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研究データ 1 論文 175 博士論文 36

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  • Pressure dependence of current-voltage characteristics of a thin hole hollow cathode

    Montallana Arantxa Danielle S., Vasquez Magdaleno R., 和田 元 同志社大学ハリス理化学研究報告 64 (4), 191-197, 2024-01

    ...チタニア(TiO2)ナノ構造がプラズマに基づいた合成過程により実現可能である．真空装置への複雑なチタニア粉末の導入に基づいた生成過程ではなく，純粋チタン陰極からの直接スパッター法により，TiO2薄膜を形成する方法も有効と考えられる．12mm長，0.7mm系の細孔を有する直径12mmのチタン電極を用いて，圧力10から100Paのアルゴン雰囲気化で安定に放電形成することができた．薄膜形成系に本電極を挿入...

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  • 干渉計用真空装置の開発と環境による干渉計動作比較評価

    逆井 康佑, 明田川 正人, 福永 琢真, 白石 隼瀬 精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 599-600, 2021-03-03

    <p>ナノテクノロジにおいて、サブナノメートル以下の分解能を有し、メートルの定義に準拠する変位計測技術が必要とされている。光学干渉計による変位計測はこれらの要求を満たしており、産業用途の測定技術として適する。しかしながら光学干渉計は空気環境下において、測定結果に空気ゆらぎによる影響が混入する。本研究では1m以上の光路差、10<sup>-3</sup>Paの真空度で動作する干渉計を開発し、真空環境…

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  • 酸化ゲルマニウム溶液原料を用いた水素プラズマ還元法によるゲルマニウム薄膜の作製

    谷口 大介, 垣内 弘章, 安武 潔, 大参 宏昌 精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 727-728, 2021-03-03

    ...<p>ゲルマニウム（Ge）薄膜は、高いキャリア移動度や赤外領域における高い光感度から種々のデバイスへの応用が期待されているが、その成膜には高価な真空装置が必要であること、ならびに高価なGe材料の成膜利用効率が悪いという課題がある。本研究では、より効率的な成膜手法として、水溶液から析出させたGeO<sub>2</sub>を高圧水素プラズマにより還元し、Ge薄膜の形成を試みている。...

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  • エコポンプターボの操業経験

    加藤 昭雄 紙パ技協誌 75 (6), 527-530, 2021

    ...しかし抄紙機で使用している電力の約2割にあたる真空装置に関しては既存設備のまま使用しており，省エネがまったく図れていなかったが，今回導入したエコポンプターボはインバータにより回転数を可変コントロールすることで真空調整が容易であり，真空機器で使用している動力を大幅に削減できる可能性を秘めている。...

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  • 大気圧低温プラズマ用ダブルプローブ計測システムの開発

    石橋 凌, 牟田 浩司 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2020 (0), 17-17, 2020-09-18

    ...<p>大気圧グロー放電は真空装置無しに非平衡低温プラズマを生成できる方式であり、プラズマを最適化するには、電子温度や電子密度といったプラズマの基本的なパラメータを実時間に測定する計測システムが極めて有用である。プラズマ計測法の一つである静電プローブ法は低コストで情報量が多いなどの大きな利点があるが、減圧したプラズマでの計測に使用され、大気圧領域での適用は通常困難である。...

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  • 真空用ナイフエッジ型フランジに関する規格の現状

    新井 健太 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2020 (0), 95-, 2020

    ...<p>真空用ナイフエッジ型フランジは、真空装置の締結用に国内外で幅広く使用されている。しかし、歴史的な経緯から、現時点ではJVIS、ISO、ASTMが並列している。JVIS-ISO間については既に互換性は調査されている。今回、将来のJIS化を踏まえ、対象をASTMにまで広げてフランジ間の互換性を調査した。その結果、一部呼び径において注意が必要だが概ね寸法上の互換性があることがわかった。</p>...

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  • 真空装置における放出ガスの質量分析

    岡野 誠, 八幡 行記, 桜井 誠 表面と真空 62 (5), 251-255, 2019-05-10

    <p>Industrial vacuum equipment requires a clean surface free from contamination, depending on the intended degree of vacuum from the handling of parts. A quadrupole mass spectrometer is widely used …

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  • 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

    豊田 浩孝, 鈴木 陽香 応用物理 88 (2), 101-104, 2019-02-10

    ...<p>大面積表面処理においては，真空装置を用いた処理は高コストとなり，コンパクトかつ高速処理を行うことのできる大気圧プラズマが求められている．我々は，マイクロ波電力の制御によりメートル級の1次元長尺の均一な大気圧プラズマ生成に成功した．このプラズマ生成装置は，長尺・コンパクトな構造であり，導波管長に合わせてプラズマの長さを自由に設定することができる．また，高いプラズマ密度で高速処理を行うことのできる...

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  • NW50より呼び径の大きい真空装置用クランプ形継手の現状

    新井 健太 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 2P53-, 2019

    ...<p>真空装置用クランプ形継手は、NWフランジ等とも呼ばれ、真空装置・配管の接続に使われている。この継手は、ISO 2861:2013（JIS B 8365）として呼び径50までが規格化されている。その一方で、国内外では呼び径50以上の継手も市販されている。今年開催されたISO/TC 112/WG3では、その規格化への検討が承認された。...

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  • 真空装置用マイクロアーク酸化処理の開発と特性評価

    石榑 文昭, 稲吉 さかえ, 佐藤 洋志 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 1Fa12-, 2019

    ...<p>CVD装置等腐食性ガスを使用する真空装置用としてマイクロアーク酸化(MAO)処理を開発し、特性評価を行った。MAO処理の酸化皮膜断面は三層構造をしており、結晶性酸化皮膜になっていた。また、MAO処理した酸化皮膜からは、母材由来成分以外は検出されなかった。MAO処理のガス放出量は、硫酸アルマイトと比較して1/10以下であり、主に水が少なかった。</p>...

