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検索結果 207 件

  • ニオブ酸リチウムを用いた大変形可能なX線形状可変ミラーの開発

    吉水 純弥, 井上 陽登, 加納 愛彩, 中林 荘太, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 松山 智至 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 572-572, 2023-08-31

    ...<p>X線ビームサイズを制御できる光学システムは未だ実用化されておらず，高精度な形状可変ミラーが注目されている．これまでにニオブ酸リチウム（LN）を用いた高安定なミラーを開発したが，圧電定数が小さいため，このままではビームサイズの大幅な変化は見込めない．これを解決するために，LNの分極反転特性を活かしたバイモルフミラーを開発した．本発表では，X線波面計測法に基づき変形性能を評価した結果について報告する...

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  • 単結晶圧電素子ベース形状可変ミラーを用いたアダプティブ結像型X線顕微鏡の開発

    中林 荘太, 井上 陽登, 伊藤 颯希, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 松山 智至 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 576-576, 2023-08-31

    ...<p>結像型X線顕微鏡の超高空間分解能5nmを達成するためには，1nm PV以上の形状精度を満たすX線ミラーが必要である．しかし，その精度は現代の加工技術では達成不可能である．この問題を解決するため，単結晶圧電素子であるニオブ酸リチウムを利用した形状可変ミラーに基づくアダプティブ結像型X線顕微鏡を開発している．本発表では，開発した補償光学系を構築し，SPring-8にて実証実験を行った結果について報告...

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  • 高空間周波数形状制御可能な新規構造の形状可変ミラーの開発

    加納 愛彩, 井上 陽登, 中林 荘太, 上松 航太, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 松山 智至 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 683-683, 2023-03-01

    ...<p>ミラーベースの結像型X線顕微鏡は優れた性能を有しており，更なる高分解能化が期待されている．そのためには，高精度なミラーが不可欠だが，もはや現行の加工技術では満足できない．この問題を解決するために，ニオブ酸リチウム（ＬＮ）製の形状可変ミラーを開発している．本発表では，変形可能な空間周波数を更に向上させるために開発した，複数枚のＬＮを積層させた新規構造ミラーについて報告する．</p>...

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  • 単結晶圧電素子を用いた大変形可能なX線形状可変ミラーの開発

    吉水 純弥, 井上 陽登, 中林 荘太, 上松 航太, 松山 智至 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 684-684, 2023-03-01

    ...<p>X線複合分析を実現するために，X線ビームサイズを変えられる光学システムが求められており，形状可変ミラーが注目されている．これまでにニオブ酸リチウム（LN）を用いた高安定なミラーを実現した．一方で，変形量が小さいため，ビームサイズを大きく変えることができない．この問題を解決するために，LNの分極反転特性に着目した．本発表では，約1100℃でアニールしたLNミラーの基礎検討結果を報告する．...

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  • 非線形光学を用いた高輝度テラヘルツ波パラメトリック発生検出技術と広がる応用研究

    縄田 耕二 日本毒性学会学術年会 50.1 (0), S24-2-, 2023

    ...我々は、ニオブ酸リチウム結晶を用いたテラヘルツ波パラメトリック発生の効率的な変換の光学条件を明らかにし、尖頭出力100 kWを超えるテラヘルツ波光源の開発に成功した。周波数輝度に換算すると大型施設であるテラヘルツ自由電子レーザーを凌駕しており、他に類のない高輝度光源である。加えて、周波数可変性を有しており、テラヘルツ波と様々な生体物質との相互作用の研究に特に有効と考えられる。...

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  • ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発

    中林 荘太, 井上 陽登, 上松 航太, 香村 芳樹, 矢橋 牧名, 松山 智至 精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 72-72, 2022-08-25

    ...<p>空間分解能5nmを持つX線顕微鏡の達成には，1nm以上の形状精度を有するX線ミラーが必要である．そこで我々はニオブ酸リチウムを用いた形状可変ミラーを開発した．単結晶圧電体であるため，逆圧電効果により高精度に変形できるだけでなく，高い安定性とヒステリシスフリーを実現できる．本発表では楕円凹面の形状可変ミラーを組み込んだアダプティブAdvanced KBミラー光学系を構築し，SPring-8にてX...

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  • ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発

    中林 荘太, 松山 智至, 上松 航太 精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 661-661, 2022-03-02

    ...本研究では、単結晶圧電素子であるニオブ酸リチウムを用いた極シンプルな形状可変ミラーを試作した。SPring-8にてＸ線波面計測を試みたところ、試作した形状可変ミラーが意図したとおり変形できることを確認した。</p>...

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  • バックワード・テラヘルツ波パラメトリック発振におけるカスケード波長変換

    縄田 耕二, 瀧田 佑馬, 野竹 孝志, 南出 泰亜 応用物理 91 (1), 32-36, 2022-01-01

    ...酸リチウム（PPLN）結晶に近赤外パルスレーザー光を入射するだけでテラヘルツ波発振し，共振器構造をもたない機械的に堅牢(けんろう)な光源である．研究の進展によってテラヘルツ波出力が向上し，最近ではジャイロトロン級の尖頭出力が得られるようになってきた．本稿では，テラヘルツ波利用を加速させるユビキタスなテラヘルツ波光源を目指したBW-TPOの基本原理とカスケード波長変換について紹介する．...

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  • コングルエント組成と化学量論組成が一致するニオブ酸リチウムの開発

    宇田 聡 応用物理 88 (10), 653-658, 2019-10-10

    ...<p>育成環境が予期せぬ摂動により非定常状態になっても成長結晶に組成変動が起きない真のコングルエント組成を，第3成分としてMgを加えたニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムを対象にして開発した．コングルエントに新しい化学量論構造を組み合わせることによりイオン種を含むあらゆる化学種の平衡分配係数<i>k</i><sub>0</sub><sup>†1</sup>は1となり，界面が非平衡に移動しても全ての化学種...

