検索結果 209 件

道下 悠登, 後藤 和泰, 深谷 昌平, 黒川 康良, 宇佐美 徳隆 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集 3 (0), 92-92, 2023-06-23

DOI

高岸 瑞生, 高橋 和之, 井田 晋平, 早瀬 仁則 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 760-761, 2023-03-01

...成功した多孔質AuにPd-Ptの原子層堆積を試みた．...

DOI

水谷 文一 表面技術 74 (3), 151-154, 2023-03-01

DOI Web Site 参考文献23件

生田目 俊秀 表面技術 74 (3), 137-140, 2023-03-01

DOI Web Site 参考文献20件

廣瀬 文彦 表面技術 74 (3), 133-136, 2023-03-01

DOI Web Site 参考文献16件

髙倉 亮, 渡辺 要, 多喜川 良 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 36 (0), 25B5-3-, 2022

DOI

松井 卓矢 応用物理 90 (6), 346-350, 2021-06-05

...不活性化するパッシベーション機能と，電子または正孔の一方を選択的に取り出す機能を併せもつ「キャリヤ選択性パッシベーティングコンタクト（Carrier Selective Passivating Contact）」が注目されている．特に，既存技術で用いられているアモルファスシリコンなどの材料を，より低コストで光学的に透明な材料に置き換えることを目指した研究が繰り広げられている．本研究では，結晶シリコンに原子層堆積法...

DOI Web Site

谷口 有沙子, 鈴木 義和 ホソカワ粉体工学振興財団年報 28 (0), 153-156, 2021-05-25

<p>ヘマタイト（α-Fe₂O₃）は，無毒であり，優れた化学・熱安定性を有する機能性素材である．しかし，従来の製膜法では，堆積中や堆積後に500°C以上のアニール処理を結晶化のために必要とするため，耐熱性に乏しい基板上へのα-Fe₂O₃層の製膜が困難であった．この問題を解決するため，我々はFe水溶液からα-F…

DOI Web Site 参考文献4件

今井 薫, 岡谷 泰佑, 瀧田 佑馬, 大野 誠吾, 南出 泰亜, 金森 義明 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 867-867, 2021-02-26

DOI

平岩 篤, 堀川 清貴, 川原田 洋, 加渡 幹尚, 旦野 克典 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2967-2967, 2021-02-26

DOI

齋藤 健太郎, 吉田 一樹, 三浦 正範, 鹿又 健作, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2721-2721, 2021-02-26

DOI

吉田 一樹, 齋藤 健太郎, 三浦 正範, 鹿又 健作, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2724-2724, 2021-02-26

DOI

宮島 千晶, 伊東 駿也, 中川 勝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1416-1416, 2021-02-26

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, Jung Yong Chan, Hernandez-Arriaga Heber, Mohan Jaidah, Kim Harrison S., 澤本 直美, Nam Chang-Yong, Tsai Esther H. R., 長田 貴弘, Kim Jiyoung, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2291-2291, 2021-02-26

DOI

薄 謙志郎, 望月 敏光, 棚橋 克人, 高遠 秀尚, 山口 克彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2761-2761, 2021-02-26

DOI

手塚 彩水, 山田 紘右, 河合 Alaric 洋平, 桑江 博之, 庄子 習一, 百瀬 渉, 水野 潤 Journal of Smart Processing 9 (5), 232-236, 2020-09-10

We studied a method of low temperature Cu-Cu quasi-direct bonding inserting ultra-thin metal layer deposited by atomic layer deposition（ALD）. A thin Pt layer was selected as a metal intermediate …

DOI Web Site Web Site 参考文献20件

宝栄 周弥, 桐谷 乃輔, 吉村 武, 芦田 淳, 藤村 紀文 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 897-897, 2020-08-26

DOI

平岩 篤, 堀川 清貴, 大久保 智, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 1895-1895, 2020-08-26

DOI

小池 威廣, 今野 寛己, 水柿 義直, 島田 宏, 三浦 正範, 鹿又 健作, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 1239-1239, 2020-08-26

DOI

森 義晴, 齋藤 健太郎, 吉田 一樹, 三浦 正範, 鹿又 健作, 有馬 ボシルアハマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2180-2180, 2020-08-26

DOI

齋藤 健太郎, 吉田 一樹, 三浦 正範, 鹿又 健作, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2181-2181, 2020-08-26

DOI

手塚 彩水, 山田 紘右, 水野 潤 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 371-372, 2020-03-01

...<p>我々は原子層レベルで制御可能な原子層堆積法:ALD法により形成した酸化膜、金属薄膜を用いた接合技術の開発を行なっている。1つは、5G通信用LiTaO₃/水晶複合SAW基板の作製に向けた圧電単結晶同士の接合を、界面にアモルファス酸化膜を設け表面処理することで達成する技術である。...

