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研究データ 1 論文 1,207 博士論文 54

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検索結果 1,207 件

  • “微”弱なハロゲン-π相互作用による芳香族ハロゲン化物認識のための分子インプリントポリマーの合成

    金尾 英佑, 久保 拓也, 大塚 浩二 分析化学 72 (9), 377-381, 2023-09-05

    ...，電子豊富な原子団や官能基との間に微弱で特異的な分子間相互作用を形成する．特にπ共役系との相互作用（X-π相互作用）は，方向性や分子選択性に優れていることが知られているが，X-π相互作用を分子インプリントポリマーに応用した研究例は少ない．そこで本研究では，X-π相互作用に基づく分子インプリントポリマーの合成について基礎的な検討を行い，二置換ハロゲン化ベンゼン異性体の選択的な分子認識材料を開発した．...

    DOI Web Site Web Site 参考文献11件

  • 微細線構造レプリカモールドを用いた再離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測

    若狭 智仁, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 330-331, 2023-08-31

    <p>金型はUV-NIL転写を繰り返すと表面の離型剤が劣化し樹脂付着や欠損が生じる。L&S構造では線に沿った水の接触角（CA）と線を横切るCAがあり、2つのCAの差を利用することで、金型の離型処理の寿命を予測することが可能である。本研究では、100nmのL&Sパターンを有するレプリカモールドを用いて、低濃度離型剤の特性を検討した。また、レプリカモールドの寿命前に、再度離型処理を施すことで、寿命を…

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  • 固体電解質膜を用いた電気化学インプリントにおけるパターン精度の向上

    山﨑 克真, 辻 淳喜, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 451-451, 2023-08-31

    ...われわれは固体高分子電解質膜をスタンプとして用いた新たな電気化学インプリント技術を開発している。本研究では、微細構造を形成した高分子電解質膜を用い、パターニングおよびエッチングを行うことで、その構造をSiなどの無機材料表面へ形成することを試みた。パターニングおよびエッチングの諸条件を変更して、微細構造形成の精度向上を目指した。</p>...

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  • 高分子電解質膜を用いた電気化学的表面処理による濡れ性コントラストの作製

    植村 采奈, 小川 優姫菜, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 674-674, 2023-08-31

    ...<p>微小液滴制御技術は，材料表面の一部の濡れ性を変化させることで液滴を操作し，Fog harvestingや液滴撹拌などへの分野に応用がなされている．我々は液体電解質の替わりに高分子電解質膜を用いた，電気化学的インプリントリソグラフィを開発している．本研究では局所的な濡れ性の制御に高分子電解質膜を用い，Siウェハ上に高い濡れ性コントラストを持つパターン構造と液滴の作製を試みた．</p>...

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  • MEMS商業化に向けての取り組み

    尹 成圓, 魯 健, 伊藤 寿浩 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 822-823, 2023-08-31

    <p>本発表では、MEMS商業化に向けての取り組みについて紹介する。MEMS量産試作においては、産業技術総合研究所と共同管理運営する民間組織MNOIC（MicroNano Open Innovation Center）の活動や超高速電子ビーム加工装置の開発等について述べる。IoT（Internet of …

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  • 橋掛構造による転写圧を変えた時のUVナノインプリントの充填挙動の把握

    村上 湧祐, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 342-343, 2023-08-31

    <p>UV-NILの問題はモールドを離形処理すると撥水性が高くなることと、NIL時に気泡が発生することである。そのためUV硬化樹脂のUV-NILモールドへの充填挙動を観察することは重要である。そこで本研究では、前回の問題点であった耐久性とたるみを改善するため、ネガ型レジストのSU-8を用いて橋掛構造を作製し、細かく転写圧を変化させたときのUV-NIL時の充填挙動を調べたので報告する。</p>

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  • 金型転写の歴史と精度1

    谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 425-426, 2023-08-31

    ...ここでは、その歴史と最先端技術であるナノインプリント技術について精度や解像度について考察する。生産に使用されている技術であり、この技術体系を整理することは重要である。</p>...

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  • レーザアシスト法を用いたガラス表面への微細構造転写

    光田 健洋, 長藤 圭介, 中尾 政之 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 340-341, 2023-08-31

    <p>表面に微細構造を持つ材料の産業利用が拡大しているが，中でもガラスは光学特性，熱特性に優れるため各分野への応用が期待されている．ガラス表面へ微細構造を形成する工法としてモールド法があるが，サイクルタイムが長い．本研究では，熱収支に優れるレーザアシスト法を用いて，ガラス表面への高効率な微細構造の転写を試みた．スポット照射にてレーザ出力強度および照射時間を変更し得られた転写結果からメカニズムを考…

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  • 微細な凹凸を転写するナノインプリント まねができない技術力で偽造防止に貢献

    国立研究開発法人科学技術振興機構 JSTnews 2023 (5), 3-7, 2023-05-08

    ...<p>小型化、高性能化が進む半導体の量産技術として期待されているナノインプリント技術。微細な凹凸パターンを持つ「型」を、基板に押しつけることでハンコのように転写できるのが魅力だ。兵庫県立大学の松井真二教授（当時）と旭化成は、10年以上に及ぶ共同研究で超高精細なパターンを転写できる円筒形の型の作成に成功した。...

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  • 固体電解質のイオン輸送を利用したCuエッチングによる微細パターニング

    辻 淳喜, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 741-741, 2023-03-01

    ...<p>Cuは抵抗率が低くかつ高融点であることから集積回路の微細配線などで多く使用されている．現在，Cu微細パターンの作製方法はダマシン法などの間接的な方法が主たるパターン作製技術となっている．ダマシン法などの技術では，複雑な多段階プロセスや高価な装置が必要となることが課題である．そこで，本研究では高分子電解質膜を用いた電気化学的インプリントにより直接的にCuパターンを作製することで加工効率の向上を試...