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  • Rh(100)表面におけるCO<sub>2</sub>解離過程

    江川 千佳司 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 3Ca12-, 2019

    ...本研究では, 超高真空装置に直結した反応容器において<sup>13</sup>CO<sub>2</sub>と<sup>12</sup>COとの交換反応速度を温度とCO分圧を変えて測定することにより, CO<sub>2</sub>の解離吸着過程を検討した。</p>...

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  • イオンクロマトグラフィーを用いた真空装置の清浄性評価

    渡部 純, 大津 舟, 稲吉 さかえ 日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 1Fa11-, 2019

    <p>OLED(有機発光ダイオード)素子の寿命は不純物量に比例して低下するため、長寿命化に向けて装置の清浄性を確保することが重要な課題となっている。チャンバーには表面処理や洗浄工程で使用された水溶性不純物が残留しており、OLED素子の寿命に影響を与えると言われている。今回は、真空チャンバーからの水溶性不純物の採取方法、イオンクロマトグラフィーを用いた残留イオンの評価方法とその実施例について報告す…

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  • イオン・原子混合系における極低温衝突

    土師 慎祐, 齋藤 了一, 向山 敬 日本物理学会誌 73 (2), 97-102, 2018-02-05

    ...</p><p>これまでの冷却イオンや冷却原子に関する研究では，真空装置中でのトラッピングやレーザー冷却などの基本となる実験技術を共有し，量子シミュレーション，精密測定といった同じ研究分野で応用されながらも直接的な結合が行われる機会がなかった．しかしながら最近になってトラップ・冷却技術の発展に伴い，両者の混合の実現が各所から報告されるようになってきた．...

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  • ピル型非蒸発ゲッターの排気特性評価装置の開発

    吉田 肇, 新井 健太 表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 203-, 2018

    ...ジルコニウム―バナジウム―鉄合金に代表される非蒸発ゲッターは、高真空・超高真空を実現できること、オイルフリーであること、小型軽量であること、消費電力が小さいことなどの理由から、大型真空装置から真空封止デバイス内部までの真空排気に利用されている。産総研は、米国材料試験協会（ASTM）規格 F798に基づいたゲッターの排気特性評価装置を開発したので、その初期的な性能評価の結果について報告する。...

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  • 大気圧Ａｉｒ／Ａｒ混合ガス中の電子ドリフト速度と実効電離係数の計測

    呑山 諒次, 佐々本 凌, 生澤 泰二, 西嶋 喜代人 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2017 (0), 141-142, 2017-09-19

    ...<p>近年、殺菌、バイオ、医療分野へのプラズマ応用研究として、真空装置を必要とすることなく構造がシンプルであるプラズマジェットが注目されている。プラズマジェットは、HeやArガスなどの希ガスを大気圧空気中に噴出することによって用いられている。従って、大気圧Air/Ar混合ガス中の電子挙動を理解することは重要である。　...

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  • 演示実験用真空装置の試作

    松本 益明, 福谷 克之, 岡野 達雄 物理教育 64 (2), 95-100, 2016

    <p>　電流や熱電対の導入端子を備えた汎用的な真空実験装置を大小2台試作し，学生や一般の方を対象にした演示実験をおこなった。試作した実験装置の概要と必要な真空ポンプの排気速度の見積り及び測定結果について述べ，本実験装置により可能な物理教育とそれに関連した実験として，真空中での落下，風船や泡状体の排気，フィラメントの加熱，水や液体窒素および生野菜の排気について紹介する。</p>

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  • アノード酸化皮膜の低ガス放出化

    石榑 文昭, 稲吉 さかえ 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 18-, 2016

    ...アルミ合金製真空装置の耐食性表面処理としてアノード酸化処理が使用されている。アノード酸化処理により作製された酸化皮膜はガス放出量がアルミニウム合金の自然酸化皮膜よりも多いことが知られている。アノード酸化処理で増大したガス放出量をアノード酸化処理の手法や、加熱等により低減を試みたことについて報告する。...

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  • ステンレス鋼の磁界への影響の調査

    栗巣 普揮, 犬塚 純平, 柘植 信二, 北坂 規朗, 山本 節夫 表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 110-, 2016

    ...オーステナイト相とフェライト相から構成されるニ相ステンレス鋼は磁性体であり，磁界を使用する真空装置への適用が懸念される．そこで，本研究では種々の透磁率を持つ磁性を持つステンレス鋼の磁石磁界に対する影響について電磁界シミュレーション解析により調べた．その結果，比透磁率50までのステンレス鋼では，磁石磁界への影響は小さいことがわかったので報告する．...

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  • 感光性ポリマーのMEMSデバイスへの応用（キーノートスピーチ）

    大平 文和, 鈴木 孝明 精密工学会学術講演会講演論文集 2015S (0), 791-792, 2015

    ...シリコンを用いたMEMSデバイスの作製には、高価な真空装置、多数の工程やプロセス時間が必要であり、基板が高価である等の課題がある。そこで、低コスト、高機能、立体形状形成等の特徴を持つ、感光性ポリマーを用いたMEMSデバイスや加工技術が注目されている。本稿では、我々が研究中の大面積・大偏向角駆動用ミラー、フィルタ機能付きSPRセンサ、回転傾斜露光技術による立体形状形成と応用デバイス等を紹介する。...

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  • J-PARC 3GeVシンクロトロンにおけるビームライン圧力の改善

    神谷 潤一郎, 能代谷 彰ニ, 滑川 裕矢, 引地 裕輔, 佐藤 篤, 金正 倫計, 柳橋 亨 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 289-, 2015

    ...J-PARC RCSの真空システムにおいては、残留ガスが原因でビームロスが発生している箇所や、真空装置からの多量な放出ガスがある箇所等にターボ分子ポンプを増設し、圧力の改善を行ってきた。また建設時期にリークがとまらずやむを得ずOリングを使用していた箇所を金属シールへ換えることでもビームライン圧力の改善を行った。本発表ではこれまでのビームライン圧力の改善について総括する。...