DOI

堀川 清孝, 川原田 洋, 平岩 篤 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2788-2788, 2020-02-28

DOI

山口 世力, リ ヒュンジュ, 大下 祥雄 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 3284-3284, 2020-02-28

DOI

福島 碧都, 伊師 大貴, 江副 祐一郎, 石川 久美, 沼澤 正樹, 大坪 亮太, 鈴木 光, 湯浅 辰哉, 内野 友樹, 作田 紗恵, 満田 和久 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 590-590, 2020-02-28

DOI

中村 昌幸, 小林 貴之, 幸 康一郎, 井本 良, 岡田 成仁, 立田 利明, 只友 一行, 本山 慎一 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2807-2807, 2020-02-28

DOI

牧瀬 圭正, 藤井 剛, 浮辺 雅宏 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2095-2095, 2020-02-28

DOI

東 雅人, 上沼 睦典, 吉嗣 晃治, 柳生 栄治, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2802-2802, 2020-02-28

DOI

吉田 一樹, 齋藤 健太郎, 三浦 正範, 鹿又 健作, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1424-1424, 2020-02-28

DOI

町田 葉祐, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 3429-3429, 2020-02-28

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, Jung Yongchan, Heber Hernandez-Arriaga, Mohan Jaidah, Kim Harrison S., Khosravi Ava, 澤本 直美, 長田 貴弘, Wallace Robert M., Kim Jiyoung, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2636-2636, 2020-02-28

DOI

木村 慎治, 山口 直, 井上 真雄 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2586-2586, 2020-02-28

DOI

薄 謙志郎, 望月 敏光, 棚橋 克人, 高遠 秀尚, 山口 克彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 3261-3261, 2020-02-28

DOI

作場 宥斗, 藤井 茉美, 唐木 祐馬, 上沼 睦典, 高橋 清, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1325-1325, 2020-02-28

DOI

齋藤 健太郎, 吉田 一樹, 鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1393-1393, 2020-02-28

DOI

横井 駿一, 古岡 啓太, 久保 俊晴, 江川 孝志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2840-2840, 2020-02-28

DOI

水谷 文一, 東 慎太郎, 井上 万里, 生田目 俊秀 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1520-1520, 2019-09-04

DOI

入田 賢, 小船 想士朗, 黒瀬 智洋, 早瀬 仁則, Vasiljevic Natasa 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3068-3068, 2019-09-04

DOI

太田 惇丈, 宋 禛漢, 星井 拓也, 若林 整, 筒井 一生, 角嶋 邦之 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3041-3041, 2019-09-04

DOI

鈴木 俊哉, Holm Niklas, Kilpi Väinö, Blomberg Tom 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3037-3037, 2019-09-04

DOI

知京 豊裕, 木野 日織 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 185-185, 2019-09-04

DOI

唐橋 一浩, 伊藤 智子, 浜口 智志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 188-188, 2019-09-04

DOI

鶴岡 徹, 蘇 進, 辻田 卓司, 西谷 雄, 濱村 朋史, 稲富 友, 名倉 健祐, 寺部 一弥 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1558-1558, 2019-09-04

DOI

光成 正, 佐藤 寿樹, 鈴木 悠介, 菊地 貴倫, 加賀谷 宗仁, 森貞 佳紀, 米道 仁史, 茂木 弘典, 守屋 剛 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 186-186, 2019-09-04

DOI

鹿又 健作, 三浦 正範, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 187-187, 2019-09-04

DOI

林 裕偉, 宋 禛漢, 星井 拓也, 若林 整, 筒井 一生, 角嶋 邦之 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3039-3039, 2019-09-04

DOI

牧瀬 圭正, 藤井 剛, 浮辺 雅宏 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 2330-2330, 2019-09-04

DOI

山本 燎, 加納 寛人, 中村 篤志, 居波 渉 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3974-3974, 2019-09-04

DOI

東 雅人, 上沼 睦典, 吉嗣 晃治, 柳生 栄治, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3233-3233, 2019-09-04

