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検索結果 24 件

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  • 局在光によるナノ研磨現象観測に関する研究

    パームパッデーチャークン ティティパット, カチョーンルンルアン パナート, 鈴木 恵友, 馬場 昭好 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 102-103, 2021-09-08

    <p>The nanoscale polishing phenomena between substrate surface, 105 nm-sized SiO<sub>2</sub> particles slurry, and polishing pad during CMP process were experimentally observed and evaluated to …

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  • ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

    ブラットラー アラン, カチョーンルンルアン パナート, 鈴木 恵友, パームパッデーチャークン ティティパット 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 588-589, 2020-03-01

    <p>The nanoscale phenomena, such as chemical mechanical polishing (CMP) process, present near the surface. A three-dimensional nanoparticle tracking could explain the phenomena that happen in the …

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  • 局在光によるナノ研磨現象観測に関する研究

    パームパッデーチャークン ティティパット, カチョーンルンルアン パナート, 鈴木 恵友, ブラットラー アラン, 寺山 裕 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 658-659, 2020-03-01

    <p>The nanoscale polishing phenomena between the substrate surface and polishing pad during process, such as CMP process, were observed and evaluated, in this report. The concept of observation …

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  • エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究

    寺山 裕, カチョーンルンルアン パナート, 鈴木 恵友, パームパッデーチャークン ティティパット, 濵田 聡美, 和田 雄高, 檜山 浩國 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 660-661, 2020-03-01

    <p>半導体製造工程で重大な欠陥となるウェハ表面残留研磨ナノ粒子(φ100 nm以下)の洗浄現象が未だ解明されていない.そこで,表面近傍でのナノ粒子離脱・再付着挙動をエバネッセント光によって実時間観察する手法が確立されてきた.これまで,PVAブラシによる接触洗浄現象の観察を行ってきた.本稿では,予めナノ・シリカ粒子(φ100 …

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  • ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

    ブラッドラー アラン, カチョーンルンルアン パナート, 鈴木 恵友, パームパッデーチャークン ティティパッド 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 459-460, 2019-03-01

    <p>The nanoparticle is popularly used for chemical mechanical polishing process (CMP) in semiconductor industry. There are many unknown phenomena in nanoparticles moving during polishing process. …

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  • インド・トゥムクル地方における農業ビジネルモデルの提案

    渡邉 理恵, ブリジット ブリジット, リーデル バーンド, オローブ マギー, クーン テイラー, テクセイラ カルロス, 蘆澤 雄亮, 小野 健太, 渡邉 誠 日本デザイン学会研究発表大会概要集 61 (0), 202-, 2014

    南インドのトゥムクル地方には干ばつによる水不足、急激な天候の変化や天災など多くの問題が存在しており、それらはこの地方の農業・農家に大きな被害を与えている。結果として、多額の負債を抱える農家や、ストレスから自殺に追い込まれた農家も少なくない。我々は、これらの問題の原因が農家の経営・農業に関する知識と情報の欠如にあると捉え、これを解決する為の情報収集・アイディア展開を、ワークショップを通して行なった…

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  • 紙のマクロな構造と吸水挙動との関係

    スバルナキッチ クンティニ, 江前 敏晴, 磯貝 明 紙パ技協誌 62 (3), 325-335, 2008

    Macroscopic structure of paper influences how paper behaves in many ways. In this research, the relationship between macroscopic paper structure and water absorption behavior was investigated. The …

    DOI 参考文献3件

  • 『マハーバーラタ』における反復と変形の構造

    沖田 瑞穂 宗教研究 77 (3), 655-678, 2003

    ...(1)主筋の伝承における、ガーンダーリーとクンティーがそれぞれ百人と五人の息子を得る話、(2)第一巻の長大な挿話部分において、カドルーとヴィナターという二人の女神がそれぞれ蛇族と鳥王ガルダを生む神話、(3)第三巻の挿話における、サガラ王の二人の妻とその息子たちの伝承。...

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  • 外側配置を導入したコンジョイント分析とその商品企画への応用

    鈴木 秀男, テーチャワォラスィンサグン クンティダ, 圓川 隆夫 日本経営工学会論文誌 47 (4), 257-264, 1996

    商品企画において, 消費者の製品に対する認識・評価を把握することよ重要であると考えられる.マーケティング・リサーチ手法の一つであるコンジョイント分析は, 消費者が製品の各属性に対してどの程度の価値を感じるかを明らかにするものであり, 商品企画に非常に有効である.一般にコンジョイント分析では製品属性以外の要因はあまり考慮されていないが, …

    DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献15件

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