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検索結果 655 件

  • オンチップセンシング技術

    栗田 僚二, 菅井 祥加, 冨田 峻介 電気学会誌 144 (4), 205-208, 2024-04-01

    ...例えばスフェロイドやオルガノイドなどの3次元培養，微細加工技術を駆使した潅流によるorgans-on-a-chipなどが進歩し，これらの基礎研究および産業利用が報告され</p>...

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  • フェムト秒レーザー誘起表面ナノ周期構造の形成メカニズムと応用

    宮地 悟代 応用物理 93 (2), 105-108, 2024-02-01

    ...<p>フェムト秒レーザーを固体表面に複数パルス照射すると，アブレーションという剝離現象によってレーザー波長よりもずっと短い周期間隔の構造体が形成される．この構造体は光の回折限界以下の周期であることに加えて，固体表面にレーザーを照射するだけで形成されることから，微細加工技術への応用が期待されている．本稿では著者らが示してきた形成メカニズムと応用について紹介する．</p>...

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  • Ｘ線を用いたナノ繊維の構造解析

    大野 博司, 神川 卓大 SPring-8/SACLA利用研究成果集 11 (5), 354-356, 2023-10-31

    ...近年、微細加工技術が急速に発展していることに伴い、ナノメートルサイズの内部構造を広い範囲で高速に検査することが求められている。そこで、本実験では、ナノメートルサイズの微細繊維であるフィブリル（fibril）の束から構成されるとされるシルク繊維を用い、Ｘ線回折を利用した従来の内部測定手法で現状の測定速度‧精度を確認し、技術課題を抽出することを目的とする。...

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  • PCDブレード工具による微細加工技術に関する研究【第2報】

    小西 遥大, 藤田 隆, 和泉 康夫, 渡邉 純二, 福永 涼太 精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 221-222, 2023-08-31

    <p>次世代半導体であるSiC（炭化ケイ素）は高硬度であるため、ブレードダイシング加工においては延性モード加工が求められる。本研究では、フェムト秒レーザを用いて、結晶粒界からなる高密度な三次元連続切れ刃を有するPCD（焼結ダイヤモンド）ブレード工具の外周端を連続的に照射し、切れ刃を形成した後、切れ刃の結晶性を調査した。そして、4H―SiCに対して溝入れ加工評価を行い、切れ刃の鋭利性を調査した。<…

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  • リキッド・バイオプシーのためのバイオデバイス技術〜総論〜

    竹原 宏明 電気学会誌 143 (7), 389-390, 2023-07-01

    <p>1．はじめに</p><p>日本をはじめ多くの先進諸国では少子高齢社会を迎えつつあり，医療分野でのイノベーション創出が喫緊の課題となっている。バイオデバイス技術は，生体（ヒト）や生体サンプルを対象とした機器もしくはその構成要素を支える技術全般を含み，バイオテクノロジーや医療への応用を目</p>

    DOI Web Site 参考文献12件

  • ナノワイヤ・ナノポアデバイスによる超高性能細胞外微粒子解析技術

    馬場 嘉信, 有馬 彰秀, 安井 隆雄 生化学 95 (2), 201-208, 2023-04-25

    ...細胞外微粒子は外因性・内因性のものに大別され，広範な粒子種を包含する．この中でも，健康の指標となるバイオマーカーや，ウイルス・細菌に代表される感染性有害微粒子を高感度・高効率に検出することで，健康長寿社会の実現に貢献することができる．当研究室はナノ空間工学を活用した新しいバイオデバイス，“ナノバイオデバイス”の開発を推進しており，細胞外微粒子に対しても，最先端の微細加工技術と情報科学を駆使してその解析技術...

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  • 微小溶液の混合自由エネルギーを決定する仕事関係式――ジャルジンスキー等式・錬金術的操作・分子の識別可能性

    吉田 旭, 中川 尚子 日本物理学会誌 78 (3), 140-145, 2023-03-05

    ...<p>微細加工技術の発達により，マイクロメートルサイズの小さな空間に閉じ込められた溶液への注目が高まっている．溶液を微小サイズにするだけで新規な性質を引き出すことができるのか，より精細な定量的研究が必要な段階に至っている．一般に溶液の熱力学的性質を定量化するためには熱力学測定が必要であるが，従来の熱力学測定の対象はマクロ溶液に限られていた．熱力学は19世紀に確立されたマクロ系の自然現象体系だが，その...

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  • フォトニックナノジェットを用いたアブレーション加工における衝撃波を利用した加工深さのインプロセス計測に関する研究

    安田 諒, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 396-397, 2023-03-01

    ...<p>レーザ微細加工技術として，フォトニックナノジェット(PNJ)を用いたアブレーションが注目され，高精度化が求められている．PNJは，誘電体マイクロ球にレーザを照射すると発生する微小なビームである．本研究では，アブレーションで発生する衝撃波の伝搬特性に着目した加工深さのインプロセス計測手法を提案する．本報告では，PNJを用いたアブレーションを行い，マイクロ球にかかる圧力と加工深さの関係を実験的に示...

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  • PCDブレード工具による微細加工技術に関する研究

    小西 遥大, 藤田 隆, 福永 涼太, 和泉 康夫, 渡邉 純二 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 248-249, 2023-03-01

    <p>パワー半導体デバイスに必要とされるSiC(炭化ケイ素)に対し、PCD(焼結ダイヤモンド)ブレード工具を用いた微細幅の溝入れ加工を行った。ブレード回転時の静的な振れに加え、高速回転時の動的な振れをレーザ変位計で測定し、振れの挙動を抑えた。また、ピコ秒レーザ加工によりブレード先端部の鋭利な切れ刃再生を試みた。極薄ブレードによる微細溝と高密度切れ刃による鏡面状態とを得る新しい精密加工技術の実現を…

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  • 静的および動的な機械刺激による細胞の操作

    今城 哉裕 精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 494-495, 2023-03-01

    ...<p>バイオアプリケーションの発展のために細胞の操作技術の開発が必要とされている．様々なアプローチが報告されているなか，本講演では機械的な刺激による細胞操作技術に着目して複数紹介する．具体的には，金属の微細加工技術に立脚した静的な刺激と超音波アクチュエーション技術に立脚した動的な刺激による細胞の操作技術を紹介する．機械工学的な手法を用いることで非侵襲な細胞操作が可能となる．</p>...

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  • 半導体中の局在スピンとその量子技術への応用

    大野 圭司 物性若手夏の学校テキスト 1 (0), 242-254, 2023

    ...電子の閉じ込めは微細加工技術によるほか、半導体中不純物の局在状態を用いることもできる。 量子ドット素子の研究は比較的加工が容易な GaAs などの化合物半導体から始まりその後 Si に移行している。Si への移行はより長いスピンコヒーレンス時間が得られるほか、既存のシリコン技術との整合性がよくシリコン集積回路との良好な接続性が期待できるなど様々な利点がある。...

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  • MEMS加速度センサを搭載した計測震度計の開発

    内田 淳, 大井 昌弘, 大内 芳弥, 本橋 恵三 日本地震工学会論文集 23 (2), 2_58-2_70, 2023

    ...型加速度計が用いられてきたが，AD変換部，演算部，通信部の急速な技術発展とそれに伴う小型化，低価格化が実現されてきたが，センサ部は大きな変化，とりわけ低価格化は見られなかった．一方，自動車などに搭載される衝撃センサやスマートフォンには加速度センサが搭載されている．これらの加速度センサは，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）と呼ばれるもので機械要素部品や電子回路を微細加工技術...

    DOI Web Site 参考文献1件

  • 毒性評価を目的としたスフェロイド共培養可能な生体模倣システム（MPS）の開発

    島崎 猛夫, 船本 直樹, 西家 沙代, 中村 康寛, 巽 聡司 日本毒性学会学術年会 50.1 (0), O3-38-, 2023

    ...結語）我々は、微細加工技術を応用してスフェロイド・オルガノイド共培養や一方向性培地還流可能なシステムを構築し、CD63-GFP発現細胞を用いて、一方向性の培地還流を確認した。細胞毒性研究のための動物実験代替可能ツールとして、スフェロイド共培養も可能なMPSは、候補の一つであると考えられた。</p>...