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  • 酸化クロム処理によるステンレス鋼低ガス放出表面の作製

    板倉 明子, 土佐 正弘, 矢ヶ部 太郎, 笠原 章, 清水 健一, 宮田 敏光, 前原 美津雄, 進藤 豊彦 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 199-, 2015

    ...酸素、炭素系分子の吸着防止は、超高真空装置の内面処理にも適しているので、水素ガスに対する効果を確認するため、昇温脱離特性、および大気暴露後の初期排気特性を調べた。初期排気の立ち上がりが良く、ロードロック室の内面コーティングなどに適していることが分かった。...

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  • MEMSパッケージング評価のための超微小リーク試験装置の開発

    吉田 肇, 新井 健太, 小畠 時彦 表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 291-, 2015

    ...真空装置は、NEGポンプとターボ分子ポンプで排気されるが、ヘリウム漏れ検査の時はNEGポンプでのみ排気される。NEGポンプは、ヘリウムに対して排気能力がないため、MEMSから放出されたヘリウムによって、真空容器内のヘリウム分圧が上昇し、その上昇速度を四極子形質量分析計で測定する。...

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  • 硬質薄膜の凝着特性に関する研究（第2報）

    平山 明宏, 野間 正男, 有年 雅敏, 井上 尚三 精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 567-568, 2014

    硬質薄膜の機械的特性の評価は、一般にナノインデンテーション、スクラッチ試験、摩擦摩耗試験によって行われている。しかし、硬質薄膜の実際の使用条件下での耐久性はそれらの結果と一致しないことも多い。実際の使用条件下での耐久性を評価できる新しい評価方法の開発が望まれている。我々は、前回の春季大会で摩擦圧接装置を利用した評価方法を提案した。この方法のひとつの問題点は荷重が大きすぎることであった。本報では、…

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  • 無電解めっき膜の密着性向上の検討

    太田 晃平, 西澤 正一郎, 井上 史大, 清水 智弘, 新宮原 正三 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 28 (0), 394-397, 2014

    ...現在TSVの作成工程において、銅拡散防止膜（バリアメタル）、導電性Cuシード層の形成にはスパッタやCVDなどが現在用いられているが、これらは高コスト、あるいは高温プロセスといった問題があるので真空装置を用いない無電解めっき法をバリア、シード層形成に用いることを検討した。...

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  • 被災地復興支援活動としての理科実験教室の実施 : 仙台市天文台との連携事業「スペースラボ in 気仙沼」

    笠井, 香代子, 高田, 淑子, 松下, 真人 教育復興支援センター紀要 1 55-61, 2013-03

    ...宇宙」や「天文」をキーワードとした科学実験教室「スペースラボ in 仙台市天文台」を開催実施してきた．東日本大震災以降，科学実験教室や科学コミュニケーション活動への期待や要望が高く，仙台市天文台に足を運ぶのが難しい気仙沼に赴き，科学実験教室および天体観測会「スペースラボ in 気仙沼」を開催実施した．実験教室「宇宙空間をミニ体験しよう」では，大気のある地球と真空の宇宙空間の違いを理解するため，簡易真空装置...

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  • CVD法によるZiegler-Natta触媒担体の構造制御とドナーによる再構成

    後藤 啓介, 谷池 俊明, 寺野 稔 石油学会 年会・秋季大会講演要旨集 2013f (0), 145-, 2013

    ...これまでに超高真空装置を用い、原子レベルで制御されたモデル触媒の開発が行なわれきた。しかしながら生成するフィルムの組成がTiCl<sub>4</sub>/TiCl<sub>2</sub>/MgCl<sub>2</sub>であり、実触媒と大きく異なるものであった。本研究では超高真空装置を用いてMgCl<sub>2</sub>を調製し、ルイス塩基化合物であるドナーを用いてその構造を再構成する。...

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  • 硬質薄膜の凝着特性に関する研究(第1報)

    平山 明宏, 浜口 和也, 有年 雅敏, 野間 正男 精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 667-668, 2013

    硬質薄膜は、高温・高圧下の使用環境で耐摩耗性、耐酸化特性を付与するために、機械部品に表面処理される。しかし、表面処理品は形状、使用方法により凝着を起こす場合がある。昨今、多種の薄膜が用いられるようになり、硬さ、摩擦係数、剥離臨界荷重の物性値では、膜と被処理物との凝着特性を予測することができない。本報告は、摩擦圧接法を応用した評価法により薄膜の凝着特性について報告する。

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  • 表面張力を利用した水膜チャックの基本特性

    吉冨 健一郎, 宇根 篤暢, 餅田 正秋, 坂東 翼 精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 237-238, 2013

    ...薄板試料の研削，研磨において，高精度に試料を矯正保持するために真空チャックが使用されている．真空チャックの問題点として，数百μmの反りがある凹状試料の矯正は困難であることや，真空装置が必要であることなどが挙げられる．本研究は，大きな反りを矯正でき，かつ構造が単純な保持法として，表面張力を利用した水膜チャックを提案する．本報では，水膜チャックの矯正能力およびせん断保持力の実験結果について報告する．...

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  • 大気開放マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の生成

    八原 将時, 川上 二郎, 柴田 裕介, 八木 秀次 精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 375-376, 2012

    ...一般的なマイクロ波プラズマCVD法では、真空装置により圧力を制御し低圧力下（1～100hPa）において薄膜の生成を行う．それに対し本研究は、プラズマの点火から膜生成まで一貫した大気開放下でのCVDプロセスによりダイヤモンド薄膜を生成することを目的とする．生成した膜はSEM及びラマン分光分析機により観察し、ダイヤモンドの成膜特性を有することを確認した．その成膜特性に及ぼす諸ガスの影響を報告する．...