DOI

福島 碧都, 伊師 大貴, 江副 祐一郎, 石川 久美, 沼澤 正樹, 大坪 亮太, 鈴木 光, 湯浅 辰哉, 内野 友樹, 作田 紗恵, 満田 和久, Sowa Mark J. 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 514-514, 2019-09-04

DOI

入田 賢, 小船 想士朗, 黒瀬 智洋, Vasiljevic Natasa, 早瀬 仁則 精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 254-254, 2019-08-20

...<p>我々は，これまでに電気化学原子層堆積法(ALD)によるAu-Pd-Pt多層触媒の作製，そして小型燃料電池への応用研究を行ってきた．ALDにより多孔質Au上にPdとPtの原子層を堆積形成したAu-Pd-Pt多層触媒は，O₂と100 ppm COを含んだH₂を用いた場合でも約100 mW/cm²の発電を行うことができ，性能低下がないことを...

DOI

宮越 雄太, 藤井 茉美, 石河 泰明, 高橋 清, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 1269-1269, 2019-02-25

DOI

林田 朋樹, 筒井 真楠, 谷口 正輝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 2506-2506, 2019-02-25

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 2690-2690, 2019-02-25

DOI

中村 昌幸, 小林 貴之, 幸 康一郎, 井本 良, 岡田 成仁, 立田 利明, 只友 一行, 本山 愼一 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3155-3155, 2019-02-25

DOI

望月 健矢, 後藤 和泰, 北條 智彦, 黒川 康良, 秋山 英二, 宇佐美 徳隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3410-3410, 2019-02-25

DOI

鹿又 健作, 吉田 一樹, 齋藤 健太郎, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 平原 和弘, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 1423-1423, 2019-02-25

DOI

望月 健矢, 後藤 和泰, 黒川 康良, 宇佐美 徳隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3409-3409, 2019-02-25

DOI

吉田 一樹, 三浦 正範, 英 傑, 鹿又 健作, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3362-3362, 2019-02-25

DOI

池田 幸弘, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3570-3570, 2019-02-25

DOI

廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 1613-1613, 2019-02-25

DOI

齋藤 健太郎, 鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3361-3361, 2019-02-25

DOI

近藤 大雄, 林 賢二郎, 山口 淳一, 曽我 育生, 佐藤 信太郎, 横山 直樹 SPring-8/SACLA利用研究成果集 7 (1), 40-43, 2019-01-25

...今回は、原子層堆積法や蒸着法などの異なる方式で作製した絶縁膜とグラフェンの界面電子状態を硬X線光電子分光により調べることで、現在想定し得るゲート絶縁膜候補材料とグラフェン界面での電子状態から絶縁膜としての適性の検討を行い、グラフェン直上には SiO₂ を絶縁膜として堆積することが望ましく、その上に別途 High-k 等の絶縁膜を堆積すれば良いことが判明した。...

DOI

牧瀬 圭正, 藤井 剛, 浮辺 雅宏 日本物理学会講演概要集 74.2 (0), 1376-1376, 2019

DOI

山崎 智生 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 33 (0), 11B3-02-, 2019

...今回、Line/Space=2/2μmのCu配線表面に、原子層堆積法による酸化アルミニウム膜を形成することで、Cuの腐食や拡散を抑制した高信頼性配線を実現した。</p>...

DOI

表面と真空 61 (12), 815-815, 2018-12-10

DOI Web Site

呉屋 伸哉, 村井 俊介, 藤田 晃司, 田中 勝久 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 1009-1009, 2018-09-05

DOI

水谷 文一, 東 慎太郎, 井上 万里, 生田目 俊秀 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 1488-1488, 2018-09-05

DOI

浮辺 雅宏, 藤井 剛, 志岐 成友, 大久保 雅隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 2269-2269, 2018-09-05

DOI

生田目 俊秀, 女屋 崇, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 240-240, 2018-09-05

DOI

桑江 博之, 山田 紘右, 上林 拓海, 百瀬 渉, 庄子 習一, 水野 潤 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 256-256, 2018-09-05

DOI

片山 雅之, 加藤 哲弥, 阿南 裕穂 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 254-254, 2018-09-05

DOI

林田 朋樹, 横田 一道, 筒井 真楠, 谷口 正輝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 2646-2646, 2018-09-05

DOI

池田 幸弘, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3738-3738, 2018-09-05

DOI

町田 葉祐, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3746-3746, 2018-09-05

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 2850-2850, 2018-09-05

DOI

鈴木 恭一, 赤坂 哲也 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 2144-2144, 2018-09-05

DOI

黒瀬 智洋, 白井 領, Vasiljevic Natasa, 早瀬 仁則 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 800-801, 2018-08-20

...<p>シリコン基板上に燃料流路と触媒層を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている．白金族の使用量削減、また、高いCO耐性実現のために、電気化学的原子層堆積を用いてAu-Pd-Pt多層触媒の開発を進めてきた。本研究では、この触媒をシリコン電極上に形成し、燃料電池の試作を行った。...