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  • 透過型偏光モード変換器によるビームの偏光・位相制御

    堀之内 一貴, 矢筒 俊吾, 菊地 俊文, 片山 慶太, 東畠 三洋, 池上 浩, 吉木 啓介, 中村 大輔 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2022 (0), 215-215, 2022-09-15

    ...<p>パルスレーザを用いた微細加工技術において，ビーム断面における偏光・位相状態が加工に与える影響が注目されており，ラジアル偏光，アジマス偏光といったベクトルビームやらせん波面をもつ光渦による加工が報告されている．本研究では，空間的な偏光・位相の制御が可能で，かつ高出力のレーザにも適用可能な透過型偏光モード変換器を用いてビームの偏光・位相の制御を試みた．実験では、Nd:YAGレーザ（1064 nm）...

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  • 橋掛構造によるUVナノインプリントの充填挙動の確認

    村上 湧祐, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 99-100, 2022-08-25

    ...<p>UV-NILは現在、ナノレベルの微細加工技術として注目されている。そこでUV硬化樹脂のUV-NILモールドへの充填挙動を観察することは重要である。これはモールドの離型処理によってUV硬化樹脂の充填が阻害されるからである。本研究では、ネガ型レジストのSU-8を電子ビーム露光することにより橋掛構造を作製し、UV-NIL時の充填挙動を調べたので報告する。</p>...

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  • ファブリ・ペロー方式微細形状測定用光ファイバプローブの開発

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 服部 佑美 精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 243-243, 2022-03-02

    ...<p>微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，ファブリ・ペロー方式の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，プローブの製作方法および性能試験の結果について報告する．</p>...

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  • モノリス状イオン交換体の超純水分野への適用

    蔦野 恭平 日本イオン交換学会誌 33 (3), 51-55, 2022

    ...近年では，微細加工技術の進歩に伴い，超純水の更なる高純度化および低濃度の水質管理が求められている。我々は連通孔を持つ多孔質イオン交換樹脂（モノリス状イオン交換体）を合成し，水処理用途や合成触媒用途などへの展開を進めてきた。モノリス状イオン交換体は，粒状のイオン交換樹脂と比較して比表面積が大きいために，イオン交換速度が高いという特長を確認した。...

    DOI Web Site 参考文献8件

  • 7T対応体腔内MRIプローブの開発

    松永 忠雄, 川端 敏享, 吉田 崇, 吉岡 芳親, 李 相錫 生体医工学 Annual60 (Abstract), 211_1-211_1, 2022

    ...本研究では、独自に開発した非平面微細加工技術を応用することで、直径2 mm以下のカテーテル形状に実装され、高磁場MRIでも使用可能な細径かつ高分解能な体腔内MRSプローブを開発することを目的とする。直径2mmと細径化することで体腔内への挿入が可能となり、計測目的部位の直近に受信コイルを設置できるため高いSNRを実現できる。更に、高磁場MRIにより信号強度が大きくなる利点がある。...

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  • 高性能Si太陽電池の3次元アトムプローブ解析

    清水 康雄 応用物理 90 (10), 610-616, 2021-10-05

    ...<p>3次元アトムプローブ（APT）法は原子レベルに近い空間分解能で，試料を構成する元素の実空間分布を得る手法である．ハードウェア・ソフトウェア両面の高度化が進むことで多種多様な材料や微細なデバイス構造の有力な評価法として注目されているが，データ取得の成否は試料準備および加工のよしあしに大きく依存する．本稿では，集束イオンビームによる高度な微細加工技術を駆使したテクスチャ（非平面）上の試料切削例を紹介...

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  • 大気圧プラズマジェット照射時に動作可能な共焦点レーザー変位計の開発

    富田 丈瑠, 中澤 謙太, 平岡 尊宏, 大塚 優一, 中村 謙介, 岩田 太 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 348-349, 2021-09-08

    ...<p>大気圧プラズマジェット（APPJ）は，高密度のプラズマを局在化できることから微細加工技術へ応用されている．APPJはエッチングレートが高いことが優位点である一方で加工誤差が大きいといった課題があり，加工深さをリアルタイムに計測することが求められる．本研究では，APPJ照射環境下でその場計測が可能な共焦点レーザー変位計を開発した．APPJ照射時および非照射時における本装置の性能評価について報告する...

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  • MEMS技術を活用したセンサと環境発電

    村上 修一 精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 354-354, 2021-09-08

    ...<p>近年、半導体微細加工技術を応用したMEMSデバイスの開発が活発に行われている。MEMSデバイスは一括大量生産も可能である一方、少量生産でも高収益かつ安定したビジネスも可能である。MEMSでしか実現できない高品位化に着目して研究開発することが重要である。...

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  • 共振器オプトマグノニクス――実験を中心に

    長田 有登 日本物理学会誌 76 (8), 498-506, 2021-08-05

    ...</p><p>こういった実験結果に触発されるように共振器光による高速磁化反転や波数選択性・光による効率のよいスピン波生成の理論提案，そして微細加工技術を駆使した共振器オプトマグノニクスの実験研究などの新たな展開をみせている．このように，共振器オプトマグノニクスは光と磁気の研究に新たな舞台を提供し，いまなおスピントロニクスと量子エレクトロニクスの両面から，実験的にも理論的にもその応用が精力的に研究されている...

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  • 「幅広い材料研究を話題に」

    佐藤 正健 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 141 (7), 754-754, 2021-07-01

    ...<p>半導体および関連材料，微細加工技術，実装技術，検査技術など，電子材料関連技術の重要性はIoT時代になってますます大きくなっている。材料の多様化に加えて，材料の微細形状に基づいた機能の発現や，光技術との融合，印刷による回路形成など，関連技術との協奏的な発展により，</p>...

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  • Mie共鳴により発色する新規顔料ナノ粒子インクの創製

    杉本 泰 ホソカワ粉体工学振興財団年報 28 (0), 49-54, 2021-05-25

    ...<p>顔料や染料は色素が可視光の特定の波長を吸収する性質を利用して発色するが，経年での退色が問題となっている．これを解決すべく，周期的な構造体の反射・干渉により色を出す構造色が注目されている．しかしながら，可視域で発色するためには，金属・誘電体ナノ構造を周期配列させる微細加工技術が必要であるため，高コスト・大面積化が困難という課題がある．本研究では，周期配列構造を用いずに，単一ナノ構造そのものが発色...

    DOI Web Site 参考文献5件

  • 微小柱状構造アレイの作製におけるドライエッチングの条件検討

    山本 雅喜, 村上 直, 伊藤 高廣 精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 822-823, 2021-03-03

    ...<p>シリコン基材表面への微小な3次元構造体の作製手法として、微細加工技術であるエッチングが挙げられる。特に、シリコンの深堀ドライエッチングは微細な3次元構造体を加工するために重要な技術であり、この技術を利用することで、シリコンウエハより、樹脂成形のための鋳型を作製することも可能である。...

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  • 内側から見た中国MEMS商業化技術の点描

    前田 龍太郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 811-811, 2021-03-03

    ...現地で見聞きした５Gやシェアリングエコノミー、モバイル決済等の急速な普及が続く中国の微細加工技術に関するMEMS研究開発動向を中国に短期間滞在した筆者の個人的な経験から内側の視点で垣間見る。同時に我が国の今後のMEMS商業化技術について考える。</p>...

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  • アトムトロニクス

    内野 瞬 日本物理学会誌 76 (1), 4-12, 2021-01-05

    ...<p>ミクロとマクロの中間領域の量子現象を扱うメゾスコピック系は，物性物理において盛んに研究が行われてきた．特に，半導体等の微細加工技術を駆使したサブミクロンスケールでの制御により，バルク系では観測の難しい様々な物性が明らかとなっている．...

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  • 有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子動力学解析

    野村 紋世, 俣本 尚輝, 多田 和広 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 2P35-, 2021

    ...<p>微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている．...