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  • c-BN膜の耐熱特性

    野間 正男, 所 敏夫, 山下 満, 島 秀貴, 笹瀬 雅人 精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 369-370, 2012

    我々のグループは、c-BN膜の応用研究を行っている。アルミダイカストプロセスに対する応用で、c-BN膜はヒートショックにより剥離しない特性が必要である。我々のヒートショックテストは300℃と700℃の繰り返しを実施した。30回の加熱により、c-BN膜は加熱部周辺で剥離した。

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  • 走査電子顕微鏡を用いた水生微生物観察のための簡易試料前処理法

    井上 雅彦, 菅波 昌広 Journal of Surface Analysis 19 (2), 81-84, 2012

    ...水生微生物を走査型電子顕微鏡で観察する際，真空中での体液の蒸発による細胞膜の変形と，電子線照射による帯電を避けるための工夫が必要である．本研究では，冷凍機や真空装置などの前処理用の装置を用いず，エタノール置換法とイオン液体塗布法を用いた簡単な前処理法について述べる．...

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  • プラズマジェットを用いて常温・大気開放下において形成したシリコン酸化膜の特性

    中村 慶, 東田 皓介, 大参 宏昌, 垣内 弘章, 安武 潔, 柴田 哲司 精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 879-880, 2010

    ...本研究は、高価な真空装置を用いない新しい低コストな薄膜形成技術の開発を目的としており、すでに実用的に用いられている大気圧プラズマジェット技術の薄膜形成技術への応用に取り組んでいる。今回、アルゴンガスを主としたプラズマジェットを用い、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を原料とすることにより、ダストフリーなシリコン酸化膜の形成に成功した。...

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  • グライディングアーク放電におけるI-V特性と放電音の周波数についての関係

    村本 郁矢, 三木 文秋, 池上 知顯, 園田 義人, 中宮 俊幸, 川崎 仁晴, Pawlat Joanna, Stryczewska Henryka, 青木 振一 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2010 (0), 452-453, 2010

    ...また、真空装置が不要であるため処理コストが低く、簡単な装置構成ですむと言った特徴もある。大気圧放電にはコロナ放電やアーク放電などが代表的だが、我々はグライディングアーク放電に着目した。このグライディングアーク放電のI-V特性と放電音の周波数解析をした。この二つの結果を比較し、I-V特性と放電音の関係を調べ、放電状態の最適化条件の模索を目的とした。...

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  • スピン偏極水素原子源における水素原子ビームのS/N比向上

    武安 光太郎, 小倉 正平, 福谷 克之 表面科学学術講演会要旨集 30 (0), 256-256, 2010

    ...また、ビームの局所的な流量を把握するために放出角度分布の測定とシミュレーションに基づく評価を行い、真空装置の構造にフィードバックを行った結果を中心に報告する。...

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  • 標準コンダクタンスを用いた電離真空計と分圧真空計のその場校正

    吉田 肇, 新井 健太, 平田 正紘, 秋道 斉 表面科学学術講演会要旨集 30 (0), 247-247, 2010

    ...標準コンダクタンスを、ユーザの真空装置に接続し、ガスを導入することで、ユーザは、様々な気体を使って電離真空計や分圧真空計のその場校正ができる。発表では、N2、Ar、H2、He、CO2、CH4、H2O等を使って、複数の電離真空計や分圧真空計を校正した結果を報告する。...

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  • 半導体光陰極を用いる高輝度電子源のための極高真空装置開発

    山本 将博, 内山 隆司, 宮島 司, 本田 洋介, 松葉 俊哉, 佐藤 康太郎, 齊藤 芳男, 小林 正典, 栗巣 普揮, 羽島 良一, 永井 良治, 西森 信行, 栗木 雅夫, 飯島 北斗, 久保 大輔, 中西 彊, 奥見 正治, 桑原 真人 表面科学学術講演会要旨集 30 (0), 92-92, 2010

    次世代放射光源用加速器に用いるための負の電子親和性(NEA)表面の半導体光陰極を用いる500kV電子源の開発を進めている。カソード表面へダメージを与える主要因となる「残留ガスとビームの衝突により発生するイオンのカソードへの逆流」の問題を緩和するため極高真空が不可欠であり、装置自身からのガス放出速度を低く抑える事が重要である。そこで我々はチタン材で電子銃容器を製作し、セラミックに関しても耐電圧特性…

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  • c-BN膜の基板電流依存性

    野間 正男, 山下 満, 所 敏夫, 今田 琢己, 小川 圭二, 中川 平三郎 精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 565-566, 2009

    窒化ホウ素膜を0.5μm/hで成膜できる量産装置により、のc-BN成分の結晶化が、基板電流の閾値3A以上で結晶化することを中心に成膜方法と膜物性について報告する。

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  • 大気圧低温プラズマを用いたAZO薄膜の作製

    川口 阿輝皇, 須崎 嘉文, 宮川 勇人, 村瀬 雄彦, 鹿間 共一 精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 593-594, 2009

    ...しかし、従来ZnO系透明導電性薄膜の成膜法は、低圧力下でのグロー放電プラズマを利用したものが多いため、高価な真空装置が必要であり、プロセスが複雑でコストが高い問題がある。本研究では、大気圧低温プラズマを用いたAZO薄膜作製法の実用化のためにAZO薄膜の低抵抗化、高い透過率、十分な成膜速度を実現することを目的とした。...

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  • 脱真空のスプレー／CMP融合プロセス技術による有機ＥＬ膜の超精密形成技術（第１報）

    土肥 俊郎, 黒河 周平, 栗塚 和昌, 大西 敏博, 土田 良彦, 佐藤 行一, 宮地 計二, 山田 隆行, 小林 義典 精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 1009-1010, 2009

    ...有機ＥＬ膜は、現在、真空装置を使用して形成しているため大型化と低コスト化で大きな問題となっている。本研究では、真空装置を使わないで、大型の有機ＥＬ膜を形成するプロセスとして噴霧法による膜の堆積、そしてＣＭＰによる均一平坦化を融合させた次世代型の有機ＥＬ膜の超精密堆積・平坦化技術を提案するものである。...