DOI

生田目 俊秀, 木村 将之, 弓削 雅津也, 井上 万里, 池田 直樹, 大石 知司, 大井 暁彦 表面と真空 61 (5), 280-285, 2018-05-10

<p>We have investigated characteristics of Al₂O₃ thin films, which are deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) and thermal ALD (TH-ALD) with oxygen plasma …

DOI Web Site Web Site 被引用文献4件 参考文献15件

池田 幸弘, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3994-3994, 2018-03-05

DOI

曽根原 翔, 上沼 睦典, 藤本 裕太, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3266-3266, 2018-03-05

DOI

上原 卓也, 尾﨑 優貴, 廣芝 伸哉, 中村 貴宏, 中川 勝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 1784-1784, 2018-03-05

DOI

吉川 圭祐, 伊藤 直輝, 今野 寛己, 水柿 義直, 島田 宏, 鹿又 健作, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 2023-2023, 2018-03-05

DOI

浮辺 雅宏, 藤井 剛, 志岐 成友, 大久保 雅隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 2381-2381, 2018-03-05

DOI

林田 朋樹, 大城 敬人, 筒井 真楠, 谷口 正輝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 2880-2880, 2018-03-05

DOI

坂田 晟大, 渡邊 敬介, 馬場 俊彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 2893-2893, 2018-03-05

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3089-3089, 2018-03-05

DOI

堀川 清貴, 平岩 篤, 大久保 智, 蔭浦 泰資, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3072-3072, 2018-03-05

DOI

佐川 達郎, 中村 昌幸, 小林 貴之, 幸 康一郎, 井本 良, 岡田 成仁, 立田 利明, 只友 一行, 本山 愼一 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3468-3468, 2018-03-05

DOI

平岩 篤, 大久保 智, 堀川 清貴, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3293-3293, 2018-03-05

DOI

生田目 俊秀 応用物理 87 (1), 25-28, 2018-01-10

...<p>原子層堆積（ALD）法は，室温成膜が可能で，オングストロームオーダでの膜厚の制御，粒子・ホールなどの3次元構造へ均質な酸化物および金属膜を形成できる利点を有しており，幅広い分野で興味がもたれている成膜手法である．本稿では，200°Cの低温度で，ALD法を用いて作製したアモルファスなAl₂O₃-TiO₂バイレイヤをスイッチング層として...

DOI Web Site

廣瀬 文彦 応用物理 86 (9), 796-800, 2017-09-10

...<p>原子層堆積法（ALD）の室温化研究について紹介する．ALDの室温化を阻む要因を探るため，有機金属ガスの酸化物表面への吸着のその場観察を試みた．多くの有機金属ガスは，表面のヒドロキシル基を吸着サイトとすることで，室温で吸着する．吸着表面を酸化しながら，ヒドロキシル基を表面に形成する方法として，加湿アルゴン（Ar）をプラズマ励起したガスを酸化剤とすることで，室温堆積を実証した．本プロセスは，室温製膜...

DOI Web Site

武内 数馬, 江副 祐一郎, 石川 久美, 沼澤 正樹, 寺田 優, 伊師 大貴, 藤谷 麻衣子, 糸山 隆仁, 大坪 亮太, 福島 碧都, Sowa Mark J., 大橋 隆哉, 満田 和久 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1596-1596, 2017-08-25

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本 直美, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 2880-2880, 2017-08-25

DOI

相川 慎也, 木津 たきお, 生田目 俊秀, 塚越 一仁 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1466-1466, 2017-08-25

DOI

佐川 達郎, 中村 昌幸, 小林 貴之, 立田 利明, 本山 慎一 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 2887-2887, 2017-08-25

DOI

坂田 晟大, 渡邊 敬介, 羽中田 祥司, 馬場 俊彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 2752-2752, 2017-08-25

DOI

曽根原 翔, 上沼 睦典, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3056-3056, 2017-08-25

DOI

池田 幸弘, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 197-197, 2017-08-25

DOI

原田 恭介, 上野 啓司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3806-3806, 2017-08-25