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  • 高強度THzパルス光源技術の新展開(実験技術)

    廣理 英基 日本物理学会誌 71 (1), 34-39, 2016

    ...酸リチウム(LiNbO_3)を用いた「パルス面傾斜法」が挙げられる.この方法ではLiNbO_3結晶に強力なフェムト秒レーザーパルスを照射し,二次の非線形光学過程である光整流効果を利用してテラヘルツ波を発生する.このときTHzパルスの進行方向に対して入射光のパルス面を傾斜させるような配置を取ることにより,従来LiNbO_3では難しかった位相整合条件を満たすものである.この方法により3THz以下の周波数帯...

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  • LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック・エミッションセンサの開発

    武藤 一夫, 三浦 幸廣, 今井 彰, 谷内 雅紀 精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 247-248, 2016

    ...本研究では，高額な半導体装置を使用し，複雑な構造を持ったMEMSアコースティック・エミッションセンサの代替として，比較的安価な装置で製造することができ，かつシンプルな構造にすることができるLiNbO3(ニオブ酸リチウム)材を用いた高性能な音響コム(櫛)型AEセンサの開発を行うものである．本報告では，その主に音響コム(櫛)型AEセンサの特性とその評価方法について報告する．...

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  • 不純物添加したニオブ酸リチウムの点欠陥形態

    小山 千尋, 野澤 純, 藤原 航三, 宇田 聡 日本結晶成長学会誌 43 (3), 131-138, 2016

    <p>  The defect structures of impurity-doped congruent lithium niobates (c-LN) were investigated by combining lattice constant measurements with thermodynamic analyses. On the basis of the “Li site …

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  • LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック・エミッションセンサの開発

    武藤 一夫, 三浦 幸廣, 今井 彰, 谷内 雅紀 精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 245-246, 2016

    ...本研究では，高額な半導体装置を使用し，複雑な構造を持ったMEMSアコースティック・エミッションセンサの代替として，比較的安価な装置で製造することができ，かつシンプルな構造にすることができるLiNbO3(ニオブ酸リチウム)材を用いた高性能な音響コム(櫛)型AEセンサの開発を行うものである．本報告は主にその音響コム型AEセンサの製作とそのプロセスについて報告する．...

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  • LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック・エミッションセンサの開発

    武藤 一夫, 三浦 幸廣, 今井 彰, 谷内 雅紀 精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 243-244, 2016

    ...本研究では，高額な半導体装置を使用し，複雑な構造を持ったMEMSアコースティック・エミッションセンサの代替として，比較的安価な装置で製造することができ，かつシンプルな構造にすることができるLiNbO3(ニオブ酸リチウム)材を用いた高性能な音響コム(櫛)型AEセンサの開発を行うものである．本報告では，その主に音響コム(櫛)型AEセンサの概要とその設計，シミュレーション方法について報告する．...

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  • レーザ微細加工における不規則加工誤差の要因調査

    鴨志田 和樹, 小貫 哲平, 尾嶌 裕隆, 清水 淳, 周 立波, 田邉 大輝, 登坂 孝弘 精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 741-742, 2016

    ...ニオブ酸リチウムへの超短パルスレーザを用いた直描レーザ微細加工において見られる不規則的な加工誤差の要因を調査した．...

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  • 分極反転構造によるニオブ酸リチウムの電気光学特性制御

    村田 博司 応用物理 84 (6), 514-519, 2015-06-10

    ...<p>ニオブ酸リチウム（LN）を用いた電気光学変調器は，高速性，広帯域性，安定性，信頼性などの優れた特長をもっており，長距離光ファイバ通信やマイクロ波フォトニクスなどの分野で広く用いられている．特に，電場印加による不要な光瞬時周波数シフト（周波数チャーピング）が極めて小さいために，光の振幅・位相を高速かつ精密に制御することができる．これらの特長を巧みに生かしたLNベクトル光変調器は，最新の高密度大容量情報伝送...

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  • 積層した焦電結晶によるX線発生挙動およびその温度依存性

    山本 孝, 馬木 良輔, 山岡 理恵 Ｘ線分析の進歩 45 (0), 327-334, 2014-03-31

    ...<p>積層させた薄片状タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウム単結晶とセラミックヒーターを用いた小型高電場発生デバイスを製作し，これまでの検討より高温領域である室温から650 Kまでの間でX線発生実験を行った．473 Kから650 Kまで10<sup>-4</sup> Pa下で加熱すると最高28 keVのX線が発生した．積層させた焦電結晶の側面では温度変化に伴い局所的な放電が繰り返し起こった．焦電結晶...

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  • ニオブ酸リチウムを用いた圧電材の分極温度依存性

    下舞 寛生, 岩田 一樹, 小林 牧子 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2013 (0), 136-136, 2013

    ...高温環境で使用可能な超音波トランスデューサの開発は，燃焼エンジン，発電所などの過酷環境における構造物の安全性評価といった用途において求められている．ニオブ酸リチウム（LN）粉体を使用したLN/PZT超音波トランスデューサは500°Cでも安定した動作を示していたが，分極条件が厳しいこと，圧電特性が低いことが課題であった．そこで本実験ではLN/PZTの分極条件最適化の為，まず分極温度による違いを調査した...

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  • OS1222 ニオブ酸リチウム双結晶における接合界面の電気的特性

    中村 篤智, 佐藤 幸生, 栃木 栄太, 溝口 照康, 柴田 直哉, 幾原 雄一, 松永 克志 M&M材料力学カンファレンス 2013 (0), _OS1222-1_-_OS1222-2_, 2013

    Lattice defects in a ferroelectric material strongly affect its physical properties. However, there are fewer studies on plane and line defects, which are important lattice defects. In the present …

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  • マイクロエンドミルを用いたニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究

    静 弘生, 胡 奎伯, 奥田 孝一, 布引 雅之 精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 237-238, 2013

    ...ニオブ酸リチウムは異方性の強い脆性材料であるため切削加工は極めて困難である．本研究では小径単結晶ダイヤモンドエンドミルを用いてニオブ酸リチウムの微細溝加工を試みた．実験では，切削条件を変化させて溝加工を行い，加工溝エッジ部の欠けなどについて調査した．その結果，欠けの少ない切削条件を明らかにするとともに，単結晶工具がCBNなど他の工具よりも優れた加工特性を示すことがわかった．...