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  • レーザー・集束イオンビーム複合加工に関する研究（第２報）

    増澤 恒明, 吉田 善一, 池田 博通, 小口 京吾, 山岸 光, 若林 優治 精密工学会学術講演会講演論文集 2008S (0), 957-958, 2008

    レーザー・集束イオンビーム複合加工機において、ワークを大気中にセッティングしたままＦＩＢによる加工を可能とするため、局所的に真空空間をつくり出す装置を開発した。この装置はワークと一定のギャップを設けた状態でその表面を部分的に真空状態にし、ＦＩＢでの加工を可能にしている。これによりレーザー加工及びＡＦＭによる計測と、ＦＩＢによる複合加工は連続的に高精度・短時間で対応出来る。

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  • 大気圧プラズマCVD法によるSiの低温・高速エピタキシャル成長

    安武 潔, 垣内 弘章, 大参 宏昌 応用物理 76 (9), 1031-1036, 2007-09-10

    ...<p>大気圧プラズマを利用した薄膜形成は，低温での高速成長や，真空装置の簡素化が可能であることから，一般に，低コスト成膜法として注目されている．最近この方法により，表面へのイオン損傷のない非常に高品質な膜形成が可能であることが明らかになってきた．ここでは，筆者らが独自に開発した多孔質カーボン電極を用いた大気圧プラズマCVD法を，Siエピタキシャル成長に応用した結果を紹介する．4インチ(001)CZ-Si...

    DOI Web Site 参考文献23件

  • 大気圧ミストプラズマを用いた枯草菌の不活性化

    岩本 圭司, 大参 宏昌, 垣内 弘章, 安武 潔 精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 247-248, 2007

    ...開発した滅菌装置は安全なHe,O2ガス、超純水ミストを用い、真空装置を必要としない大気圧下での滅菌を可能にするものである。今回はミストの有無による滅菌効果について報告する。...

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  • 5軸制御形磁気軸受を用いた制振実験

    佐々木 悠, 門間 香波, 涌井 伸二 自動制御連合講演会講演論文集 50 (0), 1-1, 2007

    ...真空装置である5軸制御形磁気軸受式ターボ分子ポンプを，制振装置として適用するための研究である．ロータをTranslationとTiltの運動モード別に制御し浮上させ，制振対象の1次と2次のモードに対応させて制振効果を得る．当初の制御系では十分な制振効果が得られなかったが，モード抽出・分配を適切に再調整することで，更なる効果を得ることができた．また，TMPが本来使用されている高速回転状態でも制振効果を...

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  • ナノファイバー　　エレクトロスピニング―機能性高分子ナノファイバーの創製―

    奥崎 秀典 高分子 55 (3), 126-129, 2006

    ...もっとも簡便なナノテクノロジーのひとつであるエレクトロスピニングに注目が集まっている.真空装置や加熱装置が不要で,常温大気圧下で容易にナノファイバーや不織布が得られることから,その汎用性はきわめて高い.エレクトロスピニングによる機能性高分子のナノファイバー化について概説するとともに,今後を展望する....

    DOI Web Site 被引用文献3件 参考文献35件

  • レーザーアブレーションおよびMBEによる金属窒化物薄膜の合成と物性

    犬丸 啓, 馬場 一也, 小山 邦彦, 宮木 雄史, 村嶋 美香, 黒田 祐介, 山中 昭司 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005F (0), 804-804, 2005

    ...ＲＦ窒素ラジカル源をもちいた超高真空装置により種々の金属窒化物薄膜を合成した．Sr2Nはファンデルワールスギャップをもつ層状窒化物である．窒素ラジカルを照射しながらSrを蒸着することにより、00l配向したSr2Nを合成した．電気伝導度測定により、この化合物が層に平行な方向に高い電気伝導度を示すことがわかった．また、MgO単結晶基板上にCrN-TiN薄膜をレーザーアブレーションによりエピ成長させ、その...

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  • Ｃｕ（００１）上におけるＬ-アラニンとＬ-セリンの共吸着構造

    小久保 里美, 江守 朗, 岩井 秀和, 江川 千佳司 表面科学講演大会講演要旨集 25 (0), 130-130, 2005

    ...超高真空装置内において、Cu(001)上にＬ-アラニンとＬ-セリンを共吸着しSTM観察を行った。アラニンは分子構造を反映して不斉な吸着構造を形成し成長する。Ｌ-セリンのみの吸着では、Ｌ-アラニンと同じ方向で、かつ非常に幅の狭いライン状の構造などが観測されている。共吸着すると、このＬ-セリンのライン状構造はＬ-アラニンの領域内に取り込まれた。Ｌ-セリンの構造は、幅は変わらず成長方向に長く延びた。...

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  • Pd単結晶上におけるCO+NO反応 -生成励起CO<sub>2</sub>分子の振動・回転状態-

    中尾 憲治, 伊藤 伸一, 冨重 圭一, 国森 公夫 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 208-208, 2004

    ...Pd上でのCO+NO反応において，その反応ダイナミクスについて検討しているものは少ない．本研究では，赤外発光測定が可能な分子線真空装置を用い，Pd(111),(110)上でのCO+O<sub>2</sub>及びCO+NO反応を行い，そこで生成・脱離したCO<sub>2</sub>分子の振動・回転状態についての研究を行った．それら内部エネルギーの情報から，CO<sub>2</sub>生成ダイナミクスについて...

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  • 結晶質フォルステライトの凝縮及び気相成長についての考察

    小川 理絵, 永原 裕子, 小澤 一仁, 橘 省吾 日本惑星科学会秋季講演会予稿集 2004f (0), 14-14, 2004

    ...本研究では宇宙存在度の大きいMg,Si,Oからなるフォルステライト(Mg2SiO4)を真空装置内にて蒸発・凝縮実験を行った。広い温度範囲で結晶質フォルステライトが得られ、一定温度では長時間ではc軸方向にのびた鱗状、短時間ではa軸方向に伸びた板状の結晶であった。宇宙空間でも過冷却度に応じ結晶の形状が変化すると推定できる。...

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  • 金属鉄の凝縮現象

    達見 圭介, 永原 裕子, 小沢 一仁, 橘 省吾 日本惑星科学会秋季講演会予稿集 2004f (0), 96-96, 2004

    ...真空装置を用いて鉄が金属鉄として凝縮する課程に焦点を当てた実験を行った。真空装置内で1200℃程度で蒸発させた鉄のガスを基盤上に凝縮させ、実験条件と凝縮物の形態や凝縮効率との相関を導いた。凝縮物は凝縮基盤温度が450℃-750℃の間で空隙を伴う粒子状凝縮物の連結した構造から空隙のない密な構造になった。凝縮係数は基盤温度との強い相関は見られず0.7程度の値を示した。...