DOI

谷川 晴紀, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 清水 淳一, 外山 真矢人, 早川 直希, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 若林 整 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3841-3841, 2017-08-25

DOI

木津 たきお, 相川 慎也, 池田 幸弘, 上野 啓司, 生田目 俊秀, 塚越 一仁 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1465-1465, 2017-08-25

DOI

堀川 清貴, 大久保 智, 蔭浦 泰資, 平岩 篤, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 2859-2859, 2017-08-25

DOI

山田 大地, 王谷 洋平, 山本 千綾, 山中 淳二, 佐藤 哲也, 岡本 浩, 福田 幸夫 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 2870-2870, 2017-08-25

DOI

平岩 篤, 佐々木 敏夫, 大久保 智, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3031-3031, 2017-08-25

DOI

鹿又 健作, 石川 誠, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 平原 和弘, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1505-1505, 2017-03-01

DOI

羽中田 祥司, 田中 淳大, 馬場 俊彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 2804-2804, 2017-03-01

DOI

坂田 晟大, 羽中田 祥司, 馬場 俊彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 2802-2802, 2017-03-01

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 2931-2931, 2017-03-01

DOI

平林 三寛, 中村 葵, 査 尚豪, 下迫 直樹, 坂間 弘 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1420-1420, 2017-03-01

DOI

大久保 智, 松村 大輔, 平岩 篤, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 2914-2914, 2017-03-01

DOI

鈴木 貴之, 土屋 晃祐, 大保 崇博, 赤澤 良彦, 下野 貴史, 松本 滉太, 江口 卓也, 岩田 直高 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3155-3155, 2017-03-01

DOI

廣瀬 文彦, 菊地 航, 鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 アハマド, 久保田 繁 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 230-230, 2017-03-01

DOI

平岩 篤, 佐々木 敏夫, 大久保 智, 松村 大輔, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3128-3128, 2017-03-01

DOI

生田目 俊秀 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 148-, 2017

...原子層堆積(Atomic layer deposition: ALD)法で形成された金属膜及び高誘電率な金属酸化物(High-k)の薄膜は、トランジスタ、メモリ等の半導体を初め、生体など各種の分野で盛んに用いられている。...

DOI

廣瀬 文彦 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 145-, 2017

DOI

百瀬 渉 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 146-, 2017

...半導体技術として発展してきた原子層堆積技術ですが、原子レベルでの制御性に加え、その緻密性や回り込み性から、半導体以外の用途でも多くの進展があり、いくつかの応用例を説明致します。...

DOI

勝沼 隆幸, 久松 亨, 木原 嘉英, 本田 昌伸 表面科学 38 (5), 210-215, 2017

<p>We introduce a state-of-the-art patterning process developed by new patterning technology using Atomic Layer Deposition (ALD) towards 5/7 nm generation. In the patterning process, critical …

DOI Web Site Web Site

清水 信, 阿久津 宏樹, 津田 慎一郎, 引地 広介, 熊野 勝文, 湯上 浩雄 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 137 (11), 393-399, 2017

<p>Solar selective absorbers that function at temperatures up to 700°C and possess shallow honeycomb cylindrical microcavities coated with a metal-dielectric multi-layer are investigated. Even …

DOI Web Site Web Site

霜垣 幸浩 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 143-, 2017

...原子層堆積法（ALD）は，ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などを有する手法であり，幅広い応用展開が期待されている。またALDと同じように，ガスを交互供給することによりエッチングを行う原子層エッチング法（ALE）は，原子レベルで平滑なエッチングを高い選択性で実現できることから，次世代デバイス作製に必須の技術と目されている。...

DOI

鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 平原 和弘, 廣瀬 文彦 表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 202-, 2017

...室温原子層堆積を用いてアクリル樹脂、スチレン樹脂上に酸化膜の堆積を行い、X線光電子分光と赤外吸収分光によって評価を行った。その結果、樹脂材料の違いによって堆積される膜厚が異なることが分かった。発表では、赤外吸収分光を用いた原料分子の吸着と酸化過程について議論を行う。...