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  • 高分子電解質膜を用いた電気化学インプリントの開発

    山﨑 克真, 松田 竜樹, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 739-739, 2023-03-01

    ...われわれは高分子電解質膜をスタンプとして用いた新たな電気化学インプリント技術を開発している。本研究では、微細構造を形成した高分子電解質膜を用い、その構造の酸化膜を Si などの無機材料表面へ転写することを試みた。また、酸化膜を利用したアルカリエッチングを行うことで材料表面に微細構造を形成したので報告する。</p>...

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  • 電子ビームの走査方法によるドーズ量の3次元制御

    杉原 達記, 金子 新 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 143 (2), 26-31, 2023-02-01

    <p>Transfer process such as nanoimprinting is effective for fabricating micro/nano structures over a large area. Releasability of nanoimprint molds is improved by the inclination of its side walls. …

    DOI Web Site 参考文献16件

  • 微細線構造レプリカモールドを用いた低濃度離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測

    若狭 智仁, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 101-102, 2022-08-25

    <p>金型はUV-NIL転写を繰り返すと表面の離型剤が劣化し樹脂付着や欠損が生じる．L&S構造では線に沿った水の接触角（CA）と線を横切るCAがあり，2つのCAの差を利用することで、金型の離型処理の寿命を予測することが可能である．通常，離型剤の濃度は0.1%程度で用いるが，さらに低い濃度での挙動は調べられていない．本研究では100nmのL&S構造を有する低濃度離形剤処理を施したレプリカモールドを…

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  • 高分子電解質膜を用いた電解加工による単結晶SiC表面の微細構造作製

    村島 悠介, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 8-9, 2022-08-25

    <p>単結晶SiCは従来の半導体材料であるSiに比べ、優れた電気的特性や物理的特性から次世代の半導体材料として期待される材料である。その特性から物質中3番目の硬度や化学的安定性を有しており、難加工材料とされている。そのため加工コストの高騰化がSiC半導体の開発や普及の妨げになっている。そこで、本研究では単結晶SiC表面へのパターニング方法として、電気化学的な加工を施すことで低コストな加工の実現を…

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  • 橋掛構造によるUVナノインプリントの充填挙動の確認

    村上 湧祐, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 99-100, 2022-08-25

    <p>UV-NILは現在、ナノレベルの微細加工技術として注目されている。そこでUV硬化樹脂のUV-NILモールドへの充填挙動を観察することは重要である。これはモールドの離型処理によってUV硬化樹脂の充填が阻害されるからである。本研究では、ネガ型レジストのSU-8を電子ビーム露光することにより橋掛構造を作製し、UV-NIL時の充填挙動を調べたので報告する。</p>

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  • 色味のある視野角制御フィルムの作製

    谷田川 克進, 穂苅 遼平, 谷口 淳, 栗原 一真 精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 599-600, 2022-03-02

    ...本研究では、視野角制御フィルムの意匠性向上に向けて、光インプリントと材料充填技術を用いて、カラーリングマイクロルーバー構造を作製した。特性評価の結果、正面から見ると透明で、50度以上の角度から見ると色味のある視野角制御フィルムを実現できた。</p>...

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  • 高分子電解質を用いた電気化学インプリントリソグラフィによる半導体ウェハのテクスチャリング

    松田 竜樹, 山﨑 克真, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 72-73, 2022-03-02

    <p>太陽電池に使用される半導体ウェハは，パターン構造を転写することで反射低減などの機能付与が可能である．しかし，これらの加工には高温真空環境が必要となり，多大なエネルギー使用が課題となる．そこで，本研究では高分子電解質膜(PEM)を用いた陽極(加工物)/PEM/陰極の電解機構により，室温大気圧下で半導体ウェハにテクスチャリングを行った．そして，本加工法がパターン構造や酸化膜質に与える影響につい…

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  • 充実性膵病変の診断における迅速細胞診の有無：ランダム化比較非劣性試験

    蘆田 玲子 日本消化器内視鏡学会雑誌 64 (7), 1393-1393, 2022

    ...</p><p>【方法】非劣性試験（非劣性マージン，５％）は，８カ国・14のセンターで実施された．組織採取を要するSPLの患者は，新規FNB針を使用し，ROSEの有無に関してはランダムに割り当てられた（１：１）．ROSEにはタッチインプリント細胞診法を用いた．主要評価項目は良悪性診断能であり，副次評価項目は安全性，コア組織の採取率，検体の品質，および手技時間であった．...

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  • 高分子電解質を用いた電気化学インプリント技術の開発

    森本 英太, 梅崎 凌平, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 478-479, 2021-09-08

    ...<p>高分子電解質膜（PEM）は陰極/PEM/陽極の電解機構において陽極酸化反応を起こし陽極に酸化膜を形成する．本研究ではこの電気化学反応を利用したロール電極によるインプリント技術を提案する．回転するロール電極を用いる事で大面積の加工物に対して高密度の電流で連続的に加工を行う事が可能である．本加工法を用いて大面積のSi基板表面にピッチ70 μm，深さ20 nmのパターン状構造を生成した．</p>...

