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渡辺 智仁, 涌井 伸二, 高橋 正人 自動制御連合講演会講演論文集 50 (0), 12-12, 2007
...嫌振機器に対して空圧式除振装置が知られている．同装置に制御圧を送るためにノズルフラッパ型バルブ(NF弁)が使用されている．従来，制御的にはNF弁を一定ゲインとして扱っていた．しかし，高周波帯域ではNF弁が機械振動を起こしている．静寂な振動環境実現のためにはこれを低減する必要がある．まず，駆動回路の形式，除振装置の動作条件によりNF弁の機械振動が有意なレベルであることを示す．次に，機械・電気的対策によって...
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