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  • ヘリウムイオン顕微鏡を用いた低ダメージ観察・評価とsub-10nm微細加工技術

    小川 真一 応用物理 89 (11), 644-650, 2020-11-10

    <p>2006年，ヘリウムイオン顕微鏡（HIM）が米国で実用化されて以来，顕微鏡自体の改良とともに，その応用技術の研究開発が世界各所で行われている．HIMは1951年にE.W. Mullerらが提案した電界イオン顕微鏡（FIM）で用いられる，尖鋭(せんえい)に加工された観察用金属試料を逆にイオン源として利用した顕微鏡で，ヘリウムガス雰囲気中の尖鋭金属イオン源先端部から電界引き出ししたヘリウムイオ…

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  • 原子1個の綱引き　「電流」vs「力」――シリコン原子スイッチにおけるトンネル電流と原子間力の競合

    山崎 詩郎, 杉本 宜昭, 森田 清三 日本物理学会誌 75 (11), 677-682, 2020-11-05

    ...</p><p>「この原子を動かせ」と問われたら，手の代わりに原子の探針を使えばよい．また，原子の世界が量子力学に従っているというのなら，トンネル電流や原子間引力を活用すればよい．このように，走査トンネル顕微鏡と原子間力顕微鏡を組み合わせた新しい原子操作の技術は，ナノテクノロジーの可能性をさらに広げるものだ．シリコン元素を主成分とする小石を手で並べていた原始時代から，シリコン微細加工技術で繁栄を極めた...

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  • 3次元リソグラフィ技術を用いた微細加工

    鈴木 孝明 応用物理 89 (10), 589-593, 2020-10-10

    ...<p>半導体製造技術とそれを基盤としたMEMS技術は，3次元化が進んでいる．筆者らが提案するマイクロ・ナノ加工技術「3次元リソグラフィ法」は，ほかの方法では作製が困難な特殊な3次元微細形状を加工する技術であり，従来の機械加工技術と微細加工技術の空白領域をねらった，大面積複雑微細構造作製のための加工技術である．3次元リソグラフィ法の概要と，その応用展開として，特徴的な構造を集積化したポリマーMEMSからなる...

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  • 原子層制御したSi立体表面の創製と計測評価法の開発

    服部 梓, 服部 賢, 郭 方准, 田中 秀和 精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 29-30, 2020-03-01

    ...我々は、今回は微細加工技術(リソグラフィー)と表面科学的な表面清浄化技術を組み合わせることで、基板の表面(c軸方向)に対して垂直または傾斜角度を持つ{100}、{110}、{111}面の清浄表面、金属吸着超構造表面の作製を実現した。また立体表面の原子レベル観察をRHEED、LEED、STMにより実現しており、講演で詳細を報告する。</p>...

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  • 「光を基盤技術とした生体センシング」

    山田 憲嗣 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 140 (3), 59-59, 2020-03-01

    ...<p>近年の半導体微細加工技術・材料科学の進展により，これまでに開発・実用化されてきた光デバイスの性能を凌駕する高性能・高機能光デバイスの研究開発が進められています。フォトニック結晶や局在表面プラズモン共鳴が良い例として挙げられます。加えて開発された光デバイスは，</p>...

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  • マイクロマシン・MEMS技術の生化学分析応用

    小西 聡 日本毒性学会学術年会 47.1 (0), S24-4-, 2020

    ...中でもMEMSと呼ばれるLSI集積回路技術を発展させた微細加工技術で作られるセンサやアクチュエータは、様々な情報機器の発展に欠かせないものになっている。もともとは、集積回路基板材料であるSiを微細加工する技術から発展したMEMSであるが、微細な溝を流路に使ったり、アクチュエータを弁やポンプに使ったりする流体MEMSへの応用が早くから報告されており、生化学分野への応用も進んできた。...

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  • 有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子シミュレーション

    向川 慶汰, 河原 功弥, 多田 和広 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2020 (0), 46-, 2020

    ...<p>微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている。...

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  • FG-MOSを用いた4値全加算器におけるノイズの低減

    山﨑 亘竜, 深井 澄夫 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2019 (0), 437-437, 2019-09-19

    ...<p>近年，半導体の微細加工技術の発展にともない，チップ内部の配線量が増大している．本研究室ではFloating- Gate MOS(FG-MOS)を用いて，回路を多値化することで 配線量の削減を実現することを目標に研究を行っている．先行研究では4値全加算器のレイアウト設計およびシミュレーションを行い，所望の動作が確認された．しかし，出力波形の一部にスパイクノイズが現れる問題や，入力にのったノイズに...

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  • EDA分野におけるラボオンチップの最適設計に関する研究

    山下, 茂 DAシンポジウム2019論文集 2019 2-2, 2019-08-21

    ...ラボオンチップ（Lab-on-a-chip）とは，半導体微細加工技術や微小流体制御技術を利用したマイクロデバイスである．ラボオンチップを用いると，実験室規模で行われていた生化学実験（混合，反応，分離，検出など）の操作を，低コスト，高信頼かつ高スループットで行うことが可能となる．バイオチップの設計における最適化問題は，EDAの分野で研究されている多くの設計問題と類似点も多いため，近年EDAの分野で盛んに...

    情報処理学会

  • 超高速電子ビーム描画装置及び高精度ナノインプリント技術の開発

    尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋, 新関 嵩, 永井 佐利, 伊藤 高臣, 岡林 徹行 精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 214-215, 2019-08-20

    ...そこで、本研究では、多種多様なデバイスの作製、およびその量産に向けたナノインプリント用大面積モールドの作製に対応できる、100 nmレベルの微細加工技術を開発した。大電流用電子光学系、大面積描画フィールド用偏向器、高速偏向システム、等の最適化や新規開発を通して従来比40倍以上のスループットを有するポイント型超高速電子ビーム描画装置を開発した。...

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  • 回折限界を超えたレーザ微細加工

    池川 英輝, 山田 海, 山田 洋平, 池野 順一 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 570-570, 2019-03-01

    ...<p>レーザによる微細加工技術には回折限界があるため，波長以下の分解能で加工ができない問題がある．そこで，回折限界を超えた加工を実現するため，ガラス表面にスパッタリング法で金薄膜を成膜し，レーザを照射することで凝集させた金ナノ粒子を用い，レーザ微細加工を試みた．本報では数十ナノメートルのナノクレータ加工を行った結果について報告する．</p>...

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  • ２次元面内変位干渉計によるレーザ直線計の評価

    遠藤 獏, 韋 冬, 明田川 正人 精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 463-464, 2019-03-01

    ...<p>超微細加工技術の進展に伴い, 真直度を0.1μm以下, 角度誤差を0.1μrad以下の精度での測定が求められている. 従来, 精密測定, 精密加工分野でレーザ直線計が用いられているが, レーザ方向が空気揺らぎによって変動する問題がある....

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  • 半導体製造用ナノインプリントシステム

    伊藤 俊樹 応用物理 88 (1), 31-35, 2019-01-10

    ...<p>ナノインプリントリソグラフィ（NIL）は，ナノスケールの微細加工技術として有効な技術であることが示されてきた．本稿では，NANDフラッシュメモリやDRAMなどの先端デバイスへの適用に向け開発している新しいインプリント装置の紹介，技術開発の進捗状況，ほかの先端半導体デバイス量産装置候補よりも魅力的な生産コストで，かつ将来の要求仕様に適したインプリント技術の展望について報告する．</p>...

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  • 超小型高推力密度エレクトロスプレースラスタの研究開発

    鷹尾 祥典, 土屋 智由, 長尾 昌善, 村上 勝久 日本航空宇宙学会誌 67 (1), 5-11, 2019-01-05

    ...<p>推進剤にイオン液体を用い，微細加工技術を利用した多数のアレイ状電極からイオンビームを引き出すエレクトロスプレースラスタが注目を集めている．高圧ガス系を利用しないことによる小型化が容易な点，および，推進剤から直接イオンを引き出すため原理上100%近い推進効率を期待できる点から超小型衛星に適した推進機と目されている．また，微小な推力制御に向いた方式であるため，宇宙重力波望遠鏡の技術試験機（LISA...

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  • 体表からの生体成分および生細胞の極低侵襲採取と診断・治療への応用

    鶴岡 典子, 葉 煬, 明石 真, 松永 忠雄, 芳賀 洋一 生体医工学 Annual57 (Abstract), S131_1-S131_1, 2019

    ...皮膚微小還流による生体成分計測は外径0.2 mmのステンレス製鍼灸針表面に非平面微細加工技術を用いポリイミド製の微小流路を作製した針を用いる。この針を深さ1 mm程度皮膚に刺入・留置した状態で生理食塩水を還流すると流路表面に作製した穴から浸透圧により皮膚組織中に含まれる生体成分が流路内に侵入し、これを体外まで流すことにより生体成分を採取する。...