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  • 高分子電解質を用いた電気化学インプリント技術の開発

    梅崎 凌平, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 480-481, 2021-09-08

    <p>高分子電解質膜（PEM）は，陰極/PEM/陽極の電解機構において，PEM中の水分の電解反応により陽極酸化反応が生じ陽極表面に酸化膜を生成する．この電解反応の生じやすさは大気中およびPEM中の水分量に依存する．そこで本研究では，陰極側からPEMに水分を供給できる電解装置を作製し，PEMへの連続的な水分供給が加工特性に与える影響について調査した．PEMに水分を供給することでSi基板表面に均一な…

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  • UV-NIL後に電子ビーム露光可能なレジスト材料による高機能レンズ作製

    千﨑 沙彩, 岡部 貴雄, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 342-343, 2021-09-08

    ...紫外線によるナノインプリントリソグラフィ（UV-NIL）プロセスで硬化した樹脂材料が、ポジ型の電子線レジストとしても機能する樹脂を開発し、UV-NIL後の電子線露光法により、マイクロレンズアレイ上に500nm幅の同心円状のハイブリッド構造を作製した。また、このハイブリッド樹脂構造を金型として、UV-NILによる複製も可能である。</p>...

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  • 混合凝縮性ガス下での光ナノインプリントにおける光硬化性樹脂の微小液滴の充填評価

    大川 達也, 鈴木 健太, 今井 郷充 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 363-364, 2021-09-08

    ...<p>インクジェットを用いた光ナノインプリントは次世代リソグラフィ技術として注目されているが、光硬化性樹脂の微小液滴のモールドへの充填の高速化が課題となっている。本研究では、モールドへの充填を促進する効果がある混合凝縮性ガスを導入する技術を、インクジェットを用いた光ナノインプリントに採用し、充填性の評価を行った。...

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  • 低屈折透明パッドによる研磨微粒子の挙動観察に関する研究

    松本 龍之介, 鈴木 恵友, 弘田 廉, カチョーンルンルアン パナート 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 110-111, 2021-09-08

    ...<p>本研究では，CMPにおける材料除去メカニズムを明らかにするために，研磨微粒子の挙動観察を行った．観察に必要となる低屈折透明パッドは，スラリーと同程度の屈折率を有する透明樹脂を材料にして熱インプリント法により作製した．また，研磨中の研磨微粒子挙動の観察に伴って，研磨微粒子の挙動が研磨中の段差緩和とどのような関係があるか考察を行った．</p>...

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  • UVナノインプリント法を用いたマイクロニードルの複製工程におけるPFPガスの影響評価

    濱田 浩輝, 鈴木 昌人, 高橋 智一, 青柳 誠司 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 262-263, 2021-09-08

    ...<p>我々は3次元光造形法によりマイクロニードルの原型を作製し、これをUVナノインプリント法により転写する手法について研究してきた。この研究ではステップ・アンド・リピート法と呼ばれるインプリントを連続で繰り返す手法により転写速度の向上を図っているが、この際に転写不良が発生することが問題になっていた。...

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  • ロールプレス法によるモスアイ構造を利用した付着性撥水の作製

    藤原 一毅, 菅原 浩幸, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 346-347, 2021-09-08

    <p>バラの花びらの表面は固有の階層微細構造で形成されており，撥水性があると同時に高い接触角ヒステリシスを持ち，微小液滴を付着させる事ができる．本研究はUV-NILでモスアイフィルムを作製し，ロールプレス法によりマイクロオーダーのホールパターンを形成した．モスアイ構造により撥水し，ホールパターン箇所にのみ付着性撥水が見られた．このプロセスにより，水滴が付着する面積を制御することができた．</p>

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  • オンサイト分析システムのための微小流体技術の開発

    内藤 豊裕 分析化学 70 (6), 341-349, 2021-06-05

    ...設定されている目標のひとつである．どこでも，誰でも使える分析装置という観点から，高額・大型・特殊な装置を必要としない分析手法の開発は必須である．ここでは，Poly(dimethylsiloxane)（PDMS）鋳型の酸素透過性と，酸素ラジカルによる重合阻害の影響を受けにくいチオールエン系光硬化性樹脂を利用した積層造形によって，ハンディーUVランプだけで作製可能な3次元造形法，電気浸透流ポンプと分子インプリント...

    DOI Web Site Web Site ほか1件 被引用文献1件 参考文献39件

  • 分子インプリントポリマーのin silico結合特性解析

    池上 貴史, 片岡 良一, 砂山 博文, 竹内 俊文 分析化学 70 (3), 111-124, 2021-03-05

    ...<p>分子インプリントポリマー（Molecularly Imprinted Polymers，MIPs）は不安定な天然の受容体に代わる人工分子認識材料として注目されている．以前著者らはビスフェノールA（Bisphenol A，BPA）に対するMIPsを合成し，このMIPsがBPAだけでなくエストロゲンである17β-エストラジオールとも吸着を示すことを報告した．つまりこのMIPsはエストロゲン受容体に...

    DOI Web Site Web Site

  • 高分子電解質を用いた電気化学的インプリントリソグラフィ技術の開発

    梅崎 凌平, 土田 ひなの, 村田 順二 精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 787-788, 2021-03-03

    <p>物質表面に微細なパターン構造を施すために種々のリソグラフィ技術の研究が盛んに行われているが，装置のコスト面，加工時の周囲環境に制限がある等の課題が存在する．高分子電解質膜(PEM)は陰極/PEM/陽極の電解機構において大気圧下で陽極酸化反応を起こし陽極に酸化膜を生成する．本研究ではこの電気化学反応を用いた新規リソグラフィ技術を提案する．本加工法によりSi基板表面にピッチ420 …

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  • TRafプロセスを用いた反射防止膜の作製

    遠藤 陽奈, 大島 明博, 鷲尾 方一 アイソトープ・放射線研究発表会 1 (0), 115-, 2021

    ...を用いて、電子線ナノインプリント技術である TRaf プロセスによる架橋 PTFE 微細構造体の作製を行ってきた。本研究では電子線リソグラフィー法によりナノドットパターンを持つ、Si モールドの 設計・製作し、モールドを用いて転写を行うことで、架橋 PTFE を素材とした反射防止構造膜の作製を試みた。</p>...

