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  • 窒化アルミニウム研削時における脱粒の発生とその抑制

    鈴木 眞哉, 吉原 信人, 閻 紀旺, 厨川 常元 精密工学会学術講演会講演論文集 2006S (0), 585-586, 2006

    機能性セラミックスである窒化アルミニウム焼結体を高能率に鏡面加工するには,加工時の粒界破壊による脱粒の発生を極力抑える必要がある.そこで,面接触加工方式により砥粒切れ刃の切削力が小さくなり,被削材への加工ダメージを抑えることができる超精密平面ホーニング加工法を同加工に適用し,その最適加工条件を得るべく砥粒の切削現象と脱粒の発生および抑制メカニズムについて検討,解析を行ったので報告する.

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  • 超精密平面ホーニングによる窒化アルミの高能率鏡面研削

    鈴木 眞哉, 吉原 信人, 厨川 常元 精密工学会学術講演会講演論文集 2005S (0), 500-500, 2005

    次世代光学デバイス用ウエハ等を高能率に超平滑面に加工する超精密平面ホーニング加工法を開発した.本加工法では超砥粒砥石と工作物が高剛性,高精度に面接触するため砥粒切れ刃の切削力が小さくなり,被削材への加工ダメージを低減できる.本報では,機能性セラミックスである窒化アルミニウム焼結体の加工時の粒界破壊による脱粒を低減させ,高能率に鏡面を得るための最適加工条件を求めるべく実験と検討を行ったので報告する.

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  • 超精密平面ホーニングに関する研究

    鈴木 眞哉, 厨川 常元, 庄司 克雄, 西原 和成 精密工学会学術講演会講演論文集 2004S (0), 579-579, 2004

    硬脆材料の鏡面加工法の1つに固定砥粒を用いた超精密平面ホーニングがある.この加工法では工作物と砥石を面接触させて研削を行うため,工作物の平坦度を良くするためには砥石表面をできるだけ高精度に平坦にツルーイングすることが重要となる.そこで,ツルア砥石の形状と位置が砥石面形状に及ぼす影響について理論解析と実験を行い検討した.

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  • 超精密平面ホーニングを用いた光学ガラスの高精度加工

    西原 和成, 立畠 直樹, 野村 幸治, 鈴木 真哉, 厨川 常元, 庄司 克雄 精密工学会学術講演会講演論文集 2003S (0), 617-617, 2003

    平面ホーニング加工技術は高い加工能率、加工ダメージが小さい、高精度加工（平坦度、仕上げ面粗さ）など従来の遊離砥粒による研磨法にない優れた加工特性をもつ。今回、放射状砥石を用いて光学ガラスを加工しその加工特性を明らかにした。またこの加工技術を用いて3インチガラスウエハを10μmまで薄肉化し、光部品の製造プロセスとして基礎検討を行った。

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