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  • ダイヤモンド工具を用いた平削り型切削によるニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究

    原田 昌樹, 奥田 孝一, 静 弘生, 布引 雅之 精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 605-606, 2013

    ...本研究では，弾性表面波を利用したμ-TASデバイスの開発に必要なニオブ酸リチウム基板の微細溝を切削加工によって作製するため，良好な仕上げ面が得られる切削条件の検討を行った．切削実験は欠けを防ぐため断続切削にならないよう，超精密加工機のテーブル送りを利用して単結晶ダイヤモンド工具による平削り型切削を行った．その結果，欠けの無い延性モード切削の範囲が切削方向，すなわち結晶方位によって影響を受けることを示...

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  • 単一縦モード>1kW出力テラヘルツ光パラメトリック光源

    林, 伸一郎, 縄田, 耕二, 川瀬, 晃道, 南出, 泰亜, HAYASHI, Shin'ichiro, NAWATA, Kouji, KAWASE, Kodo, MINAMIDE, Hiroaki 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 112 (364), 51-55, 2012-12

    ...近年,テラヘルツ光を利用した様々な応用研究が各分野で進んでおり,多くの有意義な結果を残している.このため,高出力・小型簡便で単色性の高い波長可変テラヘルツ光源が実現すれば,研究上のみならず産業上においても適応可能範囲が飛躍的に拡大することが期待される.本研究では,ニオブ酸リチウム結晶を利用したパラメトリック波長変換を礎に,光注入による発生テラヘルツ光の峡帯域化および高出力化を行った結果,単一縦モード...

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  • 高強度テラヘルツパルスで誘起する非線形光学現象

    廣理 英基, 田中 耕一郎 応用物理 81 (4), 291-297, 2012-04-10

    ...<p>本論文では，最近大きな進展のあったニオブ酸リチウムLiNbO<sub>3</sub>結晶を使った高強度テラヘルツパルスの発生法について詳述する．次に，テラヘルツ強電場が半導体多重量子井戸（ZnSe/ZnMgSSe）における励起子およびバンド間遷移による光吸収を大きく変調させる実験結果について述べる．さらに，1MV/cm程度のテラヘルツ強電場がGaAs多重量子井戸試料においてバンド間電子励起を可能...

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  • 機能性難加工材料の研磨特性に関する基礎研究

    古賀 慎二, 土肥 俊郎, 畝田 道雄, 黒河 周平, 大西 修, 松廣 啓治 精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 817-818, 2012

    ...本研究では酸化物光学結晶であるニオブ酸リチウム(LN;LiNbO<sub>3</sub>)の高能率かつ高品質な研磨加工条件を確立するとともに，窒化ガリウム(GaN)を含めた他難加工材料との研磨特性の比較検証に基づく研磨メカニズムの考察を目的としている．本報告ではダイヤモンドスラリーとコロイダルシリカスラリーを用いた場合における各種条件（研磨圧力，スラリー濃度）が研磨特性（研磨レート，表面粗さ）に及ぼす...

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  • ニオブ酸リチウムの延性モード切削に関する研究

    静 弘生, 奥田 孝一, 布引 雅之, 李 偉, 稲岡 孝信, 才木 常正, 内海 裕一 砥粒加工学会誌 56 (2), 118-123, 2012

    ...この論文では表面弾性波型マイクロポンプに用いられるニオブ酸リチウムを，直接切削により溝加工したときの切削特性について述べる．ニオブ酸リチウムは強い結晶方位依存性を持つ脆性材料であることから，切削方向を変化させると仕上げ面性状に大きな違いが見られたが，多くの切削方向において約5μm以下の切込みで延性モード切削が可能であることがわかった．また，エンドミルを用いたミーリング加工を行いニオブ酸リチウムの切削加工...

    DOI Web Site 参考文献14件

  • ニオブ酸リチウム型固溶体Fe<SUB><I>x</I></SUB>Mn<SUB>1-<I>x</I></SUB>TiO<SUB>3</SUB>の高温高圧合成と磁気特性

    秋月 康秀, 藤田 晃司, 的場 智彦, 田中 勝久, 山田 幾也, 西山 宣正, 入舩 徹男, 岡 研吾, 東 正樹, 西村 浩輔, 島川 祐一 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 421-421, 2011

    チタン酸化合物固溶体FexMn1-xTiO3 (x = 0, 0.2, 0.5, 0.8, 1.0)を15GPa, 1100℃の高温高圧下で合成した。 Rietveld解析による構造精密化の結果、Lithium niobate型構造(R3c)であり、格子定数と体積のx依存性 が定量的に変化することを確認した。また磁化測定および比熱測定の結果、ネール温度以下で弱強 …

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  • 高温対応振動子を用いた超音波アシスト水熱合成法

    五十部 学, 揚場 遼, 前田 孝文, ボーンマン ペーター, ヘムゼル トビアス, 森田 剛 精密工学会学術講演会講演論文集 2011S (0), 919-920, 2011

    ...キュリー点の高いニオブ酸リチウムを圧電体として用いた振動子を製作し、比較実験によって高温環境に強いことを確認した。...

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  • 酸化物光学結晶のCMPにおける研磨メカニズム

    古賀 慎二, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修, 畝田 道雄, 松川 洋二, 李 学昌, 松廣 啓治 精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 171-172, 2011

    ...本研究では酸化物光学結晶であるニオブ酸リチウム(LN;LiNbO<sub>3</sub>)およびタンタル酸リチウム(LT;LiTaO<sub>3</sub>)の高能率かつ高品質な研磨加工条件の確立を目的としている．本報告ではダイヤモンドスラリーとコロイダルシリカスラリーを用いるとともに，他の難加工材料との研磨結果を比較することによって，LNおよびLTの研磨メカニズムを，加工レート，表面形状および表面粗...