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  • 有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子動力学解析

    野村 紋世, 俣本 尚輝, 多田 和広 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 2P35-, 2021

    ...<p>微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている．...

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  • レーザアシストナノインプリントにおける干渉光を利用した樹脂流動現象観察

    蛯原 悠介, 天堵 晴斗, 中尾 政之, 長藤 圭介 精密工学会学術講演会講演論文集 2020A (0), 452-453, 2020-08-20

    ...<p>レーザアシストナノインプリント技術は熱ナノインプリントにおいてレーザでの入熱により短時間小エネルギでの転写を可能にした点で優れるが，転写時の樹脂流動現象が未解明なために適切な転写条件の選定が困難という課題を抱えている．本研究はレーザによる加熱時の樹脂上面を撮影し現れる干渉縞の観察から算出した樹脂形状が実測した樹脂形状と一致することを示した．また動画による樹脂流動のリアルタイム観察の可能性を示した...

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  • UV-NIL可能な電子ビームレジスト材料による貫通穴の作製

    千﨑 沙彩, 谷口 淳, 岡部 貴雄, 森永 翔太 精密工学会学術講演会講演論文集 2020A (0), 511-512, 2020-08-20

    ...<p>UVナノインプリントリソグラフィとポジ型電子線加工の両方が可能なレジストの電子線描画特性を調査し，様々なデバイスに応用できる微細な貫通穴の作製を行った．パターンの微細性を左右する要因であるレジストの膜厚と光重合開始剤の種類について電子線描画特性を調査した．本研究では，得られた描画特性の知見から，4 µm厚のレジスト上に50 µmのホールパターンと1 µmの貫通穴の三次元複合構造の製作に成功した...

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  • 電子線グラフト重合法を用いた微細構造を有する温度応答性細胞培養膜の作製

    堀内 寛仁, 志村 亮弥, 武岡 真司, 大島 明博, 鷲尾 方一 ＲＡＤＩＯＩＳＯＴＯＰＥＳ 69 (4), 129-134, 2020-04-15

    ...本研究では，電子線グラフト重合法により得た温度応答性細胞培養膜（n-TRCCM）に対して，フォトリソグラフィープロセスにより作製したLine & Spaceからなる微細構造体のモールドを使い，熱インプリント法によりそのパターンをn-TRCCMに転写することで，微細構造型温度応答性細胞培養膜（p-TRCCM）を作製した。p-TRCCM上における培養実験ではパターンに沿った細胞増殖の確認に成功した。...

    DOI Web Site Web Site ほか1件 参考文献9件

  • UV-NIL後に電子ビーム露光可能なレジスト材料の電子ビーム描画特性

    千﨑 沙彩, 谷口 淳, 岡部 貴雄, 松本 治輝 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 1-2, 2020-03-01

    ...<p>本研究では紫外線によるナノインプリントリソグラフィ(UV-NIL)後に電子ビーム露光ができるレジスト材料について電子ビーム描画特性を調べた。この調査はハイブリッドパタンを形成するうえで重要である。実験は、UV-NIL時の紫外線照射時間と電子線のDose量を変化させることで特性評価を行った。その結果、設計値 60 nm で電子ビーム描画したパターンが、現像後 290 nm の微細線が得られた。...

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  • マイクロニードルメッシュによる止血の機序

    加藤 暢宏, 千原 なみえ, 横山 真央, 田中 篤, 赤阪 隆史 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 171-171, 2020-03-01

    ...本研究ではフォトリソグラフィにより作製したマイクロニードルを原型に、熱インプリントにより作製したポリ乳酸製マイクロニードルメッシュで非生物由来の高性能止血シートの実現を目指している。生体組織への穿刺および止血機序について観察・評価した結果を報告する。</p>...

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  • 奨励賞受賞　小出裕之氏の業績

    奥 直人 ファルマシア 56 (6), 575-575, 2020

    ...小出裕之氏は，標的分子と結合してその機能を中和するナノ粒子の開発と疾患治療へ応用研究を行っている．小出氏は、ナノ粒子に組み込む機能性材料の構造とその配合比を最適化することで，インプリントすることなく蜂毒メリチンやがん増殖を促進する血管内皮細胞増殖因子の血液中での中和に成功している．近年では，消化管で標的分子を吸着して，その吸収を阻害するナノ粒子開発にも成功している。今後の臨床応用が期待される．...

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  • マウスIG-DMRの母方アレルにおけるインプリント制御領域のスクリーニング

    原 聡史, 村松 あかり, 寺尾 美穂, 高田 修治 日本繁殖生物学会　講演要旨集 113 (0), P-99-P-99, 2020

    ...<p>【背景・目的】<i>Dlk1</i>-<i>Dio3</i>領域は，IG-DMRと呼ばれる領域の父母アレル特異的なDNAメチル化により制御されるインプリント遺伝子クラスターである。過去に報告されたIG-DMRを約4 kb欠損したマウスは，欠損を父由来で遺伝しても表現型を示さない一方，欠損を母由来で遺伝するとインプリント遺伝子の発現異常により周産期致死となる。...

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  • 有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子シミュレーション

    向川 慶汰, 河原 功弥, 多田 和広 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2020 (0), 46-, 2020

    ...<p>微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている。...

