検索結果を絞り込む

本文・本体へのリンク

検索結果 9 件

  • 1 / 1

  • 水素イオン注入した単結晶シリコンの機械的特性

    郷原 広道, 辻 裕一 精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 576-576, 2003

    現在,半導体業界ではLSIの高速化に伴い,シリコン単結晶に薄い絶縁膜層を挟み電気的に絶縁された3層構造であるSOI基盤が利用されている.その製作方法は経験に頼られており,強度評価をベースにしていない.そこで,水素イオン注入による機械的特性・評価方法を調査する有用性がある.本研究ではSmart cut法の製作工程を考慮し,水素イオン注入によるシリコンの機械的特性の変化について考察している.

    DOI

  • アルカリ・メタノール蒸解の経済的評価

    小林 正明, 佐々木 坤彪, 郷原 弘治, 長沢 武夫 紙パ技協誌 32 (9), 525-532, 1978

    Alkali-methanol cooking of mixed hardwood chip has been studied and the results were compared with kraft cooking. A recovery process of methanol which was similar to that of conventional kraft …

    DOI Web Site

  • 1 / 1
ページトップへ