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  • 第一原理計算によるLi<SUB>0.83</SUB>X<SUB>0.17</SUB>NbO<SUB>3</SUB>(X=Na,K,Rb,Cs)の圧電特性予測

    中村 馨, 樋口 貞雄, 大沼 敏治 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 473-473, 2011

    LiNbO3中のLiサイトの1/6をアルカリ金属元素で置換した際の、圧電定数、弾性定数、誘電率を第一原理計算を用いて導出し、センサーの感度を左右する電気機械結合係数を予測した。イオン半径の増加に伴い圧電定数の向上を通して電気機械結合係数が増加することが予測されたものの、Cs置換時には結晶が機械的に不安定となり合成できないことが示唆された。また、圧電定数の向上は、置換元素とカチオン間の斥力の増大に…

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  • 極性構造をもつLiNbO<SUB>3</SUB>型酸化物の高圧合成

    稲熊 宜之, 相見 晃久, 田中 樹恵, 櫻井 大地, 土谷 武史, 吉田 雅, 森 大輔, 勝又 哲裕, 中山 将伸 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 423-423, 2011

    高圧高温下において極性構造をもつLiNbO<SUB>3</SUB>型酸化物の合成をおこなった。得られた物質について結晶構造、電子構造、極性、誘電性および磁性等の物性について調べた。LN相の出現（あるいは安定性）は、イオン半径から計算した許容因子によってある程度予想できるが、構成イオンの電子配置にも依存することがわかった。発表では、相の安定性、化学結合、構造と物性の関係について議論する。

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  • 低周波バイアスを用いたニオブ酸リチウムの深掘りエッチング

    浅地 豊久, 鍋澤 浩文, 内山 英史, 安部 隆 Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 53 (8), 501-503, 2010

      Lithium niobate (LN) etching has been demonstrated with an electron cyclotron resonance (ECR) plasma and low-frequency bias. The etching was studied by using Ar, BCl<sub>3</sub> and SF<sub>6</sub> …

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  • 表面弾性波による連続流体駆動と高効率撹拌を同時実現したマイクロ化学リアクターの提案

    甲本 武士, 才木 常正, 岡田 勝英, 内海 裕一 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 24 (0), 238-239, 2010

    弾性表面波（SAW）デバイスはその構造がシンプルであることから、複数の小型デバイスを集積化する微小化学分析システム（μTAS）への応用が期待されている。本研究室ではSAWデバイスを用いた流体アクチュエータの作製と研究を行ってきた。そしてSAWデバイスを用いた流体アクチュエータの応用として、微小混合器デバイスを作製した。さらに流体アクチュエータと組み合わせて、SAWのみを駆動源とした微小連続流体混…

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  • アルカリニオブ酸系-チタン酸バリウム系セラミックスの合成とその誘電特性の評価

    山下 健太, 清水 茂仁, プルパン ピータ, 和田 智志 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2010S (0), 1A29-1A29, 2010

    ...【実験方法】xAN-(1-x)BTセラミックスの原料として、日本化学工業で作製した100nmのニオブ酸カリウム(KNbO3, KN)、ニオブ酸ナトリウム(NaNbO3, NN)、ニオブ酸ナトリウムカリウム(K0.5Na0.5NbO3, KNN)、ニオブ酸リチウム（LiNbO3, LN）粒子とBT粒子(堺化学工業、100nm)を使用した。...

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  • ニオブ酸リチウムウェハーの延性モード切削に関する研究

    静 弘生, 奥田 孝一, 布引 雅之, 李 偉, 稲岡 孝信 精密工学会学術講演会講演論文集 2010S (0), 5-6, 2010

    ...表面弾性波型マイクロポンプなどに使用されているニオブ酸リチウムは非常に強い結晶方向依存性を持つ脆性材料であるため，通常切削加工は困難である．しかしながらこのような脆性材料でも，切り込みや切削条件を調整することにより延性材料同様の加工が出来ると考えられる．そのことから本研究ではニオブ酸リチウムの脆性モードによる切削加工の可能性について検討を行った．...

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  • Li-Nb-Ti系酸化物固溶体の発光と微構造解析

    林 裕之 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009F (0), 2K24-2K24, 2009

    Li<SUB>2</SUB>O-Nb<SUB>2</SUB>O<SUB>5</SUB>-TiO<SUB>2</SUB>三成分系内に、M相として知られる超構造を有する固溶体領域が存在する。この固溶体の超構造はLiNbO<SUB>3</SUB>を基本構造とする。この固溶体にEuを賦活したとき、LiNbO<SUB>3</SUB>にEuを賦活したときよりも強い赤色発光が観察され、発光強度は最大で約2.5…

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  • 圧電共振周波数におけるLiNbO<sub>3</sub>単結晶の電気光学効果の解析

    武田 浩太郎, 保科 拓也, 武田 博明, 鶴見 敬章 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009F (0), 1A26-1A26, 2009

    本研究では電気光学効果の指標である電気光学定数の理論化を行い、光学素子の材料選定の指針を打ち出すことを目的とする。電気光学定数の支配パラメータには、誘電率、圧電定数、電歪定数などがあるが、従来までは、これらのパラメータを分離せず、電気光学定数の優劣のみが議論されていた。本研究では、これらのパラメータを別途精密に測定し、各々のパラメータの電気光学定数への影響を定量的に解析する。また、これらのパラメ…

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  • LiNbO3におけるRaman散乱強度の組成依存性

    大登 正敬, 国原 健二, 広瀬 隆之, 谷口 博基, 伊藤 満 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009S (0), 166-166, 2009

    LiNbO3（Lithium Niobate: LN）は、表面弾性波デバイスおよび非線形光学素子として広く使用されている材料であり、これまで多くの研究がなされている。今回、いくつかのRaman散乱ピーク強度の組成依存性を測定し、LN結晶欠陥との関連を調べた。 組成およびMg添加量の異なる４種類のLNについて、バックスキャッター配置でラマン測定を行った。その結果、いくつかの散乱ピークに著しい組成依…

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  • 超広帯域誘電スペクトルによる誘電体研究

    鶴見 敬章, 保科 拓也, 武田 博明 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009F (0), 3A01-3A01, 2009

    ...講演内容には、チタン酸ストロンチウム・バリウム、ニオブ酸リチウムの電気光学効果、チタン酸バリウムのサイズ効果、チタン酸バリウム系誘電体のリラクサー挙動、人工超格子における界面分極の導入が含まれる。...

