグメントの設計指針について示した.

    DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献11件

  • セグメント構造DLC膜の変形挙動とトライボロジー特性の評価

    青木 佑一, 足立 雄介, 大竹 尚登 精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 803-804, 2005

    DLC膜は優れた機械的特性を有している.中でも我々の提案するセグメント構造DLC膜は,基材が弾性·塑性変形してしまう場合への応用が期待されている.本研究ではセグメントサイズや間隔に着目し,セグメントDLC膜の基材変形時の挙動について4点曲げ試験,数値解析により評価を行う.また,そのトライボロジー特性についてボールオンディスク試験を行い,セグメントサイズ,間隔の最適な設計について検討する.

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