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  • ウシ胚盤胞と肝臓のH3K4me3修飾のゲノムワイド比較解析

    石橋 真和, 池田 俊太郎, 南 直治郎 日本繁殖生物学会　講演要旨集 113 (0), P-98-P-98, 2020

    ...胚盤胞と肝臓で共通のピークを転写開始点付近に持つ29個のインプリント遺伝子のピークの面積について主成分分析を行ったところ，第一主成分方向では共通の修飾でありながらも組織特異性が強い成分，第二主成分方向では個体差や条件差を反映していると考えられる成分が抽出された。...

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  • 高強度・低反射率で防汚性を有するモスアイ構造フィルム

    谷口 淳, 日和佐 伸 色材協会誌 92 (12), 340-344, 2019-12-20

    ...<p>新規開発した高強度かつ防汚性をもつUV硬化樹脂を用いて，ナノインプリント技術によりモスアイ構造フィルムを作製した。開発した高強度樹脂のUV硬化後の鉛筆硬度は平坦膜で9Hと非常に硬いものができた。また，作製されたモスアイ構造フィルムは可視光領域で0.3％の反射率を示し，スチールウールの擦過試験にも耐え，擦過前後でも水の接触角は150°以上の超撥水を示した。...

    DOI Web Site Web Site 参考文献4件

  • 分子インプリントゾルゲル法によるジメチルジニトロブタン認識膜の開発

    朱 天野, 陳 燦思, 丁 立, 矢田部 塁, 小野寺 武, 都甲 潔 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2019 (0), 210-210, 2019-09-19

    ...まず，分子インプリントゾルゲル法を用い、作製条件を検討し、テンプレート分子、機能性モノマーおよび架橋剤の種類あるいは量をそれぞれ調整し、DMNB認識膜の作製を試みた。DMNBガス分子を認識膜に吸着させ、ガスクロマトグラフィー質量分析を利用し、認識膜に吸着した目標分子の量を測定し，膜の機能の評価を行った。</p>...

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  • 熱ナノインプリント法による高アスペクト比ポリ乳酸マイクロニードルの作製

    寺嶋 真伍, 立川 周子, 高橋 智一, 鈴木 昌人, 青柳 誠司 精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 194-195, 2019-08-20

    ...<p>PLA（ポリ乳酸）を材料とし，直径100 μｍおよび長さ1000 μｍの高アスペクト比のマイクロニードルを，熱ナノインプリント法を用いることで世界で初めて成形した．予備実験として，真空および大気圧下で，マイクロニードル先端に相当する円錐形状を成形した．次に，マイクロニードルの成形を試みた．円錐形状と比べ，より高圧高温が必要で，離型温度を高温側へ調整することで，表面が滑らかで変形の無いマイクロニードル...

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  • 超高速電子ビーム描画装置及び高精度ナノインプリント技術の開発

    尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋, 新関 嵩, 永井 佐利, 伊藤 高臣, 岡林 徹行 精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 214-215, 2019-08-20

    ...<p>ナノインプリントは各種デバイスの高性能化や小型化に対応できる有望な技術であるが、描画装置の低生産性が事業化への障害となっていた。そこで、本研究では、多種多様なデバイスの作製、およびその量産に向けたナノインプリント用大面積モールドの作製に対応できる、100 nmレベルの微細加工技術を開発した。...

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  • 凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察

    鈴木 健太, 尹 成園 精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 213-213, 2019-08-20

    ...<p>ナノインプリントは低コストでナノ構造を作製可能であり、MEMS、半導体、偏光子などのパターニング技術として期待されている。しかしながら、ナノインプリント時の気泡（未充填欠陥）の発生は、量産化に向けた課題となっている。本研究では、暗視野照明を用いてナノインプリントモールド全域の樹脂充填の評価を行った。...

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  • ガラス熱インプリント用Ni-Wナノ金型

    安井 学, 金子 智, 黒内 正仁, 伊藤 寛明, 荒井 政大 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 139 (5), 644-647, 2019-05-01

    <p>Increasing the pulse current frequency from 0.5 kHz to 5 kHz suppressed the cracking of the Ni-W film. In addition, the film thickness increased from 15 µm to 20 µm. However, the W content of the …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献5件

  • UV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた三次元ナノ撥水構造の作製

    後藤 晃平, 岡部 貴雄, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 568-569, 2019-03-01

    <p>ハスの葉やバラの花を例とした撥水構造は同一表面上にマイクロとナノスケールの構造を含んだ三次元構造となっている。このような三次元ハイブリッド構造の作製方法はいくつか報告されているが、本研究では新たな手法としてUV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた方法を提案する。この方法ではUV-NILで作製したマイクロサイズの構造上に直接ナノ構造をEBLで作製することが可能であり、143.6°の接触角を…

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  • 各種UV硬化性樹脂に対する低残膜ナノインプリント転写とその応用

    上田 大貴, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 544-545, 2019-03-01

    ...<p>ナノインプリントリソグラフィは微細なパターンを作製することができるが、UV硬化性樹脂のパターンと基板の間に残膜という余分な樹脂層が生じる。今回残膜の除去方法として、剥離によって余剰なUV硬化樹脂を取り除く液体分離方式インプリントリソグラフィ(LTIL)とロールプレスを組み合わせ使用した。そして、粘度が異なる2900から30000 mPa・sの高粘度UV硬化樹脂を用いて低残膜化を行った。...