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  • 新規Li-Nb-Ti系酸化物蛍光体の微構造と発光特性

    林 裕之, 中野 裕美 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009S (0), 140-140, 2009

    超構造を有する固溶体として知られるLi-Nb-Ti酸化物（M相固溶体）にEu<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>を添加し、大気中1120℃、24時間で焼成して蛍光体を作製した。この固溶体を10時間焼成したときには超構造の出現が認められなかったが、24時間焼成ではTiO<SUB>2</SUB>固容量が20mol%と25mol%のときに超構造の出現がXRDとTEMにより確認された。焼成…

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  • 積層ニオブ酸リチウムアクチュエータによる超音波振動子

    森田 剛, トウィフィエル イエンツ 精密工学会学術講演会講演論文集 2008S (0), 101-102, 2008

    ...ニオブ酸リチウム単結晶アクチュエータは、非鉛で環境にやさしい材料で、高温環境下の使用が可能である上、高い振動速度も期待できる。今回、ニオブ酸リチウムを積層し、従来のセラミック振動子と比べて、ハイパワー化することを試みた。単結晶のカット角を最適化し、機械的に予圧を付与する構造で接着層のない振動子を製作した結果、共振周波数23.5kHzにおいて3.5ミクロンという大振幅を得ることに成功した。...

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  • 表面弾性波を用いた連続流体駆動アクチュエーターの提案と作製

    才木 常正, 岡田 勝英, 前中 一介, 内海 裕一 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 22a (0), 223-225, 2008

    表面弾性波（SAW）を用いたデバイスは構造が非常に簡単である。このため、このデバイスを用いれば、微小化学分析システムの製造工程が簡略化できる利点がある。そこで、我々はSAWを用いた連続流体駆動アクチュエーターを提案し、このアクチュエーターを製作してその送液特性を調べた。ここでは、SAWを発生させるCr/Alの櫛歯電極とSU-8の流路をLiNbO <sub>3 …

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  • 表面活性化による常温ウェハ接合

    高木 秀樹 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 22a (0), 233-235, 2008

    ...アルゴンビームによる表面活性化処理を用いた常温接合法では，これまでに各種の金属や半導体ウェハの接合が可能であることが明らかになっている一方で，酸化物の接合特性については十分な検討はなされていない．今回は，これまでの表面活性化によるウェハ常温接合の研究結果と最新動向を紹介するとともに，石英，サファイア，ニオブ酸リチウム，ガーネットなどの各種酸化物の表面活性化法による接合特性について検討を行った結果について...

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  • LiNbO3ナノ粒子の焼結挙動とキャラクタリゼーション

    高村 一雄, 竹内 友成, 陶山 容子 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2008S (0), 1A25-1A25, 2008

    本研究ではLi-Nb複合エトキシドを前駆体としてLiNbO3ナノ粒子を合成し、さらにSPS(Spark-Plasma-Sintering)を用いることで微細な構造をもつLiNbO3焼結体の作製に成功した。通常焼結で作製したペレットは約40μmサイズの粒子で構成され、多数の気孔が残留していた。一方、SPS焼結体は1~2μmサイズの粒子から成り、粒成長を抑制しながら緻密化することができた。また、Li…

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  • ガラスへの希土類添加LiNbO<SUB>3</SUB>結晶ラインパターン形成

    本間 剛, 小松 高行 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2008S (0), 2P060-2P060, 2008

    ガラスへレーザー光を照射して位置選択的な構造変化を誘起させ、光機能性をもつ異質層（屈折率変化、結晶化など）の形態制御を行う研究が次世代の光制御デバイス創製に必須の技術として期待されている。我々は希土類元素イオン、遷移金属イオンを含有したガラスへレーザー照射し、非輻射緩和による発熱を誘起することでガラス表面に局所的に結晶化を誘起する方法を見出している。本発表では、酸化物の中でも高い光非線形性を有す…

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  • ゾル-ゲル法によるLi<SUB><I>x</I></SUB>Na<SUB>1-<I>x</I></SUB>NbO<SUB>3</SUB>薄膜の作製

    林 宏美, 田中 清高, 柿本 健一, 大里 齊, 飯島 高志 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2007F (0), 279-279, 2007

    Li<SUB><I>x</I></SUB>Na<SUB>1-<I>x</I></SUB>NbO<SUB>3</SUB>(LNN)は，置換量<I>x</I> = 0.02 ～ 0.15において強誘電性を示す。近年，強誘電体の薄膜化が求められ，中でも有害な鉛を含まないアルカリニオブ酸の一つであるLNN薄膜は重要な研究対象素材の一つである。しかし，アルカリ元素の揮発が問題となり，LNNを薄膜化に関する…

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  • 低温接合によるシリコン基板へのニオブ酸リチウム導波路チップのパッシブアライメント実装

    多喜川 良, 日暮 栄治, 須賀 唯知, 品田 聡, 川西 哲也 精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 1105-1106, 2007

    ...V溝等の加工を施したシリコンベンチの所定の位置にニオブ酸リチウム光導波路チップを集積するには、大きな熱膨張係数差のために高精度な低温チップボンディンング技術が欠かせない。本研究では、表面活性化接合法を用いて、Auを介したニオブ酸リチウム光導波路チップとV溝加工を施したシリコン基板への高精度(±1.0μm)な常温接合(大気中)に成功し、パッシブアライメント実装による光ファイバとの接続を実現した。...

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  • 高速LiNbO<SUB>3</SUB>光変調器とその応用

    近藤 順悟, 青木 謙治, 三冨 修, 皆方 誠 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2007F (0), 12-12, 2007

    ...ニオブ酸リチウム（LiNbO<SUB>3</SUB>）単結晶は、電気光学効果をもちマッハツェンダー型干渉光導波路と電極を形成することにより強度光変調器を実現でき、これまで光通信システム用光変調器や自動車ナビゲーションにおける光ファイバジャイロ用光変調器として利用されてきた。ここでは、新たにセラミックス加工技術を応用した高速かつ２V以下の低駆動電圧薄板型光変調器について報告する。...