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  • 二次元培養から三次元培養への潮流～細胞培養技術の変遷～

    宮本 義孝, 池内 真志, 河野 菜摘子 Organ Biology 27 (1), 37-52, 2019

    ...さらに, 微細加工技術を用いて, 臓器チップ(Organs on a Chip)のようなチップやデバイスが開発され, 医薬品開発やオーダーメイド医療への活用も期待されている. そこで, 本稿では, 細胞培養技術のこれまでの歴史と二次元培養, 三次元培養の現状と今後の展望について述べる.</p>...

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  • 肺胞の３次元構造および力学的運動を再現する生体模倣システムデバイスの開発

    加地 宏乃介, 池内 真志, 生田 幸士 生体医工学 Annual57 (Abstract), S171_1-S171_1, 2019

    ...本報では、独自の3次元微細加工技術を用いて、 肺胞の3次元構造、血流、機械的運動を再現した マイクロデバイスを提案し、プロトタイプを開発した。プロトタイプは２つのマイクロ流路から構成されており、それぞれ肺胞（気相）、毛細血管（液相）を再現している。これらの流路は、直径500マイクロメートルの円形領域で、コラーゲン薄膜を介して接している。...

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  • 光刺激部および内視鏡観察部周囲に電極を配置したチューブ形状神経電極の開発と電気的評価

    池田 尚人, 鶴岡 典子, 虫明 元, 小山内 実, 大城 朝一, 松永 忠雄, 芳賀 洋一 生体医工学 Annual57 (Abstract), S67_2-S67_2, 2019

    ...電極、配線およびパッド部はセラミックチューブ表面に非平面微細加工技術を用いて作製した。計測電極を作製したチューブ形状神経電極を導電性エポキシを用いてPCBに設置した(図)。PCBにはコネクタが接続されており、電気特性の測定や信号処理をする機器へ接続される。神経電極をラットの脳の体性感覚野に刺入し、0.5~200 Hzにおいて時間に対する脳の電位変化を記録できた。</p>...

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  • 測定対象面への付着防止を目的としたスタイラス接触子への帯電防止および撥水コーティングの効果

    内山 晃介, 村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 山本 隆彦, 永田 良介, 藤吉 国孝 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 618-619, 2018-08-20

    ...<p>微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，表面間力による測定対象面への付着防止を目的とした接触子への帯電防止および撥水コーティングの性能試験の結果について述べる．</p>...

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  • 水蒸気添加水素プラズマによる金属銅の高速ドライエッチング

    白數 佳紀, 垣内 弘章, 安武 潔, 大参 宏昌 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 723-724, 2018-08-20

    ...<p>銅は、廉価で電気抵抗が低いことから、種々の微細デバイスの基本構成材として用いられており、その微細加工技術は先端産業を支える礎となっている。我々は、環境負荷の小さな銅の高速ドライエッチング技術の開発を目指し、高圧水素プラズマの適用を目指した研究を進めている。今回は、水蒸気を添加することにより、エッチングレートの大幅な向上が見られ、そのエッチング特性のパラメータ依存性を調査したので報告する。...

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  • 極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

    横山 力也, 村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 吉田 一朗, 浜野 康雄, 本田 裕, 内山 晃介 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 586-587, 2018-08-20

    ...<p>微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，測定装置内部に無風タイプのイオナイザを設置することで静電気力による付着防止を検討した結果について述べる．</p>...

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  • 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第6報）

    橘 一輝, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲 精密工学会学術講演会講演論文集 2018A (0), 600-601, 2018-08-20

    ...<p>基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，高感度性や高速計測性といった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，空間位相変調素子を用いた高感度検出装置を設計，構築し，その装置による検出特性を実験的に検証した結果を示す．</p>...

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  • カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開

    橋口 原, 杉山 達彦, 年吉 洋 応用物理 87 (6), 436-440, 2018-06-10

    ...<p>半導体微細加工技術で作製されるシリコンを素材とした微小振動素子に，半永久帯電を与えるエレクトレット膜を形成する技術を開発した．この技術は振動子構造作製後，カリウムイオンを導入した酸化膜を表面に形成し，その後550°C程度の温度で振動子電極間に電圧を印加することで帯電させる．そのアプリケーションとして現在開発に注力している環境振動発電素子について説明するとともに，MEMS素子として実現可能となる...

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  • 世界が驚く日本の微細加工技術(第5回)医療ロボットを支える精度2μm

    片山 和也 日経ものづくり (764) 120-122, 2018-05

    ...医療ロボットを設計通りに機能させるためには、多彩な微細加工技術が必要となります。例えば、図2は外径が⌀0.08mm、突き出し長さが約0.8mmの微細長尺品のサンプルです。旋盤加工して造ったのですが、この技術は医療ロボットの駆動部品に応用されています。...

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  • ファブリ・ペロー方式微細形状測定用光ファイバプローブの開発（第1報）

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 横山 力也, 内山 晃介 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 165-166, 2018-03-01

    ...<p>微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，ファブリ・ペロー方式の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，有限要素法およびFDTD法を用いたシミュレーションによる測定原理の確認およびスタイラス構造の検討結果について述べる．</p>...

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  • DUVレーザによる微細加工技術開発

    今宮 悠治, 赤間 知, 藤田 善仁, 二井谷 春彦 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 591-592, 2018-03-01

    <p>近年、レーザ加工技術は産業用途に広く採用されている。穴あけなどの微細加工では、短パルスレーザを用いることで高品質な加工が可能であるが、微細度の向上が求められている。三菱重工工作機械(株)では、加工分解能の向上が期待できる深紫外レーザ光学系を開発し、微細レーザ加工機“ABLASER-DUV”に搭載した。穴あけ試験を実施した結果、穴直径最小10μm、アスペクト比最大10の超微細穴加工を実現した…

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  • 微細形状測定用ファイバスタイラスの製作

    内山 晃介, 村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 山本 隆彦, 永田 良介, 藤吉 国孝 精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 121-122, 2018-03-01

    ...<p>微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，表面間力による測定対象面への付着防止を目的とした接触子への撥水コーティングの性能試験およびスタイラス耐久試験の結果について述べる．</p>...

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  • 超伝導人工原子と電磁場の相互作用～強結合のその先へ～

    布施 智子, 吉原 文樹, 角柳 孝輔, 仙場 浩一 日本物理学会誌 73 (1), 21-26, 2018-01-05

    ...</p><p>回路量子電磁力学（circuit QED）は，cavity QEDの原理を回路上の共振器および人工原子で実現する．circuit QEDでは半導体微細加工技術による回路の作製が可能であるため，共振器，人工原子，および両者の間の相互作用を比較的自由に設計することができる．...

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  • ナノクリスタルによる医薬品粒子のマイクロアーキテクチャ

    丹羽 敏幸 ファルマシア 54 (1), 41-45, 2018

    ...アーキテクチャ（建築学）， 薬学領域では耳慣れない用語であろう．ナノテクと称される超微細加工技術が脚光を浴び，製薬領域でもナノクリスタル（ナノメーターサイズ結晶）に注目が集まって久しい．著者はこれまで，粉砕工程を起点とする医薬品粒子の設計に従事してきた．医薬品結晶を極限まで微細（サブミクロン）化し， それをレゴ・ブロックがごとく，再度マイクロメーターサイズの粒子へと組み立てる．医薬品特有の微粒子設計...

    DOI 医中誌

  • Emerging Biz 半導体 TSMC、30年目の岐路 新経営陣の前に難題

    日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation (1187) 118-121, 2018-01

    ...微細加工技術の進展とそれによる設備投資額の高騰。こうしたトレンドを追い風に台湾TSMC（台積電）社は、半導体業界の中核企業となった。しかし同社といえども盤石ではない。会社の寿命は30年とも言う。環境変化に応じて事業を変えなければならない。...

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  • 非慣性系のスピントロニクス

    松尾 衛, 齊藤 英治, 前川 禎通 日本物理学会誌 72 (9), 641-648, 2017-09-05

    ...</p><p>近年の微細加工技術の進展に伴い，固体中にナノ構造を作り込むことによってスピン流の制御が可能となり，スピン流を媒介とする様々な物性現象が精力的に研究されるようになった．特に物質中の様々な角運動量とスピン角運動量の相互変換機構という観点からスピン流を包括的に取り扱おうという機運が高まってきた．これまでに電磁場の運ぶ角運動量，電子の軌道運動に伴う角運動量，磁性体の磁気ダイナミクスに伴う磁気的角運動量...