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  • 耐候性を有する反射防止構造付き非球面レンズの作製と評価

    真野 一朗, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 536-537, 2019-03-01

    <p>レンズ表面での光の反射によりレンズの性能は低下してしまう。先行研究ではUV硬化樹脂を用いてレンズ上に反射防止構造を形成していたが、UV硬化樹脂は耐候性に優れていない等の欠点があった。本研究では、耐候性に優れた有機無機ハイブリット樹脂を用いて、非球面レンズ上に反射防止構造の形成を行い、耐熱試験を行うことで耐候性の評価を行った。その結果、試験後でも形状変化がなく反射率も0.4%台と低反射率を維…

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  • ナノインプリントテクスチャ基板の作製と色素増感型太陽電池への応用

    櫻井 淳平, 楊 娜, 岡 智絵美, 秦 誠一 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 562-563, 2019-03-01

    ...<p>本研究では，ナノインプリントによるテクスチャ基板を作製し，色素増感型太陽電池への応用を行った．その結果，テクスチャ無の基板と比べて約10％の性能向上を実現した．光吸収層をCVD等で成膜する薄膜Si系の太陽電池とは異なり，テクスチャ基板上にTiO<sub>2</sub>ナノ粒子をwet processにて成膜するため，FFの低下は確認されなかった．以上の結果から，テクスチャ基板はDSSCに有効な...

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  • 精密分子認識空間構築を実現する配向性分子インプリンティング

    北山 雄己哉, 竹内 俊文 分析化学 68 (2), 89-101, 2019-02-05

    ...選択性をもつ分子認識材料は，高感度バイオセンサをはじめとした現在の分析科学とその産業への展開において欠かせない材料である．本稿では，この均一性の高い結合特性をもつことが期待される人工分子認識材料を創製する手法として，配向性分子インプリンティング技術について概説する．本手法は，鋳型分子を配向固定化し，制御/リビングラジカル重合によるボトムアップ型ポリマー薄膜形成技術を利用して精密な分子認識空間をもつ分子インプリントポリマー...

    DOI HANDLE Web Site ほか2件 参考文献62件

  • 半導体製造用ナノインプリントシステム

    伊藤 俊樹 応用物理 88 (1), 31-35, 2019-01-10

    ...<p>ナノインプリントリソグラフィ（NIL）は，ナノスケールの微細加工技術として有効な技術であることが示されてきた．本稿では，NANDフラッシュメモリやDRAMなどの先端デバイスへの適用に向け開発している新しいインプリント装置の紹介，技術開発の進捗状況，ほかの先端半導体デバイス量産装置候補よりも魅力的な生産コストで，かつ将来の要求仕様に適したインプリント技術の展望について報告する．</p>...

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  • 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価

    鈴木 健太, 尹 成園, 廣島 洋 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 33 (0), 13A4-05-, 2019

    ...<p>凝縮性ガスを導入するナノインプリント法は、バブル欠陥の防止以外にも樹脂の高速充填やモールドの低離型力といった大きな利点がある一方で、ガスをナノインプリント樹脂が吸収することに起因したパターンの品質の低下が課題とされていた。そこで本研究では、これまでと飽和蒸気圧の異なるハイドロフルオロオレフィン(HFO)系の凝縮性ガスを導入する手法の検討を行い、ガスの吸収量の調査とパターン品質の評価を行った。...

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  • 胎盤特異的インプリント遺伝子Sfmbt2内のマイクロRNAクラスターのインプリント消失は体細胞クローンマウスの胎盤異常を引き起こす

    井上 貴美子, 越後貫 成美, 上村 悟氏, 井上 弘貴, 的場 章悟, 廣瀬 美智子, 本多 新, 三浦 健人, 羽田 政司, 百々 由希子, 長谷川 歩未, 持田 慶司, 小倉 淳郎 日本繁殖生物学会　講演要旨集 112 (0), P-100-P-100, 2019

    ...本研究では，SCNT胎盤における過形成の原因を明らかにすることを目的として，胎盤特異的父性発現インプリント遺伝子を中心に解析を行った。【方法】胎盤特異的インプリント遺伝子の欠損マウスは，理研BRCより提供，またはCas9/CRISPRを利用して作製した。体外受精（IVF）胚とSCNT胚の11.5日胎盤を解析に用いた。miRNAはマイクロアレイにより発現解析を行った。...

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  • 内在性レトロトランスポゾンがゲノムインプリント機構の種特異的な進化を促す

    小林 久人, BOGUTZ Aaron B, BRIND’AMOUR Julie, JENSEN Kristoffer N, 中林 一彦, 今井 啓雄, LORINCZ Matthew C, LEFEBVRE Louis 日本繁殖生物学会　講演要旨集 112 (0), P-87-P-87, 2019

    ...さらに，種特異的LITが2つのマウス特異的インプリント遺伝子，21のヒト特異的インプリント遺伝子（領域）の確立させていることを示した。また後者は，チンパンジー・アカゲザル胎盤のターゲットバイサルファイトシーケンス解析により，狭鼻下目（類人猿，旧世界猿），およびヒト上科（類人猿のみ）特異的LTRにそれぞれ起因する，各霊長類系統特異的なインプリント制御を受けていることが示された。...

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  • ガリウム及びpolydimethylsiloxaneインプリントによる光学微細構造作製

    酒井 亮, 中窪 奎喬, 桑江 博之, 吉岡 宏晃, 森田 金市, 水野 潤, 興 雄司 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2018 (0), 468-468, 2018-09-19

    ...液体ガリウムとPDMSのインプリントでは表面粗さは数nm RMSで両者に残留は​ほぼ​見られなかった。ミクロン構造およびサブミクロン構造の作製についても、GaポッティングからのPDMS構造転写が可能であり、リトロリフレクタ 、回折格子構造の転写および、微細構造へのGa注入による反射型微細構造素子が作製可能であることを確認した。</p>...