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  • MOCVD法によるAl2O3基板上へのエピタキシャルLiNbO3薄膜の作製

    諸橋 倫大郎, 脇谷 尚樹, 木口 賢紀, 田中 順三, 篠崎 和夫 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2007S (0), 9-9, 2007

    ...ニオブ酸リチウムLiNbO3は優れた非線形光学効果、電気光学効果を示し、LiNbO3単結晶を用いた光スイッチ、光導波路などの個別光学デバイスが実用化されている。近年はデバイスの小型化・高速化あるいは省エネの観点から、LiNbO3の薄膜化に関する研究が盛んになりつつある。...

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  • SAWを用いたマイクロチャンネル駆動デバイス

    谷口 謙, 西迫 貴志, 初澤 毅, 柳田 保子 精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 231-232, 2007

    近年、遺伝子導入技術において多数の細胞から一つの細胞を選別し、所定の位置まで操作する技術が必要となっている。現状では、液体の体積単位での注入でマイクロデバイス上の位置決めを行っており、細胞ごとの位置決めは困難である。そこで圧電素材の特性を利用したSAWデバイスによりマイクロ流路デバイスを製作し、液中の個々の細胞を駆動可能で生化学実験などに応用出来るデバイスを開発する。

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  • Li-Na-Nb複合エトキシド単結晶の合成

    高村 一雄, 陶山 容子, 市居 宏 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2006S (0), 544-544, 2006

    (Li<SUB>1-X</SUB>Na<SUB>X</SUB>)Nb(OEt)<SUB>Y</SUB>と仮定される組成を持つLi-Na-Nb複合エトキシド単結晶を合成した。NbCl<SUB>5</SUB>を出発原料として合成したNb(OEt)<SUB>5</SUB>に所定量の金属Li、金属Naおよびエタノールを加え、冷却保持することで種々の組成を持つLi-Na-Nb複合エトキシド単結晶を析出させ…

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  • ニオブ酸リチウム光導波路チップのシリコン基板への大気中低温接合

    多喜川 良, 日暮 栄治, 須賀 唯知, 品田 聡, 川西 哲也 精密工学会学術講演会講演論文集 2006A (0), 957-958, 2006

    ...V溝等の加工を施したシリコンベンチの所定の位置に光導波路を形成したニオブ酸リチウムチップを集積するためには、大きな熱膨張係数差のために高精度な低温チップボンディング技術が欠かせない。そこで本研究では、表面活性化接合法を用いて、金薄膜を介したニオブ酸リチウム光導波路チップとシリコン基板の常温接合（大気中）を試み、成功した。光デバイスへの応用に十分な接合強度(約15MPa)が得られた。...

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  • ゾルゲル法によるTi:Er:LiNbO<sub>3</sub>薄膜の作製と物性評価

    芳賀 剛, 梶谷 尚史, 深見 宮子, 高橋 誠, 脇田 紘一, 佐橋 家隆, 音羽 亮平 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 126 (1), 8-13, 2006

    Ti<sup>4+</sup> and Er<sup>3+</sup> LiNbO<sub>3</sub> films on the z-cut congruent LiNbO<sub>3</sub>(CLN) wafer substrates were grown by using a sol-gel method. The orientation relationships between …

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  • 520 弾性表面波皮膚感覚ディスプレイにおける視覚情報と触覚情報の融合

    小谷 浩之, 高崎 正也, 奈良 高明, 水野 毅 Dynamics & Design Conference 2006 (0), _520-1_-_520-4_, 2006

    ...酸リチウム(LiNbO_3 128° Y-cut)を使用しているが,材料の性質から大面積のウエハの生成が困難とされ,また任意の形状に加工する場合には硬脆材料であることからコスト問題が生じていた.この問題を解決するためにSAWの励振・伝搬方法について再検討し,本研究では新たに非圧電材料表面へのSAWの励振・伝搬を行い,従来の弾性表面波皮膚感覚ディスプレイのステータ振動子を非圧電媒体で構成した.本研究では...

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  • LiNbO<sub>3</sub>，LiTaO<sub>3</sub> の不定比欠陥制御による拡散・熱伝導特性への影響

    北村 健二, 竹川 俊二, 羽田 肇 応用物理 74 (5), 573-579, 2005-05-10

    ...<p>本稿では，ニオブ酸リチウム，タンタル酸リチウムの不定比欠陥密度とイオン拡散および熱伝導特性への影響に焦点を当てている．どちらの特性も，デバイス作成プロセスあるいは素子の性能に深く関連している．SIMSを用いた拡散実験およびレーザーフラッシュ法による熱伝導率計測から，数％の不定比欠陥密度にこれらの特性が強く依存していることがわかった．特に空位欠陥が，拡散を速くし，熱伝導を遅くしている．従来から市販...

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  • TV放送波中継用光変調器の耐雷性評価

    山下 隆之, 生岩 量久, 鳥羽 良和, 鳥畑 成典 日本信頼性学会誌　信頼性 27 (1), 81-89, 2005

    ...筆者らはニオブ酸リチウムの電気光学効果を利用した光変調器を用いて,受信点に電源供給が不要なTV中継放送所用無給電型光伝送システムを開発し,送受分離中継放送所に導入してきた.このシステムは,光ファイバ使用により受信点と送信点を電気的に分離できるため,雷の影響を受けにくく,受信点と送信点が分離された中継放送所の雷害に対する信頼性向上に有効である.しかしながら,本システムにおいても,光変調器に異常が検出されたことがあった...