DOI

座間 秀昭, 大越 康晴, 櫻井 肇, 本間 章彦, 白石 泰之, 三浦 英和, 山家 智之 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2515-2515, 2016-09-01

DOI

山田 大地, 王谷 洋平, 山本 千綾, 山中 淳二, 佐藤 哲也, 岡本 浩, 福田 幸夫 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2704-2704, 2016-09-01

DOI

金子 喬, 雷 一鳴, 若林 整, 筒井 一生, 岩井 洋, 角嶋 邦之, 古橋 壮之, 友久 伸吾, 山川 聡 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3304-3304, 2016-09-01

DOI

平岩 篤, 松村 大輔, 大久保 智, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2677-2677, 2016-09-01

DOI

女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本 直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋 厚志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2675-2675, 2016-09-01

DOI

鈴木 貴之, 山田 富明, 河合 亮輔, 川口 翔平, 張 東岩, 岩田 直高 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2886-2886, 2016-09-01

DOI

鹿又 健作, 加藤 祐樹, 今井 貴大, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1355-1355, 2016-09-01

DOI

浮辺 雅宏, 藤井 剛, 志岐 成友, 大久保 雅隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2140-2140, 2016-09-01

DOI

大久保 智, 松村 大輔, 平岩 篤, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2676-2676, 2016-09-01

DOI

金澤 徹, Upadhyaya Vikrant, 雨宮 智宏, 石川 篤, 鶴田 健二, 田中 拓男, 宮本 恭幸 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3575-3575, 2016-09-01

DOI

野老 健太郎, 齊藤 俊介, 鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 ボシールアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3600-3600, 2016-09-01

DOI

菊地 航, 鹿又 健作, 三浦 正範, 有馬 ボシルアハマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3604-3604, 2016-09-01

DOI

廣芝 伸哉, 中川 勝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1603-1603, 2016-03-03

DOI

柳 炳學, 関 渓太, 佐藤 哲也 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1688-1688, 2016-03-03

DOI

野老 健太郎, 鹿又 健作, 有馬 ボシルアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1878-1878, 2016-03-03

DOI

生田目 俊秀 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 237-237, 2016-03-03

DOI

久保 俊晴, 西野 剛介, 江川 孝志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 3136-3136, 2016-03-03

DOI

平林 三寛, 田中 優, 小松 周平 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1411-1411, 2016-03-03

DOI

平岩 篤, 松村 大輔, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 2903-2903, 2016-03-03

DOI

吉嗣 晃治, 石河 泰明, 高橋 清, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 2904-2904, 2016-03-03

DOI

座間 秀昭, 本田 和広 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1482-1482, 2016-03-03

DOI

菊地 航, 鹿又 健作, 有馬 ボシルアハンマド, 久保田 繁, 廣瀬 文彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1877-1877, 2016-03-03

DOI

浮辺 雅宏, 藤井 剛, 志岐 成友, 大久保 雅隆 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 2182-2182, 2016-03-03

DOI

宮内 俊光, 早瀬 仁則 精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 261-262, 2016

...シリコン基板上に燃料流路と触媒層を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている．触媒層でのPt使用量削減のため，電気化学的原子層堆積UPD-SLRR法により多孔質Pd上へ原子層レベルのPt堆積を試みてきた．一方で，Pd-Ptは触媒を被毒する一酸化炭素(CO)耐性が高いことが分かった． Pt堆積を詳細に制御するために H(Hydrogen)-UPD-SLRR法の適用を検討し，耐CO特性を観察した．...

DOI

座間 秀昭, 本田 和広, 大園 修司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 1396-1396, 2015-08-31

DOI

兼松 正行, 柴山 茂久, 坂下 満男, 竹内 和歌奈, 中塚 理, 財満 鎭明 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 2669-2669, 2015-08-31

DOI

富成 征弘, 田中 秀吉, 大友 明 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 498-498, 2015-08-31

DOI

尾嵜 友亮, 今北 健二, 藤井 稔 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 863-863, 2015-08-31

DOI

平田 拓巳, 中村 基訓, 篁 耕司 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3421-3421, 2015-08-31

DOI

近藤 大雄, 林 賢二郎, 山口 淳一, 佐藤 信太郎, 横山 直樹 SPring-8/SACLA利用研究成果集 3 (2), 461-463, 2015-07-21

...今回、原子層堆積法や電子ビーム蒸着法などの異なる方式で作製した絶縁膜とグラフェンの界面電子状態を硬X線光電子分光により調べることで、現在想定し得るゲート絶縁膜候補材料とグラフェン界面での電子状態から絶縁膜としての適性の検討を行った。...