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  • マイクロ流路内への撥水性ナノ構造の作製

    鈴木 聡, 鈴木 健太, 廣島 洋, 菅 洋志 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 827-827, 2018-08-20

    <p>燃料電池やマイクロリアクターにおいては、液体やガスを任意の流路に誘導する技術が重要であり、流路内に撥水と親水表面を局所的に付加する技術が注目されている。本研究では流路内に局所的に撥水性を持たせるナノ構造を形成するプロセスを開発した。石英に形成されたマイクロ構造に対して、金属薄膜を製膜した後にスパッタエッチングすることで、直径100 nm …

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  • 有機無機ハイブリット樹脂を用いた非球面レンズ上への反射防止構造の形成

    真野 一朗, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 859-860, 2018-08-20

    <p>レンズ表面での光の反射によって光学レンズ性能が妨げられてしまうことがある。先行研究ではUV硬化樹脂を用いて光学レンズ上に反射防止構造を形成していたが、UV硬化樹脂は耐候性に優れていない等の欠点があった。そこで、本研究では耐候性に優れた有機無機ハイブリット樹脂を用いて、非球面レンズ上に反射防止構造の形成に成功した。また、反射率は0.4%台まで抑制することができ、本プロセスは光学素子の性能向上…

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  • メッシュ状マイクロニードルのための多波長逐次露光型移動マスク露光

    坂本 佳奈子, 千原 なみえ, 森中 杏菜, 植田 留名, 加藤 暢宏 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 745-745, 2018-08-20

    ...<p>熱インプリントによりメッシュ状マイクロニードルパッチを作製する際に、メッシュ部分の形状が一定しないという問題があった。本研究では移動マスク露光と複数波長逐次露光を併用することで、メッシュ部分の形状の維持を目的としたメッシュ状支持部を持ったフォトレジスト製のマイクロニードルを作製した。</p>...

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  • 配線基板作製に向けたナノインプリントモールドパターンの補正およびその作製工程

    尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 823-824, 2018-08-20

    ...<p>ナノインプリント（NIL）技術の配線基板作製への応用において残膜均一化は重要な課題の一つである。残膜均一化を目指したモールドデザイン補正手法の自動化を目的に、2次元および3次元ダミーパターンを自動配置し、単位面積あたりの3次元密度を均一化するプログラムの開発を行った。...

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  • 加速電圧変調電子ビーム露光による三次元生体模倣構造の作製

    後藤 晃平, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 851-852, 2018-08-20

    <p>先行研究では電子ビームリソグラフィにおいて、加速電圧により加工深さを制御することができることを明らかにした。そこで本研究ではこの加速電圧変調法を用いて機能性を持った三次元の生体模倣構造の作製に着手した。その結果、流体抵抗を軽減する鮫肌や撥水性と吸着性を合わせ持つばらの花表面の模倣構造の作製に成功した。本研究より、この加速電圧変調法を用いてより複雑で微細な三次元構造の作製が可能であると考えら…

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  • フィルムモールドを使用したナノインプリントプロセス・装置の開発

    小久保 光典 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 820-821, 2018-08-20

    ...<p>ナノインプリント技術は，型の微細パターン（数十nm～数百μm）を，各種樹脂表面に接触させて転写する方法であり，高価なプロセス装置を用いることなくナノメートルオーダのパターン形成が低コストで実現できることから，近年注目されている。我々はフィルムタイプの樹脂モールドを使用したプロセス，装置を開発し，LED高輝度化およびワイヤグリッド偏光板製作への適用を試みた。</p>...

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  • 液体分離ナノインプリントによる高粘度UV硬化樹脂への低残膜ナノパターン転写

    上田 大貴, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 865-866, 2018-08-20

    ...<p>NILは樹脂によってナノスケールパターンを複製できる技術であるが、残膜という余分な樹脂層が生じ、半導体プロセスにおいて、必要なパターンまでエッチングされてしまうため、液体分離方式インプリントなどで残膜を除去する必要がある。しかし、高粘度樹脂の場合、残膜除去が難しいという問題点が挙げられる。...

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  • 3Dプリンタで作成したポリ乳酸製メッシュ状マイクロニードル基部の柔軟性測定

    千原 なみえ, 坂本 佳奈子, 森中 杏菜, 植田 留名, 萬屋 沙織, 加藤 暢宏 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 744-744, 2018-08-20

    ...我々はこれまでに、3Dプリンタを用いてポリ乳酸(PLA)をメッシュ状に成形し、MNを熱インプリントすることで柔軟なMNパッチを作成してきた。本研究ではメッシュ状に成形したPLAシートの柔軟性を定量的に評価する方法を提案し、測定を行った。その結果MNパッチの柔軟性は、メッシュを構成する線材の太さに影響を受けることが分かった。</p>...

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  • 熱インプリントによるマイクロニードルアレイの作成

    加藤 暢宏, 千原 なみえ, 坂本 佳奈子, 森中 杏菜 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 539-540, 2018-03-01

    ...このレプリカ型に対して生体適合性のある熱可塑性樹脂を熱インプリントすることでマイクロニードルアレイを得ることができた。熱インプリントに先立って熱可塑性樹脂をあらかじめ所望の形状に整形しておくことでマイクロニードルアレイの機械的特性を制御できることが示唆された。</p>...

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  • 繰り返しUV-NILによる離型剤フリー高硬度レプリカモールドの転写耐久特性の評価

    土屋 純平, 日和佐 伸, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 667-668, 2018-03-01

    ...<p>UV-NIL（ナノインプリントリソグラフィ）は低コストかつ高スループットで微細なパターンを転写できる技術である．しかし，樹脂の付着や欠損によってマスターモールド（金型）が劣化する問題がある．そこでマスターモールドの劣化を抑えるため，UV-NILによって高硬度レプリカモールドを作製した．このレプリカモールドを用いてUV-NILを繰り返し行い，転写耐久特性を評価した．その結果7000回以上転写可能...