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  • 次世代オプトロセラミックスデバイスを目指して

    北村 健二 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005F (0), 49-49, 2005

    強誘電体のLN,LTの欠陥制御が、拡散、熱伝導や分極反転といった輸送現象に係わる特性を大きく変化させることが判ってきた。これを利用して、欠陥を制御した材料から波長変換、光変調、およびフォトニック結晶デバイスへの応用に大きな進展が見られた。これらに関し、材料科学としての意味付けと次世代デバイスへの応用を報告する。

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  • ニオブ酸リチウム(LiNbO<sub>3</sub>)の超精密研削に関する研究

    中村 格芳, 田邊 亮, 吉田 昌史, 李木 経孝 精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 1151-1152, 2005

    ...光学特性に優れた材料であるニオブ酸リチウム(LiNbO<sub>3</sub>)は、次世代メモリ材料としての活用が期待されている。このLiNbO<sub>3</sub>の超精密研削技術の確立を目的とし、ナノオーダーの切込み制御を行い超精密研削試験を行った。工具には砥粒に見立てたビッカース圧子を使用し、工具形状を変えることにより表面に発生するクラックの量を評価した。...

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  • 水溶液前駆体からのニオブ酸リチウム系材料の合成

    小野 さとみ 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005F (0), 381-381, 2005

    ...機能性材料の中でも、優れた電気・光学特性を有するニオブ酸リチウム（LiNbO<SUB>3</SUB>）やニオブ酸リチウムカリウム(KLN: K<SUB>3</SUB>Li<SUB>2</SUB>Nb<SUB>5</SUB>O<SUB>15</SUB>)について、環境負荷を与えない水溶液プロセスによる薄膜作製法を開発した。...

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  • フレスノイト型結晶の構造異方性と二次光非線形性

    斉藤 博樹, 紅野 安彦, 藤原 巧, 小松 高行 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005S (0), 34-34, 2005

    ...本研究室においては、非線形光学材料として代表的なニオブ酸リチウム単結晶に匹敵する大きな二次光非線形性を示す、フレスノイト型結晶相を有する透明結晶化ガラスの創製に成功している。...

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  • ニオブ酸リチウムの超精密切削加工について

    河合 知彦, 山本 明, 酒井田 康宏 精密工学会学術講演会講演論文集 2005S (0), 791-791, 2005

    ...本デバイスの材料は光結晶材料LiNbO3(ニオブ酸リチウム)であり、脆性材料となっている。近年、この光導波回路の伝達効率向上が望まれ、微細化、高精度化が要求されつつある。本報では、ダイヤモンド工具を用いてLiNbO3に光導波路を模した微細な溝加工を行った。加工面及びエッジ部の評価を行い、光学デバイスとしての可能性を示した。...

    DOI 被引用文献1件

  • 斜長石(An50±1)多結晶体の弾性波速度温度依存性

    河野 義生, 石川 正弘, 有馬 眞 日本鉱物学会年会講演要旨集 2005 (0), 4-4, 2005

    ...高温高圧実験にはピストン-シリンダー型高圧発生装置を使用し，圧力1GPa，温度25-920℃において弾性波速度を測定した．弾性波速度測定はパルス反射法により行った．振動素子に10°Y-cutニオブ酸リチウムを使用し，Ｐ波，Ｓ波速度を同時に測定した．測定誤差は±0.35%である．　...

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  • 3.4GHz帯集中定数型光変調器の開発

    鳥羽, 良和, 鬼澤, 正俊, 生岩, 量久, 山下, 隆之, 根岸, 俊裕, 村崎, 出, TOBA, Yoshikazu, ONIZAWA, Masatoshi, HAEIWA, Kazuhisa, YAMASHITA, Takayuki, NEGISHI, Toshihiro, MURASAKI, Izuru 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス J87-C (10), 768-773, 2004-10-01

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    機関リポジトリ Web Site 被引用文献8件 参考文献6件

  • アブレシブウォータジェットによるニオブ酸リチウムの微細加工に関する研究

    野中 啓一郎, 割澤 伸一, 光石 衛 精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 261-261, 2004

    ...アブレシブウォータジェット加工において,微細砥粒を導入できる砥粒供給方法を提案し,提案した砥粒供給方法で実際に微細加工が実現できることを,これまでの研究で確認した.そこで本研究では,提案した砥粒供給方法に対する各種加工パラメータの加工特性を明らかにするために,ニオブ酸リチウム上に溝加工をおこない,加工された溝の加工深さ,溝幅,断面形状,表面粗さについて比較検討をおこなった....

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  • UVレーザによるニオブ酸リチウムの熱加工モデル構築

    中西 彰, 割澤 伸一, 光石 衛 精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 442-442, 2004

    ...UVレーザによってニオブ酸リチウム表面上に微細溝加工を行う場合,ニオブ酸リチウムによって吸収されたレーザ光が熱に変換され,融点を超えた材料の一部が除去されるという熱加工によって加工されると仮定して,熱加工モデルを構築した.この際加工時の光吸収係数は,実験的に求めた加工可能な最小エネルギー密度をもとに計算した.その結果,熱加工モデルから計算した溝形状と,加工実験によって得られた溝形状が,同じ傾向を示すことを...

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  • 高圧下におけるゲルマニウム酸塩のイルメナイト−ペロブスカイト転移

    赤荻 正樹, 山本 僚, 糀谷 浩 日本鉱物学会年会講演要旨集 2004 (0), 20-20, 2004

    ...また高圧相（後述のニオブ酸リチウム型相）を出発物質として逆反応実験を行った。　MgGeO3では、1600C、23GPaでイルメナイト相が高圧相に転移し、その急冷生成物はニオブ酸リチウム(LiNbO3)型の相であった。すでにLeinenweber et al. (1994)がその場観察X線回折法で示したように、この相は高圧下では斜方晶ペロブスカイト構造であるが、減圧過程でLiNbO3型に転移する。...