DOI

福井 僚, 中村 嘉基, 角嶋 邦之, 片岡 好則, 西山 彰, 杉井 信之, 若林 整, 筒井 一生, 名取 研二, 岩井 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2793-2793, 2015-02-26

DOI

高橋 清, 轟 宗一郎, 宮島 晋介 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3558-3558, 2015-02-26

DOI

松村 大輔, 齊藤 達也, 平岩 篤, 川原田 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 1243-1243, 2015-02-26

DOI

永冨 雄太, 長岡 裕一, 田中 慎太郎, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2815-2815, 2015-02-26

DOI

上村 崇史, ダイワシガマニ キルシナムルティ, 倉又 朗人, 山腰 茂伸, 東脇 正高 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3012-3012, 2015-02-26

DOI

柳 炳學, 関 渓太, 佐藤 哲也 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 1648-1648, 2015-02-26

DOI

鈴木 貴之, 滝川 陽介, 張 東岩, 内藤 志麻子, 岩田 直高 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3002-3002, 2015-02-26

DOI

高橋 伸尭, 長汐 晃輔 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3739-3739, 2015-02-26

DOI

畔柳 志帆, 廣芝 伸哉, 中川 勝 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 1556-1556, 2015-02-26

DOI

梅原 智明, 堀田 昌宏, 吉嗣 晃治, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2804-2804, 2015-02-26

DOI

上村 崇史, ダイワシガマニ キルシナムルティ, 倉又 朗人, 山腰 茂伸, 東脇 正高 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3011-3011, 2015-02-26

DOI

小野 新平 Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 58 (3), 104-108, 2015

  We have produced stable organic field-effect transistors (OFETs) with an ultra-thin high-k gate insulator deposited directly on top of organic semiconductor by atomic layer deposition (ALD). We …

DOI Web Site 参考文献22件

長岡 裕一, 永冨 雄太, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 2668-2668, 2014-09-01

DOI

関 渓太, 柳 炳學, 佐藤 哲也 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1580-1580, 2014-09-01

DOI

松村 大輔, 齊藤 達也, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1140-1140, 2014-09-01

DOI

平岩 篤, 齊藤 達也, 大長 央, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1133-1133, 2014-09-01

DOI

北嶋 武, 中野 俊樹 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1592-1592, 2014-09-01

DOI

石原 卓也, 栃木 偉伸, 吉永 純一, 吉川 康秀 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 314-314, 2014-09-01

DOI

北嶋 武, 中野 俊樹 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 1634-1634, 2014-03-03

DOI

荒井 雄介, Carlo Pantano 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 226-226, 2014-03-03

DOI

車 一宏, 斎藤 達也, 大長 央, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 1221-1221, 2014-03-03

DOI

車 一宏, 齊藤 達也, 大長 央, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 2143-2143, 2013-08-31

DOI

北嶋 武, 中野 俊樹 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 2548-2548, 2013-08-31

DOI

吉嗣 晃治, 梅原 智明, 堀田 昌宏, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 3757-3757, 2013-08-31

DOI

清家 康平, 大野 恭秀, 前橋 兼三, 井上 恒一, 松本 和彦 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 4402-4402, 2013-08-31

DOI

田仲 史弥, 清水 貴裕, 西村 幸姫, 三納 清司, 浜部 薫, 上田 一輝, 加藤 宏太, 小林 久芳, 實野 孝久, 稲田 貢, 齊藤 正 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 2225-2225, 2013-08-31

DOI

常盤 塁也, 孫 泉, 上野 貢生, 三澤 弘明 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 739-739, 2013-03-11

DOI

劉 江偉, 廖 梅勇, 井村 将隆, 小出 康夫 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 1164-1164, 2013-03-11

DOI

齊藤 達也, 大長 央, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 1180-1180, 2013-03-11

DOI

北嶋 武, 中野 俊樹 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 1629-1629, 2013-03-11

DOI

吉嗣 晃治, 堀田 昌宏, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 63-63, 2013-03-11

DOI

大嶺 洋, Darius Zade, 鈴木 佑哉, 角嶋 邦之, Parhat Ahmet, 片岡 好則, 西山 彰, 杉井 信之, 筒井 一生, 服部 健雄, 名取 研二, 岩井 洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 2645-2645, 2013-03-11

DOI

梁池 昂生, 関 渓太, 滝澤 蓮, 花田 毅広, 石崎 博基, 王谷 洋平, 山本 千綾, 山中 淳二, 佐藤 哲也, 福田 幸夫 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 2677-2677, 2012-08-27

DOI

花田 毅広, 梁池 昴生, 関 渓太, 滝澤 蓮, 石崎 博基, 王谷 洋平, 山本 千綾, 山中 淳二, 佐藤 哲也, 福田 幸夫 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 2674-2674, 2012-08-27