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  • MTJ/MOSハイブリッド回路技術

    羽生 貴弘 応用物理 86 (8), 662-665, 2017-08-10

    ...<p>不揮発性記憶機能を有する磁気トンネル接合（MTJ）をCMOS集積回路に内蔵させた新しい集積回路アーキテクチャ「MTJ/MOSハイブリッド回路技術」を示し，超微細加工技術の進展に伴い従来型CMOS集積回路で一層深刻となっている電力消費増大の問題が，この集積回路アーキテクチャにより解決できる原理とその回路構成の具体例を紹介する．</p>...

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  • 非線形マイクロ・ナノメカニカル共振器の物理と応用

    山口 浩司 日本物理学会誌 72 (8), 554-562, 2017-08-05

    ...<p>ここ10年ほどの間，最先端の微細加工技術を用いて作製した微小なメカニカル共振器に関する研究が大きな広がりを見せている．微小メカニカル共振器はそのサイズに応じてマイクロメカニカル共振器，あるいはナノメカニカル共振器と呼ばれるが，微細化のメリットは周波数を高くできることにある．素子応用などを考えた際，周波数が高くできるということは，それだけ動作速度を早くできるということであるが，一方，基礎物理の側面...

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  • 液体金属流体におけるスピン流発電

    松尾 衛 応用物理 86 (1), 31-35, 2017-01-10

    ...<p>スピントロニクスにおける最重要課題の1つが，スピンの流れ「スピン流」の生成制御である．近年の微細加工技術の進展によって，スピン流を媒介とする多様な物性現象が探索されている．本稿では，スピン流を媒介して液体金属流体運動から電圧を発生する「スピン流体発電」を紹介する．回転体中に普遍的に現れる相互作用，スピン回転結合により，物体の力学的角運動量とスピンとが相互変換される．その結果，細管に流した液体金属中...

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  • 添加ガスを加えた大気圧プラズマジェット局所照射によるサブマイクロスケール加工

    森松 大亮, 杉本 啓光, 中村 篤志, 荻野 明久, 永津 雅章, 岩田 太 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 83-84, 2017

    ...我々はナノピペットと呼ばれるサブミクロンの開口を持つ先鋭ガラス管をAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた新規な微細加工技術を開発した。本研究では生成したヘリウムAPPJへ別のガスの微量添加による表面微細加工を行ったのでその結果を報告する。...

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  • ポリマブレンドと物理テンプレートを用いた自己組織化周期構造の作製法

    割澤 伸一, 中村 高道, 福井 類 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 97-98, 2017

    ...ポリマの自己組織化を利用した微細パターニングは、ボトムアップ型の微細加工技術の一つとして、注目されている。一方、ポリマブレンドに関する研究は古くから行われているが、ポリマブレンドを微細パターニングに応用した研究例は少ない。本研究では、ポリマブレンドにおいて自己組織化を行い、物理テンプレートによる誘導によってナノメートルスケールのピッチ及びシリンダ直径を持つ微細周期構造の作製法を提案する。...

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  • 光学メタマテリアル（キーノートスピーチ）

    梶川 浩太郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 91-92, 2017

    ...微細加工技術の進歩などにより、負の屈折や超解像など様々な現象が報告されている。このように、特異な光学的性質を有するメタマテリアルであるが、近年研究が進んできた光学クローキングと光吸収体に関する研究について紹介する。...

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  • Euを含むBiS<sub>2</sub>系化合物単結晶の育成と物性評価

    鈴木 皓司, 田中 将嗣, 長尾 雅則, 竹屋 浩幸, 高野 義彦 日本物理学会講演概要集 72.1 (0), 2231-2231, 2017

    ...<p>Euを含むBiS_2_系化合物EuFBiS_2_，Eu_3_F_4_Bi_2_S_4_は，Euが混合価数をとるために元素置換によるキャリアドープ無しでも電気抵抗率が低く，極低温では超伝導発現の報告さえある．しかしながら，それらの測定はサンプルに多結晶を用いた報告のみであり，再現性も得られていない．そこで今回は，これらの化合物の単結晶の育成を試み，単結晶X線回折による構造解析および微細加工技術による...

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  • ナノコーティングリソグラフィー法

    久保 若奈 日本写真学会誌 80 (4), 289-291, 2017

    ...<p>トップダウン加工技術が有する高スループット性と，ボトムアップ技術が示す高解像性を併せ持つ微細加工技術，ナノコーティングリソグラフィー法について紹介する．薄膜の塗布と被膜の選択的除去のプロセスからなるこの手法は，ナノフィン構造やナノピラー構造など，金属ナノ構造体配列の簡便な作製を可能にする．ナノ構造体は金属であるため，導電性を有し，また形やサイズに応じた特定の波長域にプラズモン共鳴を示す．本稿では...

    DOI Web Site

  • 次世代バイオ分析のための集積マイクロ流体デバイスの開発

    田中 陽 分析化学 66 (7), 487-494, 2017

    ...<ruby>掌<rt>てのひら</rt></ruby> サイズの小さな基板上にマイクロ・ナノ流路を微細加工技術によって作製し，そこに多様で複雑な化学・生化学実験プロセスをミクロ集積化したマイクロ流体チップが注目されている．これは，電子・情報工学分野における集積回路の概念を化学や生物などのウェット系実験プロセスに展開したものであり，試料・廃液量の低減，分析時間の短縮等，様々な利点がある．これらを活かし...

    DOI Web Site Web Site ほか1件

  • 総論：光操作技術の限界を打ち破る

    金森 義明 電気学会誌 137 (6), 344-345, 2017

    ...<p>1．はじめに</p><p>メタマテリアルやプラズモニクス構造は，入射波長よりも小さなサブ波長構造で構成され，微細加工技術を駆使して実現される新しい人工光学材料である。メタマテリアル・プラズモニクス構造のもつユニークな電磁波モードと入射波との相互作用により，これまでの光操作技術の限界</p>...

    DOI Web Site 参考文献1件

  • 三次元神経活動記録のための積層尖鋭化シリコン神経プローブアレイの開発

    原島 卓也, 森川 拓実, 木野 久志, 福島 誉史, 片山 統裕, 虫明 元, 田中 徹 生体医工学 55Annual (3AM-Abstract), 189-189, 2017

    ...本神経プローブアレイは半導体微細加工技術を用いて作製しているため、高い電極密度と位置合わせ精度を実現している。試作した積層尖鋭化シリコン神経プローブアレイの刺入特性を評価したところ、尖鋭化していないものに比べて優れた刺入特性を示すことを確認した。...

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  • 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第6報）

    浅井 祥平, 橘 一輝, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 81-82, 2017

    ...基板上微細加工技術の進歩に伴い求められている，製造プロセス中で平滑基板上ナノ異物を高感度，高速，非破壊的に検出する方法として，我々は不活性揮発性液体を計測プローブとする新しい概念の光学的手法を提案している．提案手法のナノ異物検出特性を把握するためには液相プローブ挙動の定量的な理解が不可欠である．そこで本報では数値流体力学を用いて，ナノ異物周りでの液相プローブ挙動特性の解析を試みた．...

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  • 極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 吉田 一朗, 浜野 康雄, 本田 裕, 内山 晃介 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 269-270, 2017

    ...微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，測定領域の拡大を目的とした光学系の改良について述べる．...

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  • 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第5報）

    橘 一輝, 浅井 祥平, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲 精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 257-258, 2017

    ...基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，高感度性や高 速計測性といった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，落射照明型位相差顕微鏡を用いた液相界面挙動高感度観察装置を構築し，検出特性の実験的検証，および通常観察と比較した結果を示す．...

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  • 周期構造とバクテリア乱流の共鳴による渦格子形成と反強磁性秩序

    西口 大貴, Sokolov Andrey, Aranson Igor S. 日本物理学会講演概要集 72.1 (0), 3312-3312, 2017

    ...具体的には、微細加工技術により作製した微小な柱を格子状に並べた構造にバクテリア乱流を出会わせたときの振る舞いを調べた。ある特定の格子定数においてバクテリアの作る渦が安定化される共鳴現象が見られ、このときの渦が反強磁性秩序を持つことが分かった。</p>...