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  • LiNbO3 単結晶からの温度変化による電荷放出のメカニズム

    深尾 真司, 中西 義一, 伊藤 嘉昭, 吉門 進三 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2003S (0), 198-198, 2003

    LiNbO_3単結晶から温度変化によって放出される電荷について報告する.電流は直流電流とパルス電流の2種類存在した.電荷量は雰囲気の圧力,種類に依存し,約5Paで最大となった.圧力を1.3×10^<-3>Paと高真空にした時には電流は検出されなかったことから,気体原子・分子が電流発生にかかわっていると考えられる. 電流の正負は,電極に向かい合わせる結晶の電気面に依存した. …

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  • Li-Nb複合アルコキシド単結晶の合成とLiNbO<SUB>3</SUB>の生成

    山田 哲也, 陶山 容子 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2002F (0), 419-419, 2002

    Li-Nb複合アルコキシド単結品をAr雰囲気中、LiエトキシドとNbエトキシドの混合溶液から合成した。単結晶X線回折測定の結果、得られた単結晶の実験式はC<SUB>2</SUB>0H<SUB>52</SUB>Li<SUB>2</SUB>Nb<SUB>2</SUB>O<SUB>12</SUB>であった。Li-Nb複合アルコキシドは300℃以下の温度での熱処理によりLiNbO<SUB>3</SUB>…

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  • LiNbO<SUB>3</SUB>-Li<SUB>2</SUB>TiO<SUB>3</SUB>系自己組織化複合結晶の規則的組織とその形成過程

    山本 陽, Chung Jun Ki, 楠瀬 尚史, 中山 忠親, 関野 徹, Kim C.J., 新原 晧一 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2002F (0), 123-123, 2002

    超構造を持つLiNbO3-Li2TiO3系固溶体に, 単結晶育成プロセスを適用することにより, マトリックス(超構造を持つM相固溶体)中に柱状の第二相(Li2TiO3固溶体)が規則的に配列した組織を得ることに成功した. 特徴的な微細構造とその形成過程についてSEM·TEM·EPMAをもちいて調査した. 柱状相の直径は約1μmで, 約1∼2μmの間隔で超構造の層に垂直な方位で配列している. …

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  • 広帯域LiNbO<sub>3</sub>光変調器作製へのサンドブラスト法の適用

    山根 裕治, 山本 太, 藤田 貴久, 佐久間 満, 市川 潤一郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2002A (0), 490-490, 2002

    LiNbO<sub>3</sub>(LN)基板を用いた広帯域光通信用変調器の開発に、サンドブラスト法による基板加工の適用を試みた。高周波(>20GHz)では基板へのマイクロ波の放射損失が顕著であり、基板を薄く加工して損失を抑えることが重要である。そこで我々は、サンドブラスト法を用いて、電極下部の基板厚さを200μm以下に部分加工する一連のプロセス技術に関する研究を行った。加工条件の選択やマスクパ…

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  • 強誘電体光学単結晶のブレークスル

    北村 健二 応用物理 69 (5), 511-517, 2000

    ...光変調,光スイッチ,集積EOデバイス,波長変換,デジタルホログラムなどに,強誘電体単結晶の代表であるニオブ酸リチウム,タンタル酸リチウムは魅力釣な材料である.しかしSAWフィルターに用いられているこれらの従来材料を,そのまま光機能素子用材料に利用するとさまざまな特性上の壁にぶつかる.これは,市販単結晶の育成上の制約から,従来結晶には多量の不定協欠陥が含まれているためで,この不定比欠陥を制御した結晶を...

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  • 定比組成LiNbO_3を用いたディジタル体積ホログラム記録

    畑野 秀樹, 山路 崇, 田中 覚, 古川 保典, 北村 健二 映像情報メディア学会技術報告 22.14 (0), 37-44, 1998

    二重るつぼ法で育成した定比組成LiNbO_3単結晶は, 従来の一致溶融組成LiNbO_3に対して不定比欠陥が低減し, ディジタルホログラム記録への応用において優れたフォトリフラクティブ特性を示す.特に異常光を用いた場合に, 従来の一致溶融組成LiNbO_3に対して顕著な記録感度と回折効率の改善が見られた.これらは電気光学定数, 光導電率, フォトガルバニック電流の測定結果と対応した.

    DOI 参考文献11件

  • 四電極LN結晶による偏光状態の高速制御方式

    黒野 正裕 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 118 (5), 649-655, 1998

    This paper describes a new fast optical polarization control system by a z-propagating LN (LiNbO<sub>3</sub>) crystal with four electrodes on the x and y cut surface. In order to stabilize the …

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  • 制御機能をもつ固体触媒設計のための弾性表面波および共振現象の応用

    井上 泰宣, 渡辺 幸久, 大河 原譲 日本化学会誌（化学と工業化学） 1996 (4), 317-324, 1996-04-10

    ...弾性表面波が触媒活性および反応の選択性に与える効果を明らかにするため,ニオブ酸リチウムおよびタンタル酸リチウム単結晶の結晶表面両端にリソグラフ法によりクシ型電極を取り付け,さらに伝搬路に触媒を薄膜で接合した触媒素子を作成した。...

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  • 超音波の位相共役波発生

    大野 正弘 応用物理 64 (5), 466-470, 1995

    ...ニオブ酸リチウムやPZTセラミツクスのような物質に,超音波とその倍周波数の高周波電場を印加すると,超音波の位相共役波を発生させることができる.このような非線形圧電法による超音波位相共役の原理を,光位相共役と比較しながら説明する.また,この方法により発生した位相共役波の可視化による観察,超音波映像装置の画像歪み除去に応用した例を紹介する....

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  • MOCVD法によるLiNbO3薄膜の合成

    高木 威, 小林 一三, 富永 浩二, 岡田 勝 日本化学会誌（化学と工業化学） 1993 (7), 831-836, 1993-07-10

    ...出発原料としてリチウムおよびニオビウムのβ-ジケトン錯体を用いた減圧MOCVD法により,ニオブ酸リチウム薄膜を合成した。[Nb(C11H19O2)Cl3]からNb205膜の生成は熱分解反応が主反応であるが,[Li(C11H19O2)]からLi2O膜の場合は熱分解と酸化反応が併発する。...

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  • ニオブ酸リチウム単結晶中のAl, Sc及びGaイオンの拡散

    羽田 肇, YAMAMOTO Joyce K., 北村 健二, 木村 茂行 Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) 101 (1169), 121-123, 1993

    Diffusion of aluminum, scandium and gallium ions in single crystals has been studied. Stoichiometric crystals have been grown by the Czochralski method using a double crucible and automatic powder …

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