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  • 熱ナノインプリントを利用した生分解性微細針の作製

    寺嶋 真伍, 立川 周子, 鈴木 昌人, 高橋 智一, 青柳 誠司 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 537-538, 2018-03-01

    ...そこで本研究では、生産性・微細成形性に富んだナノインプリント技術を利用し、生分解性材料であるポリ乳酸を微細針の原料とする成形を試みた。真空状態において、ニッケルめっきした針型のモールド下に、ガラス転位温度に達したポリ乳酸を配置し、押付圧力20MPa、基板温度を155℃として成形することで、良好な転写性を実現した。</p>...

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  • 銀インクとアライメントマークを用いた銀ナノロッドパターンの積層技術の開発

    和田山 久広, 岡部 貴雄, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 655-656, 2018-03-01

    <p>近年、金属をナノパターンにすることで発生するプラズモン共鳴を用いたデバイスが注目を集めている。中でもプラズモンメモリは従来の光ディスクよりも多くの容量を持つことが期待されている。これまで銀インクを用いることで高スループットでプラズモンメモリを作製していた。しかし積層構造を作製するため高精度の位置合わせをする必要がある。そこでアライメントマークを用いることで高精度な位置合わせを行った。</p>

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  • ウシ初期胚におけるインプリント遺伝子<i>KCNQ1OT1</i>の発現について

    池田 俊太郎, 杉本 実紀, 久米 新一 日本繁殖生物学会　講演要旨集 111 (0), P-36-P-36, 2018

    ...<p>【目的】<i>KCNQ1OT1</i>は母親性インプリントを受ける父親性発現lncRNA遺伝子であり，過大子症候群を呈した子ウシの一部で，その組織においてインプリントの消失とともに発現が増加することが報告されている（Hori <i>et al.</i>, Anim Reprod Sci 122: 303–312: 2010）。...

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  • ナノインプリントによる一桁ナノ造形

    中川 勝 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 340-, 2018

    ...原子レベルの加工精度をもつナノインプリントによる極限ナノ造形は、一桁ナノサイズでの微細加工に期待されている。筆者らのナノインプリント技術を中心に紹介し、一桁ナノ造形における現状とこれから迎える課題について述べる。...

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  • 学術貢献賞受賞　萩中　淳氏の業績

    松永 久美 ファルマシア 54 (5), 465-465, 2018

    武庫川女子大学薬学部の萩中　淳教授が「医薬品分析のための高選択的検出法および高機能分離法の開発と応用」の業績により、平成30年度日本薬学会学術貢献賞を受賞された。心からお祝い申し上げる。萩中氏の研究のますますのご発展とご活躍を期待している。

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  • エレクトレットを用いた回転型発電機の開発

    辻岡 大祐, 鈴木 昌人, 高橋 智一, 青柳 誠司 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2018.9 (0), 31am3PN135-, 2018

    <p>In this study, we proposed and developed a method of patterning electret using thermal imprinting method. Electric charge was uniformly injected to the unpatterned electret film made of a …

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  • マウス体細胞クローン胚ではヒストン修飾H3K27me3によるゲノムインプリンティングが破綻している

    的場 章悟, SHEN Li, 井上 貴美子, 小倉 淳郎, ZHANG Yi 日本繁殖生物学会　講演要旨集 111 (0), OR1-25-OR1-25, 2018

    ...また，着床前期胚のアレル特異的なトランスクリプトームおよびChIPシークエンス解析をした結果，最近新たに同定された「ヒストンH3の27番目リジン残基トリメチル化（H3K27me3）によって制御されるインプリント遺伝子群」が，クローン胚ではインプリント情報を失って両アレルから発現していることが明らかになった。...

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  • 面内圧縮インプリントプロセスの開発

    米倉 和啓, 徳丸 和樹, 津守 不二夫 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2018.9 (0), 30pm4PN24-, 2018

    <p>In this research, we propose a new imprint process for multilayered material. The work sheet material is set onto an expanded rubber substrate, and in-plane compression is performed to the work …

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  • 欠失および配列置換マウスを用いたIG-DMRによる発現制御機構の解析

    原 聡史, 村松 あかり, 高田 修治 日本繁殖生物学会　講演要旨集 111 (0), P-58-P-58, 2018

    ...<p>【目的】マウス12番／ヒト14番染色体に存在する<i>Dlk1</i>-<i>Dio3</i>ドメインは，父方アレル特異的なIG-DMR領域のDNAメチル化によって近傍のインプリント遺伝子群の親の由来特異的な発現が制御されることが知られている。しかし約8 kbにおよぶIG-DMRのうち，インプリント制御に重要な領域が具体的にどこなのかは未だ不明である。...

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  • 原子スケールラスネスを有する基板とポリマー間のナノトライボロジー現象に関する分子動力学解析

    多田 和広, 宮下 侑也, 高畑 昌真, 安田 雅昭, 平井 義彦 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 271-, 2018

    ...ナノスケールの狭小領域における摩擦，潤滑現象を理解することは，ナノインプリントなどのナノ加工プロセスにおいて重要である．本研究では，ナノスケールで生じる摩擦，潤滑現象の基礎的知見を得るため，原子スケールラフネスを有する基板に挟まれたPEやPMMAなどのポリマーのせん断流れ下における摩擦現象に関して分子動力学法を用い，せん断応力の変化について解析を行った．...

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