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  • 低エネルギー電子ビームによるナノスケール構造物の作製・分析のための装置開発

    掛札 洋平, 向井 孝三, 山下 良之, 吉信 淳 表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 54-54, 2004

    ...スポット径を1μm以下に収束させた低速電子線(200~2000eV)を用いて表面ナノ・メゾスケール構造物の作製とその局所的な電子状態を測定するための超高真空装置を構築した。構築した装置を用い、電子刺激脱離により鉄ドットを作製した。作製した単一ドットに対し、SEMによる表面実空間像観察、AESによる組成分析、EELSによる表面電子状態分析を行うことができることを確認した。...

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  • 酸素ラジカルによる殺菌

    水野 彰 応用物理 72 (4), 457-461, 2003-04-10

    ...められている．放電プラズマで酸素や過酸化水素を解離して作るOやOHなどの酸素原子を含むラジカルは酸化力が強く，最近医療器具の滅菌などに使われ始めている．特に，OHラジカルは寿命が1ms程度以下ときわめて短くリーク時の安全性が高いこと，最終生成物が水と酸素であるため環境への影響がほとんどないこと，などの利点を有している．現在は低気圧放電プラズマを利用する殺菌装置が実用化されているのみであるが，われわれは真空装置...

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  • 酸化物ナノホールアレイの創生と応用

    山中 伸介, 宇埜 正美, 濱口 豪, 中田 智昭, 家田 章弘 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2003S (0), 41-41, 2003

    ...種々の酸化物ナノホールアレイを非常に簡単で真空装置や電源といった高価な機材を必要としない溶液プロセスで安価に作成した。陽極酸化アルミナを金属フルオロ錯体に室温で数十分から数時間浸すことにより、チタンや鉄、錫などの酸化物ナノホールアレイを作成することができた。この方法により、さまざまな形状のナノホールアレイ膜を作成することができる。...

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  • 実験から見る金属鉄の凝縮挙動

    達見 圭介, 小沢 一仁, 永原 裕子, 橘 省吾 日本惑星科学会秋季講演会予稿集 2003f (0), 4-4, 2003

    ...ステンレス製の円筒形容器（内径高さ共約40ｃｍ）中にタングステン製の円筒形電熱メッシュヒーターが据えられておりその周囲を円筒形に断熱板が覆っており、ヒーターの輻射熱が真空装置外壁に直接伝わらないようになっている。容器は常に真空ポンプで10^-4_から_-5 Pa程度に減圧され、気相の鉄はヒーターの中心に0.5ｍｍ厚の鉄プレートを設置しヒーターで過熱し表面から蒸発させることによってえる。...

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  • 真空装置のガス放出特性（Ｉ）

    赤石 憲也 プラズマ・核融合学会誌 79 (5), 518-523, 2003

    This article is a lecture on vacuum technique. The discussion matter is outgassing characteristics of water vapor and hydrogen in a vacuum chamber. The role of surface treatment of vacuum chamber is …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献10件

  • 真空装置用アルマイト処理

    佐藤 洋志, 中村 弘幸, 塚原 園子, 石川 裕一, 三沢 俊司, 高橋 善和, 稲吉 さかえ 真空 45 (5), 438-442, 2002

    We developed new methods for anodizing aluminum surfaces of plasma process chambers, one in sulfuric acid, and another in oxalic acid, in order to reduce particulate generation. The anodized films …

    DOI Web Site 被引用文献6件 参考文献7件

  • 電気化学走査型トンネル顕微鏡

    板谷 謹悟 応用物理 69 (7), 844-848, 2000

    ...表面科学の研究は,これまで超高真空装置 (UHV) を用いるのが常識であり,清浄かつ原子スケールで規定された金属あるいは半導体表面の幾何学的構造,表面電子状態などの研究が行われてきた.しかし,電気化学走査型トンネル顕微鏡 (STM) の開発とそれを用いた実験法は,水溶液中でも原子的に規定された表面が存在することを実証し,しかも原子のスケールで直接観察できる非常に強力な手段となった.液体中では表面上でさまざまな...

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  • 522 真空装置類における高機能面形成・評価技術

    柴田 順二, 渡辺 昭 生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2000.2 (0), 237-238, 2000

    In the manufacturing technology and design of vacuum apparatus, the next two items on its surface function have been the subjects to be solved for a long time ; (1) Prevention of air leakage, (2) …

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  • 超高真空材料として眺めた金属材料と水素

    塚原 園子 応用物理 69 (1), 22-28, 2000

    ...超高真空状態で真空装置を構成する真空容器・内部部品の材料表面が真空に接すると,金属材料中に固溶する水素原子は固体内を拡散・表面で分子に再結合・真空中に脱離の過程で放出ざれるので,真空壁から放出される最大残留気体は水素となる.この過程で何が水素の放出速度を決めるのか実験から提案されている要素項目を示し,より低いガス放出速度を得るために今後何が必要かを考える.超・極高真空装置作製を計画するための資料としては...

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  • 原子レベルでの固液界面構造解析

    板谷 謹悟 日本物理学会誌 54 (12), 947-953, 1999

    ...物理としての表面科学の研究は, これまで超高真空装置(UHV)を用いるのが常識であり, 清浄かつ原子スケールで規定された金属, あるいは半導体表面の幾何学的構造, 表面電子状態等の研究が行われてきた. しかし, 走査トンネル顕微鏡(STM)の出現により, UHV中のみならず, 電解質水溶液中でも原子的に規定された表面が安定して存在することが示された....

