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検索結果 8 件

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  • シリコンセンサ・MEMSの現状と将来

    江刺 正喜 映像情報メディア学会技術報告 23.57 (0), 99-106, 1999

    ...容量型のAFM(原子間力顕微鏡)/SNOM(走査型近接場光顕微鏡)用プローブ、極端に小さな突起を製作するナノマシニング、ナノパターンを転写するための近接場光リソグラフィを開発した。...

    DOI Web Site 参考文献24件

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