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  • 光散乱法によるナノパーティクル測定機を用いたマイクロラフネス測定法の検出空間波長評価

    安 弘, 永田 工, 遠藤 勝義, 森 勇藏, 佐々木 都至 精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 429-430, 2007

    本研究では、これまでに開発した光散乱法によるナノパーティクル測定機を用いて、超精密加工面をサブnmオーダの精度でラフネスの分布を測定できるマイクロラフネス測定法を開発し、AFMの平均粗さ値と同様の変化傾向であることを示した。今回は総強度に対する任意の半径までの積算強度の割合を求めて、光散乱法を用いたマイクロラフネス測定法における検出空間波長特性の評価を試みたので報告する。

    DOI

  • 全文テキストよりはるかに優れた特許抄録 (<特集>論文抄録 意義と役割)

    オキーフ マイケル 情報の科学と技術 49 (5), 232-235, 1999

    現在では, 多くの国々の特許明細書の全文テキストがインターネット上で利用できます。ただ, 残念なことに全文テキストは検索機能という面では十分ではありません。本稿では, ダウエント・インフォメーションがどのようにして, 全文テキストの検索からでは得られないような高い再現性と適合性を備えたサーチャーの方々のための抄録を作成しているかをご紹介します。

    DOI Web Site

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