    DOI Web Site 参考文献9件

  • 静電集束偏向電極一体型フラットCRTの提案

    竹若 馨祐, 宇田川 亮, 新阜 宏之, 落合 毅, 増尾 友和, 加藤 猛, 坂本 康正 映像情報メディア学会技術報告 22.4 (0), 55-60, 1998

    ...線状熱カソードを用いた静電集束偏向電極一体型フラットCRTを提案した^<[1]>.このフラットCRTの主な構造的特徴は, 垂直, 水平方向共に集束と偏向を同時に行うことができる集束偏向電極対を多数有することである.実験は, デマウンタブル真空装置内で, 各種特性およびモノクロ画像表示を行った.これまで行った実験は, 1セグメントのみであったが, 今回は9セグメント(39[mm]V×14.85[mm]...

    DOI 参考文献2件

  • 真空浸漬法によるイネ苗立枯細菌病の防除

    太田 光輝 関東東山病害虫研究会年報 1995 (42), 19-21, 1995

    ...イネの新しい種子消毒方法として, 真空装置を使った種子浸漬法 (以下真空浸漬法と呼称) を開発した。本法は真空デシケーター中に種子を薬液ごと入れ, 油回転真空ポンプで10分間, 750mmHg程度の真空度まで吸引し, 常圧にもどすときに薬液を種子の内部にまで注入する方法である。...

    DOI

  • 自動セル分割機能を有する3次元希薄流解析プログラムの開発

    井上, 藤男, 三輪, 泰生, 小倉, 伸一 全国大会講演論文集 第47回 (基礎理論及び基礎技術), 125-126, 1993-09-27

    ...近年、コンピュータの高性能化に伴い、直接シミュレーションモンテカルロ法(以下、DSMC法と略す)による真空装置内での希薄流解析技術が実用化されつつある。しかし、実際の真空容器は複雑な3次元形状である場合が多く、これらの装置設計に計算機シミュレーションによる希薄流解析を活用して行くためには、解析対象流れ場の形状定義および計算セル分割作業の省力化が不可欠である。...

    情報処理学会

  • 大画面フラットCRTの提案とその基礎実験

    坂本 康正, 高橋 淳, 伊関 幸輝, 宮崎 栄一 テレビジョン学会誌 44 (5), 558-562_1, 1990

    A new flat CRT is developed by means of multi-line thermal cathodes. Using this method, a large area full-color fiat CRT (30-50 in. diagonal screen) is possible.<BR>This study focuses on production …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件

  • プロセス技術（化合物半導体）

    浅川 潔 表面科学 10 (10), 732-737, 1989

    ...本稿では, i) GaAs・AlGaAsの高度な平滑・垂直エッチングの達成, これを利用した垂直加工共振器端面レーザーの実現, 及び優れた特性の確認, ii) 超高真空装置に適用可能なラジカルビームによる表面クリーニングの提唱及び有効性確認, を中心に述べる。...

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  • 放電電子ビームを用いた電子顕微鏡

    佐橋 稔雄, 日置 義明, 福住 靖治 物理教育 36 (1), 9-12, 1988

    ...この論文の目的は,組み立て式の真空装置内でガス放電で作られた高速電子ビームにより,電子顕微鏡の結像の実験が容易にできる事を示すことである.装置内のガスの排気には油回転ポンプのみが用いられた.この装置は組み立て式の為内部観察や内部改造が手軽にできる特徴を持っている....

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  • 触媒作用と表面構造

    田中 虔一, 山田 太郎 応用物理 57 (2), 209-215, 1988

    ...表面を物質として考える基本概念を述べ,次に表面で物質を合成するための化学反応用の超高真空装置にっいて,従来の方式と我々が開発した新しい方式について特色を述べる.この装置を使って,固体表面が有する触媒作用によって生成される表面物質について述べる.このような実験で見られる表面構造の変化から,従来の平衡構造あるいは吸着平衡構造とは別の概念である表面物質相成長の概念の提出をする....

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  • 複合分子ポンプの開発

    金戸 成, 井口 昌司, 沢田 雅 日本機械学会誌 89 (810), 480-481, 1986

    ...圧縮比を保って連続運転できる画期的な性能である.図2に吸入圧の高い領域でのTG550の排気速度を同口径(φ150mm)のターボ分子ポンプTH520と比較して示す.Sforeは組合わせた補助真空ポンプの排気速度である.新技術によるこのポンプは,油拡散ポンプとルーツ真空ポンプの役割を兼ね,流量制御が容易でオイルフリーの排気系を構成できる事を示し,真空技術上優れたコンポーネント機器となる.既に半導体製造真空装置...

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  • 新しい真空装置用材料

    山川 洋幸, 小宮 宗治 応用物理 51 (8), 883-886, 1982

    ...最近,新材料の開発が進み,また真空装置の多様化により,種々の新しい材料が真空用として使用しはじめられている. 超高真空装置構造材料として,ルミニウム合金や,イオンプレーティング被覆,高真空材料として繊維強化プラスチックスの利用が試みられている.真空構成材料としては,耐熱性のある高分子材料,セラミックスなどもその特長を生かして,真空装置の性能をさらに高めるために使用されている....

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  • アルミニウムを用いた超高真空系

    石丸 肇, 堀越 源一, 簑田 和之, 入沢 敏夫 真空 22 (11), 373-388, 1979

    A bakeable vacuum chamber (150 °C continuous) consists of aluminum alloy beam pipe (6063-T6) and bellows (5052-F) with an aluminum alloy flange (2219-T87) and a metal seal [Helicoflex-HN : pure …

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  • ナッシュ真空装置の適応性

    フレゲル J.D. 紙パ技協誌 30 (8), 422-434, 1976

    ...<BR>二番目には坪量, 叩解度, ストック温度及び抄速などの変動要因それぞれに対し, 主として定真空型真空装置と定容積可変真空装置の違いを説明し, 更にこれらの変動要因によりもたらされる脱水性向の変化を補正するのに定容積可変真空装置が理想的であることを併せ説明する。...