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  • 7×7清浄面を持つ3次元Si{111}ファセット面の創製

    服部 梓, 竹本 昌平, 服部 賢, 大門 寛, 田中 秀和 日本物理学会講演概要集 72.1 (0), 2457-2457, 2017

    ...今回は微細加工技術と表面清浄化技術を組み合わせ、Si(110)表面上に57.6⁰の傾斜を持つ{111}7×7 facet面の作製に成功したので報告する。作製した試料表面は、(11-1) 面、(111)面と、2つの面が交わった[1-10]方向にstepが存在する。</p>...

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  • とぴっくす：　イオンビーム照射によるフッ素系高分子材料の微細加工

    喜多村 茜, 小林 知洋 放射線化学 104 (0), 29-, 2017

    ...フッ素系高分子材料は，耐化学薬品性が高いがゆえ，従来の微細加工技術が適用できない．そこで，放射線には容易に分解される特性を利用した微細加工技術の研究が進められている．我々は放射線の中でもイオンビームに着目し，イオンビームがもたらす多様な照射効果を利用した新しい微細加工技術の開発に取り組んできた．イオン注入法では，PTFE表面に金型を利用することなく，照射だけで芝生のような微小突起が密集した構造面を作製...

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  • 新規人工聴覚器（人工聴覚上皮）の開発

    伊藤 壽一 Ｏｔｏｌｏｇｙ　Ｊａｐａｎ 27 (5), 671-676, 2017

    ...</p><p>我々は超微細加工技術であるMEMS／NEMSの進歩に着目し、生体における有毛細胞の役割、すなわち、物理的な刺激である音響刺激を神経信号（電気信号）に変換する役割を再現できる新規人工聴覚器を開発した。我々は本圧電素子膜を有する新規人工聴覚器を「人工聴覚上皮、HIBIKIデバイス」と名付けた。...

    DOI 医中誌

  • 高い耐放射線特性をもつ冷陰極真空管型撮像素子

    三村 秀典 応用物理 85 (1), 15-20, 2016-01-10

    ...<p>原子炉内などの高放射線環境下での撮像が求められている．真空管である撮像管は半導体撮像デバイスより耐放射線特性に優れている．しかし，従来の撮像管には熱陰極が使われているため，小型・軽量・低消費電力化が困難である．近年，微細加工技術を用いて，冷陰極である電界放出微小電子源アレイ（FEA）の開発が行われている．熱陰極の代わりにFEAを用いると，撮像管の長所を保ちながら，その欠点を克服したFEA平面撮像管...

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  • MEMS 技術を用いた超小型道管流センサ

    越智 誠, 矢野 裕也, 寺尾 京平, 鈴木 孝明, 高尾 英邦, 小林 剛, 片岡 郁雄, 下川 房男 日本生態学会誌 66 (2), 465-475, 2016

    ...提案した超小型道管流センサの実現に向け、半導体微細加工技術を応用したMEMS技術（micro electro mechanical systems, MEMS）を駆使して、センサの主要な構成要素であるマイクロプローブ、温度センサ（pn接合ダイオード）、薄膜ヒ－タ等を凡そ5 mm角のSiチップ上に機能集積化したプロトタイプの製作に成功した。...

    DOI DOI 日本農学文献記事索引 ほか1件

  • 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第2報）

    橘 一輝, 浅井 祥平, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲 精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 1-2, 2016

    ...基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な特性を持った基板上ナノスケール異物の検出法が求められている．そこで我々は，高感度性，高速計測性，非破壊性，広い計測レンジといった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，異物周辺に収束する液相薄膜における光学応答をFDTD法により解析し，理論的な異物検出特性を検証した...

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  • 微細加工基質を利用した力学的側面からの細胞機能計測・制御技術の開発

    長山 和亮 精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 739-740, 2016

    ...我々はこれまでに，微細加工技術で作製した微細な凹凸を有する基板（マイクロピラー基板）を使って，力学的側面からの細胞機能を計測・制御する技術の開発を目指している．今回は，この基板上での細胞の運動や増殖性の変化を詳しく解析した．微細突起基板を用いることで，細胞種による運動性の違いから，細胞の硬さや細胞核の硬さを定量的に評価する手法を確立した．これによって健全な細胞とがん細胞では核の硬さに大きな違いが見られることを...

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  • CO<sub>2</sub>レーザを用いた微細三次元形状測定用極小径光ファイバプローブの製作

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生 精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 431-432, 2016

    ...微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，アーク放電，CO<sub>2</sub>レーザを用いたスタイラス接触子の製作方法の検討結果について述べる．...

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  • 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報）

    橘 一輝, 浅井 祥平, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲 精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 405-406, 2016

    ...基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，高感度性や高速計測性といった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，液相からの反射光の位相変動を利用した高感度観察装置を提案し，検出特性をシミュレーション及び実験的に検証した結果を示す．...

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  • 純スピン流生成プローブの開発

    保原 麗, 秋山 了太, 長谷川 修司 日本物理学会講演概要集 71.2 (0), 1090-1090, 2016

    ...<p>半導体微細加工技術を用いてAFMプローブ様の純スピン流を注入できるプローブを開発した。電流を伴わずにスピン流を注入するにはマイクロ波等を用いるしか方法がなかったが、このプローブにより電流を伴わずに、局所的にスピン流を注入することが可能となる。本講演ではプローブの詳細および多探針STMと純スピンプローブを用いたスピン注入の実際について報告する。</p>...

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  • 電子ビーム露光によるロール表面への描画特性

    高野 雄太, 谷口 淳 精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 255-256, 2016

    ...微細加工技術としてNIL(Nano Imprint Lithography)が注目されているが、従来のものではモールドを平面状に作製するためパターンの転写が連続的に行えないというデメリットがある。そこで、本研究では転写を連続的に行うために、Roll to Roll技術に使用できるロール状モールドの表面へ描画し、ナノオーダーのドットパターンの描画に成功した。...

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  • オンチップ細胞診断・機能デザインプラットフォーム

    柴田 隆行 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 418-, 2016

    ...このためには，生命活動の基本単位である細胞をターゲットとした新規な精密計測・微細加工技術の確立が希求の課題となっている。本講演では，細胞の機能発現過程を時間的・空間的に可視化し，さらには，細胞機能を人為的に制御（機能デザイン）するための種々の細胞診断・機能デザイン用MEMSデバイスについて紹介する。...

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  • 1分子蛍光顕微鏡による1細胞内遺伝子発現の可視化

    谷口 雄一 顕微鏡 50 (2), 81-85, 2015-08-30

    <p>1つ1つの細胞で行われる遺伝子発現は確率的であるため，各細胞に存在する遺伝子発現産物の量は，例えゲノムが等しくても不均一となり，さらに時々刻々と変動する．しかしながら，低コピー数のタンパク質の発現や，発現量の微小なばらつき・ゆらぎなどを測定することは，一般的な遺伝子発現の測定手法では感度面において難しい．このため筆者らは，1分子イメージング技術を応用し，1細胞の遺伝子発現の動態を定量的に解…

    DOI Web Site 医中誌

  • デジタルバイオデバイス ─網羅的1分子・1細胞解析に向けて─

    民谷 栄一 分析化学 64 (6), 397-411, 2015

    ...デジタルバイオデバイスは，1分子及び1細胞の計測を基盤として開発されるが，1分子及び1細胞DNAポリメラーゼ連鎖反応（PCR）を行うための微小チャンバーアレイがシリコン半導体微細加工技術を用いて作成した．シリコン異方性エッチングを用いて逆ピラミッド構造で内部が親水性，外表面が疎水性の85 pLの容積，集積密度10000 cm<sup>－2</sup>の微小チャンバーアレイを作成し，PCRヘと適用できた...

    DOI Web Site Web Site ほか1件 被引用文献2件

  • マイクロ光造形法による3D微細加工技術

    生田 幸士 生体医工学 53 (Supplement), S126_02-S126_02, 2015

    1990年台初頭のマイクロマシン，MEMS分野はまだ加速度などセンサー研究が中心で，シリコン半導体技術が一般的であった．筆者のようにバイオ，医療への応用はまれであった．バイオ分野では細胞や液体を扱う必要があるため，シリコンによる平面構造では実現不可能で，立体（3D）構造を持つMEMSが必須となった．そこで光造形法にヒントを得た「積層造形法」によるアプローチを考案した．ただし，サイズが従来より3桁…

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  • マイクロマシニング技術によるマイクロプローブの応用（キーノートスピーチ）

    桑野 博喜 精密工学会学術講演会講演論文集 2015A (0), 317-318, 2015

    ...半導体微細加工技術を主として用いるマイクロマシニング技術は、走査型顕微鏡のマイクロプローブに用いられるなど科学的にも工業的にも重要なキー技術である。本講演では、走査型近接場光学顕微鏡および走査型熱顕微鏡や集束イオンビーム装置などを例にとり、集積化が容易であるSiマイクロマシニング技術を適用したマイクロプローブの例と今後の展開について述べる。...