DOI

齊藤 達也, 大長 央, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 1240-1240, 2012-08-27

DOI

小川 智弘, 江副 祐一郎, 三石 郁之, 垣内 巧也, 満田 和之, 大橋 隆哉, Putkonen Matti 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 1510-1510, 2012-08-27

DOI

吉田 鉄兵, 加藤 公彦, 柴山 茂久, 坂下 満男, 竹内 和歌奈, 田岡 紀之, 中塚 理, 財満 鎭明 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 2700-2700, 2012-08-27

DOI

清水 秀治, 嶋 航平, 迫田 薫, 百瀬 健, 霜垣 幸浩 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 2980-2980, 2012-02-29

DOI

金田 拓也, 石倉 卓郎, 池田 茂, 松村 道雄 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 3379-3379, 2012-02-29

DOI

熊野 勝文, 田中 秀治, 西野 仁, 吉田 慎哉, 江刺 正喜 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 4130-4130, 2012-02-29

DOI

大長 央, 佐藤 隼介, 小林 拓磨, 野村 亮, 平岩 篤, 川原 田洋 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 1339-1339, 2012-02-29

DOI

小倉 大樹, 本条 貴之, 早瀬 仁則 精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 883-884, 2012

...MEMS技術を用いて，シリコン基板上に触媒層，拡散層，燃料流路を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている．多孔質白金を触媒として用いてきたため，白金の使用量が多く，削減する必要がある．そこで，白金よりも廉価な多孔質パラジウム層を形成し，このパラジウム表面上に原子層レベルで白金を堆積させることを試みた．本報では，UPD-SLRR法と呼ばれる電気化学的原子層堆積手法の適用を検討した．この結果，微量の白金堆積...

DOI

森田 行則, 右田 真司, 水林 亘, 太田 裕之 表面科学 33 (11), 610-615, 2012

We fabricate ultra-thin HfO₂ gate stacks of very high permittivity value by using atomic layer deposition (ALD) and Ti-cap post deposition annealing. The HfO₂ layer is directly …

DOI Web Site 参考文献42件

入江 宏, 原田 裕一, 杉山 弘樹, 赤崎 達志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 1580-1580, 2011-08-16

DOI

村上, 秀樹, 藤岡, 知宏, 大田, 晃生, 三嶋, 健斗, 東, 清一郎, 宮崎, 誠一, MURAKAMI, Hideki, FUJIOKA, Tomohiro, OHTA, Akio, MISHIMA, Kento, HIGASHI, Seiichiro, MIYAZAKI, Seiichi 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 111 (114), 47-50, 2011-06-27

High-k/Ge界面制御手法として、極薄TiO_2層の挿入に着目し、塩酸処理したGe(100)表面上へのTiO_2の原子層制御CVDを検討した。さらに、誘電率低下の要因となるGe界面酸化層の形成の抑制を目指し、TEMAT錯体の飽和吸着と熱分解の繰り返しにより極薄低酸化TiO_x(x<2)層をGe(100)基板上に形成後、HfO_2層を原子層制御堆積した。熱処理前後でX線光電子分光法(XPS)を…

機関リポジトリ HANDLE Web Site 参考文献11件

宮崎, 英志, 合田, 祐司, 岸本, 茂, 水谷, 孝, Miyazaki, Eiji, Gouda, Takeshi, Kishimoto, Shigeru, Mizutani, Takashi 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 111 (46), 185-190, 2011-05

Al_2O_3/AlGaN/GaN MOSFETのFET特性改善のため、Al_2O_3成膜前の前処理として(NH_4)_2S(硫化アンモニウム)処理を検討した。まず初めに、Al_2O_3/n-GaN MOSダイオードを用いて、(NH_4)_2S処理の効果を検討した所、Al_2O_3成膜前に(NH_4)_2S処理を行うことでC-Vカーブの傾きが(NH_4)_2S処理なしに比べて急峻になり、界面準位…

機関リポジトリ HANDLE Web Site ほか2件 参考文献16件

辛川 孝行, 岡 正浩, 吹上 紀明, 上田 博一, 野沢 俊久 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 2929-2929, 2011-03-09

DOI

森川 祐, 野村 晋太郎, 山口 真澄, 小野満 恒二, 原田 裕一, 赤崎 達志 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 3210-3210, 2011-03-09

DOI

谷 真衣, 川村 悠実, 堀田 昌宏, 石河 泰明, 浦岡 行治 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 4291-4291, 2011-03-09

DOI