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  • 鶏精液の減圧保存

    永江 豊明, 田中 耕作 日本家禽学会誌 12 (6), 259-264, 1975

    Experiments were conducted to determine the influence of reduced pressures during storage on the motility and fertility of fowl spermatozoa. The stocks used in these experiments were commercial …

    DOI Web Site Web Site ほか1件

  • コンプレッションシール (SFシール) に就いて

    伊藤 嘉規, 木ノ切 恭治, 城 英孝, 圷 繁 真空 13 (4), 123-126, 1970

    ...超高真空が金属製装置で今日の様に容易に得られるようになつたのは, 超高真空用ポンプおよび測定器が発達した他に, 信頼性の高いメタルガスケットシールが用いられるようになったことが, 大きな原因の一つ段考えることもできる.超高真空用メタルガスケットシールに就いては, 過去いろいろな方法が考案されてきたが, メタルガスケットシール自体が, 金属製超高真空装置の重要な基幹部分となるので, 信頼性, 簡便性,...

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  • リークシーラー

    織田 善次郎 真空 8 (2), 38-38, 1965

    ...200℃の高温に耐え、超高真空装置に適用できるリークシーラーが、この程G.E.から発売されたので紹介します。...

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  • 織物へのアルミ真空蒸着について (第1報)

    三浦 義人, 藤田 和夫, 中条 芳之介 繊維機械學會誌 16 (10), 752-756, 1963

    We designed a vacuum equipment to evaporate aluminum for the nylon tufta and studied the physical properties of metalized fabrics. The higher the degree of vacuum, the more the reflecting power of …

    DOI

  • 単一偏向板形偏向系を用いた偏平受像管

    高橋 正彦, 河村 達郎 テレビジョン 17 (12), 715-722, 1963

    ...偏平受像管については, これまでいくつかの方式が発表されている.これらは広角偏向受像管では望めないほどに偏平化ができるが, 構造が複雑となり, また偏向回路消費電力は必ずしも節減できない.本研究では, 水平偏向部に単一偏向板形偏向系を採り入れることによって, 従来の偏平受像管よりも簡単な構造で, 偏向回路消費電力を節減できる方式を開発し, 組立て式真空装置内で基礎実験を行ない, ほぼ満足な結果を得た...

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  • 真空装置のbuild-up testの研究

    富永 五郎, 辻 泰, 金 文沢 真空 5 (3), 112-119, 1962-03-20

    In a vacuum apparatus outgassing rate can be calculated from the pressure variation after the valve is closed. This process is called the build-up-test. The build-up-test for the apparatus …

    DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献2件

  • 超高真空質量分析計 (II)

    後藤 正之 真空 5 (2), 62-68, 1962

    By means of the low background mass spectrometer, as previously reported, we could study several problems encountered in ultra high vacuum techniques. Structural elements of metal high vacuum …

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  • 炭素材料の臭素吸収速度

    向坊 隆, 高橋 洋一 工業化学雑誌 65 (5), 754-758, 1962

    ...黒鉛中における物質の移動(拡散・透過)についての知見を得る目的で,各種黒鉛ブロックの臭素吸収速度を,硬質ガラス製真空装置と石英スプリング・バランスを用いて測定した。...

    DOI Web Site 被引用文献1件

  • ポリ塩化ビニル粉末の微細構造とゲル化性

    府川 幸資, 大門 宏 工業化学雑誌 64 (11), 2053-2059, 1961

    ...見掛け比重測定には真空装置を使用し,水銀を充填液とした。ゲル化性と見掛け比重との間にはよい相関性があるが, ゲル化性と真比重との間には認められない。種々の点から考察して,見掛け比重はPVC粉末表面の多孔質性を表わすよい尺度であり,ポリマー-可塑剤系におけるゲル化性はこの多孔質性に非常に依存する。...

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  • ガス分析装置に用いる磁石式水銀コック

    柳沢 三郎, 関 道治 分析化学 8 (11), 755-756, 1959

    ...一般に研究に用いる真空装置には,グリースをつけた摺合せコックが用いられているが確実に真空系内で遮断するため,またはグリース蒸気が試料ガスと反応するおそれのあるときなどのときはY型水銀カット(下から水銀を上げて遮断する)が利用されている....

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  • 真空ポンプの排気速度測定について

    唐沢 孝 真空工業 3 (3), 76-81, 1956

    ...近頃では、真空装置には、電離真空計やフイリツプス真空計、或は、熱電対真空計等が附属しており、10<SUP>-5</SUP>mmHg以上の高真空でも、わりあい手軽に測定されている。そして使用される拡散ポンプや廻転ポンプも、排気速度を知つた上で、どの程度の大きさの真空装置には、どの程度の排気速度のポンプを取付ければよいかとゆうこともわりあい合理的に算出されるようになつた。...

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  • 質量分析計型洩り探し器に水素を用いた場合の二・三の問題

    富永 五郎, 唐澤 孝 真空技術 3 (4), 39-45, 1952

    ...真空装置の洩り探し器として、質量分析計とヘリウムを組み合せて使った場合、優れた成果を上げうることはすでに知られている。probe gasとして水素を使った場合には感度1/10～1/100位低下するといわれているが、この場合の感度の限界及びその感度を上げる事についてのまとまった結論は未だ明らかにされていない。この点についてわれわれの得た結果を報告する。...

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  • 高眞空装置, 附属品其他

    林 主税 真空技術 2 (1), 10-12, 1951

    真空技術は実験室の技術からはなれて, 工業の基礎としての技術の様相を深め, 既成の電気的, 機械的若しくは化学的技術が工学としての真空技術の上に肉づけを行いつヽあるように見受けられる。一方ではLeak Detectionのように, 本来真空技術の領域で生れたものが, 他の分野で応用の道を拓きつヽあることもこの様な段階での当然の事態であろう。

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  • 可塑剤蒸溜装置について

    蜂谷 謙一 真空技術 2 (1), 33-39, 1951

    ...吾々は一昨年来D.O.P.系統の可塑剤メーカーより依頼を受け工業的高真空蒸溜装置の製作を行い大体要求通りの性能を挙げる事が出来、製品は現在日本の需要の大部分を賄いつヽあるので、是に既に運転中のものについて概略の説明と真空装置としての今後の問題等を一通り挙げて見たい。...

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