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  • 高集積マイクロアレイ研究開発の現状と動向

    上野 真吾, ビヤニ マニッシュ, 佐藤 秀介, ラジ・クマール スバシニ, 倉持 宏実, 赤木 貴則, 一木 隆範 分析化学 64 (6), 421-429, 2015

    ...核酸解析用ツールとして普及が進んでいる．一方で，ペプチド，タンパク質などデオキシリボ核酸（DNA）以外の生体分子を集積する技術には多くの課題が残されており，当初，マイクロアレイに期待されたイノベーションはいまだ部分的な達成に留まっている．2000年以降，タンパク質の合成や精製における多大な手間とコストの課題を解決する目的で，無細胞合成系を用いる新たなタンパク質アレイ製造技術が提案されてきた．近年になって，微細加工技術...

    DOI Web Site Web Site ほか1件 参考文献3件

  • 微細加工技術を用いたマイクロ磁気刺激システムの構築

    大岩 孝輔, 榛葉 健太, 湯ノ口 万友, 小谷 潔, 神保 泰彦 生体医工学 53 (Supplement), S188_01-S188_01, 2015

    Neuromodulation is one of the ways to treat neurological diseases. As for the electrical stimulation to nervous system, it is necessary to embed electrodes in the body and it is desired to develop …

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  • マイクロ光造形法による３Ｄ微細加工技術

    生田 幸士 生体医工学 53 (Supplement), S324-S324, 2015

    1990 年台初頭のマイクロマシン，ＭＥＭＳ分野はまだ加速度などセンサー研究が中心で，シリコン半導体技術が一般的であった．筆者のようにバイオ，医療への応用はまれであった．バイオ分野では細胞や液体を扱う必要があるため，シリコンによる平面構造では実現不可能で，立体（３Ｄ）構造を持つＭＥＭＳが必須となった．そこで光造形法にヒントを得た「積層造形法」によるアプローチを考案した．ただし，サイズが従来より３…

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  • 電磁誘起透明化を実現する光メタマテリアル（キーノートスピーチ）

    金森 義明 精密工学会学術講演会講演論文集 2015A (0), 389-390, 2015

    ...本講演では，著者のグループが製作した電磁誘起透明化（EIT）メタマテリアルの製作例を述べる．超微細加工技術を用いて超微細かつ高精細にEITメタマテリアルを製作することで，近赤外および可視域の青，緑，赤の各波長において疑似EIT特性の観察に成功した．...

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  • 聴覚用MEMS音響共振子の構造化の検討

    水野 圭司, 竹内 啓貴, 花田 修賢, 小野 俊郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2015A (0), 915-916, 2015

    ...本研究では、Siの微細加工技術を用いて人の聴覚器官の聴毛をモデルとした、聴覚用MEMS音響振動子の構造化と評価を行なった。薄板はり振動子と固定ブロックを複合化すると共振振動数ずれが生じた。固定ブロックも設計要素であることがわかった。また、薄板はりの構造を工夫して複数の共振振動数を持つセンサができることが確認できた。...

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  • 真空ナノエレクトロニクスに期待する

    三村 秀典 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 363-, 2015

    ...真空ナノエレクトロニクスは半導体微細加工技術を用い、新規な真空デバイスを研究開発する学術領域で、固体デバイスでは実現が困難なデバイスの開発が行われている。本講演では、真空ナノエレクトロニクスの利点と現在開発が行われているデバイスを紹介し、真空ナノエレクトロニクスへの期待について述べる。...

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  • ナノバイオデバイスが拓く未来医療・創薬

    馬場 嘉信 ファルマシア 51 (8), 747-749, 2015

    ...ナノテクノロジーは，半導体微細加工技術や自己組織化技術により，原子・分子サイズで精密にサイズを制御したナノバイオデバイスを開発することができる．私の研究室は，ナノテクノロジーを駆使して，医工薬などの異分野融合の基礎研究を展開するとともに，産学連携による医療・創薬応用可能なナノバイオデバイスの実用化を進めており，ナノポア1分子DNAシークエンシング※，単一分子計測・単一細胞計測に基づくがん超早期診断と...

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  • FIB/SEMトモグラフィー法による三次元再構築の特徴

    太田 啓介, 金澤 知之進, 中村 桂一郎 顕微鏡 49 (3), 161-165, 2014-12-30

    ...<p>FIB/SEMトモグラフィー法はSEM連続スライス観察による生体組織の三次元再構築法の一つであり，その特徴は試料切削に収束イオンビーム（FIB）を用いる点にある．FIBで切削した試料表面は比較的帯電し難く，導電性の低い様々な生体組織観察に応用可能である．また，本手法はFIBという歴史のある微細加工技術を用いることで，電子線トモグラフィー法に準ずる高い分解能の三次元構造解析や，骨などの硬組織の観察...

    DOI Web Site 医中誌

  • 遅延ばらつき許容量を調整できるRDRアーキテクチャ向け高位合成手法

    萩尾, 勇太, 柳澤, 政生, 戸川, 望 DAシンポジウム2014論文集 2014 55-60, 2014-08-21

    ...LSI の微細加工技術の進歩により，配線遅延の拡大や製造時の遅延ばらつきによるタイミング違反が問題となっている．とりわけ配線遅延がゲート遅延と比較して相対的に増加しており，高位合成段階でいかに配線遅延を取り扱うかが鍵となる．また，製造時の遅延ばらつきに対応するために，従来は過剰なマージンの挿入，統計的静的遅延解析などが適用されてきたが，近年は性能低下しない手法としてチップ製造後の回路チューニングが提案...

    情報処理学会

  • 極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 末松 拓也, 徳王 成海, 福田 光良 精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 83-84, 2014

    ...微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，接触子直径1μmの極小径スタイラスを用いた際のFDTD法による光学シミュレーションの解析結果および各評価実験の結果について述べる．...

    DOI

  • マイクロ培養デバイスを用いた幹細胞の神経分化・成熟過程の評価

    榛葉 健太, 酒井 洸児, 高山 祐三, 小谷 潔, 神保 泰彦 精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 455-456, 2014

    ...幹細胞由来の神経細胞は，細胞移植治療における細胞ソースとして注目されている．しかし，既存の成熟した神経細胞との結合が，分化・成熟途中の神経細胞に与える影響は評価されていない．本研究では，微細加工技術を用いて，2種類の神経細胞を共培養するためのマイクロ培養デバイスを構築した．デバイス内で，生体より採取した神経細胞と幹細胞由来の神経細胞を培養し，両者の結合形成を電気活動から評価した．...

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  • 細胞外マトリックスを規範とする高分子ナノシートの創製と生体組織工学への応用

    藤枝 俊宣 高分子論文集 71 (9), 408-417, 2014

    ...医療材料の開発は重要である．我々の生体組織を鑑みると，細胞外マトリックス(ECM)と呼ばれる巨大な分子集合体が細胞集団の足場となることで生体組織の配向や分画を制御しており，理想的な組織工学材料と言える．そこで，筆者らはサブセルラーサイズ(数十～百nm)におけるECMの構造と機能を高分子超薄膜(ナノシート)上に再現することで，生体組織工学へのナノシートの応用を検討した．本報では，生体高分子の自己組織化や微細加工技術...

    DOI Web Site 参考文献27件

  • 磁性細線を用いた超高速記録デバイスの研究

    宮本 泰敬, 奥田 光伸, 宮下 英一 映像情報メディア学会誌 68 (1), J34-J40, 2014

    ...スーパーハイビジョンなどの超高速・大容量データを非圧縮で記録するには，現状の記録デバイス単体の性能は充分ではなく，複数の記録デバイスを並列動作させる必要があるため，装置の大型化や大消費電力が問題となる．半導体微細加工技術を用いて作製した磁性細線では，その長さ方向に電流を流すことで情報を記録した磁区を高速駆動できることがわかってきた．この磁性細線を複数並列に配置し，それぞれに記録・再生ヘッドを設置して...

    DOI Web Site 参考文献5件

  • 微細凹凸溝によるPC12細胞の神経突起の伸長方向制御

    古川 英典, 角田 陽, 中楯 浩康, 青村 茂 精密工学会学術講演会講演論文集 2014A (0), 85-86, 2014

    ...本研究の最終目的は，びまん性軸索損傷等の頭部外傷時の脳損傷の発生メカニズムを神経細胞レベルで解明することである．そのために神経突起を伸長したPC12細胞に対する衝撃試験により耐性評価を行う．実際の頭部の脳神経細胞には配向性があるため，PC12細胞でも神経突起の方向を制御する必要がある．そこで，微細加工技術により作製した細胞の大きさに近い微細凹凸溝をもった培養面上で培養することで神経突起の伸長方向制御...

    DOI

  • 単一細胞レベルでの遺伝子発現の多様性

    谷口 雄一 日本微生物生態学会誌 29 (1), 3-8, 2014

    単一細胞のレベルでは内在するmRNA数とタンパク質数とがたえず乱雑に変動している。このため,ひとつひとつの細胞は,たとえ同一のゲノムをもっていても,それぞれが個性的な振る舞いを示す。こうした乱雑さは生物の大きな特徴であり,これを利用することで細胞の分化や異質化を誘導したり,環境変化に対する生物種の適応度を高めたりしていると考えられている。我々は,モデル生物である大腸菌について,単一細胞レベルでの…

    DOI Web Site

  • 流れ刺激による血管ネットワーク形成のイメージング解析

    須藤 亮 日本血栓止血学会誌 24 (6), 576-581, 2013

    ...血管形成は生理的および病理的状態において重要な現象であり，盛んに研究が行われている．血管ネットワーク形成は3次元的な形態形成であるため，従来型の培養ではイメージング解析が難しかった．しかし，近年微細加工技術を利用して開発されたマイクロ流体システムでは，血管が伸長していく様子を詳細に観察することができる．また，マイクロ流体システムでは様々な微小培養環境を調節可能であり，血管形成のイメージング解析にも適...

    DOI 医中誌 参考文献22件

  • パルスCO<sub>2</sub>レーザを用いたガラス微細穴形成技術

    中村 玲王奈, 桂 智毅, 藤川 周一, 真柄 卓司, 稲川 貴大, 青野 祐子, 戸倉 和 精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 587-588, 2013

    ...従来ガラスへのレーザ微細加工技術は、UVレーザを中心に開発が進められてきた。一方、産業界での実績に優れたCO<sub>2</sub>レーザが適用できれば、高生産性、コストメリットが期待できる。本報では、パルスCO<sub>2</sub>レーザを使用したガラス材料への高速微細穴形成技術について報告する。...

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  • 光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

    村上 洋, 甲木 昭雄, 佐島 隆生, 末松 拓也 精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 901-902, 2013

    ...微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，微小径の光ファイバプローブを用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，FDTD法による光学シミュレーションを用いることで，本システムで使用可能なスタイラス最小径の検討結果，およびウェットエッチングによる直径1μm以下の小径スタイラス製造の実験結果...

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  • 医療用マイクロ化学センサ(ヘッドライン:医療現場を支える化学)

    芳賀 洋一 化学と教育 61 (11), 526-529, 2013

    ...半導体などに用いられる微細加工技術によって,小さく高機能なマイクロ化学センサが実現し,用いられている。小型(マイクロ)である利点を活かした生体計測について,検体計測,体内計測,および体表におけるウェアラブル体外計測に分けて,実例を紹介しながら代表的なマイクロ化学センサの種類とその動作原理を述べる。...

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  • 極微小デバイスを用いた生体分子・細胞・組織の顕微操作と解析

    新田 英之, 東山 哲也 ＰＬＡＮＴ　ＭＯＲＰＨＯＬＯＧＹ 25 (1), 61-66, 2013

    ...近年顕微鏡技術の発達により，生きたままの組織や細胞内を観察するライブイメージングが可能となった．一方で，観察対象を自由自在に操作することを目的としたハンドリング技術には多くの課題が残されていた．MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）に代表される微細加工技術では，組織や細胞と同じサブミクロンスケールの微小な実験システムをカスタムメイドで製作することが可能である．本総説...

    DOI 参考文献35件

  • 4値加算器における生成回路部分の比較

    畑石 和慶, 下田 和馬, 深井 澄夫, 清水 暁生, 石川 洋平 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2013 (0), 164-164, 2013

    ...近年の半導体微細加工技術の発展に伴い，LSI内の配線量の増加が問題となっている。この問題の解決手段として，多値論理システムが提案されている。我々は，標準CMOSプロセスで製造可能なFloating Gate(FG)-MOSFETを用いて多値論理回路の設計を行っている。...

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  • FG-MOSFETを用いた4値マイコンの設計

    下田 和馬, 畑石 和慶, 深井 澄夫, 清水 暁生, 石川 洋平 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2013 (0), 165-165, 2013

    ...近年の半導体微細加工技術の発展に伴いLSI内部の配線量の増大が問題となっている。この問題の解決手段として多値論理システムが提案されている。そこで我々は，標準CMOSプロセスで製造可能なFloating Gate(FG)-MOSFETを用いた多値論理回路で情報を処理するシステムの実現を目標としている。...

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  • らせん巻きフィルムを用いた高機能・多機能なカテーテル・内視鏡の開発

    松永 忠雄, 石代 宗之, 芳賀 洋一 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 27 (0), 262-265, 2013

    ...本研究では内腔を確保しつつ半導体微細加工技術を用いた一括生産による量産が可能なカテーテルや内視鏡のための、多機能な先端部品作製プロセスの開発を行った。このプロセスは、液晶ポリマーフィルム上に半導体微細加工技術により配線や各種センサを実装もしくは微細加工技術により作製し、それをコイリングするものである。...

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  • フェムト秒レーザーが切り開く新しい微細加工技術

    藤田 雅之 応用物理 81 (5), 380-385, 2012-05-10

    <p>フェムト秒レーザーを用いた加工においては，照射レーザーフルーエンスに応じてさまざまな現象が誘起される．熱影響が無視できるアブレーション加工，サブミクロンの微細周期構造形成，結晶構造の相変化など，産業的にも有益な加工方法として注目されている．直接加工においては回折限界により空間分解能が制限されるものの，深さ方向においてはナノオーダの加工が可能である．また，ナノ微粒子や薄膜コーティングなどを併…

    DOI Web Site 参考文献35件

  • ホログラムによる3次元一括微細加工技術

    田中 修平 応用物理 81 (5), 401-405, 2012-05-10

    <p>ガラス内部の物性，例えば屈折率をフェムト秒レーザー光の照射により変化させ，照射部に機能をもたせる試みがなされている．その一例として，光導波路デバイスが挙げられる．これらの加工には，レンズによる集光点を逐次移動させながら加工する逐次加工法が使用されてきたが作製時間が長く，世の中に普及するに至っていない．本稿では，ホログラムを通してレーザー光を照射し，結像した3次元実像でデバイスを一括で短時間…

    DOI Web Site 参考文献12件

  • MEMS微細加工を用いたマイクロニードル作製法

    式田 光宏 Ｄｒｕｇ　Ｄｅｌｉｖｅｒｙ　Ｓｙｓｔｅｍ 27 (3), 176-183, 2012

    ...半導体微細加工技術を応用展開したMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術は、大きさ数mm～数μmの微細構造体を作製できることから、圧力、加速度、流量などの物理量を計測するマイクロセンサに用いられている。本稿では、本MEMS技術を医療用マイクロニードルに展開した事例について概説する。...

    DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献9件

  • ナノ微細構造の熱物性と熱物性測定（キーノートスピーチ）

    宮崎 康次 精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 699-700, 2012

    ...我々研究グループでは，ナノ構造を用いて熱物性を制御する研究を行っている．熱物性制御のメカニズム解明には，微小領域での温度分布や熱物性値測定が必須であり，微細加工技術を利用した薄膜型熱電対のマイクロ化や原子間力顕微鏡の先端を温度センサーとした走査型熱顕微鏡の開発を行ってきた．本講演では，上記の開発に加えて，ナノワイヤーやナノコンポジットなどナノ構造材料の熱物性測定結果やその評価について紹介する．...

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