為村 成亨, 宮川 和典, 大竹 浩, 久保田 節, 菊地 健司, 沖野 徹, 廣瀬 裕, 加藤 剛久, 寺西 信一
映像情報メディア学会技術報告
40.12
(0),
13-16,
2016
塩素ドープ結晶セレン光電変換膜を適用した積層型CMOSイメージセンサを開発した.結晶セレンの結晶粒径や膜表面の平坦性は撮影した映像の画質に大きく影響するため,今回,結晶セレンに塩素をドープすることで結晶粒径を微細化し,膜の平坦性を大きく向上出来ることを示した.また,塩素ドープ結晶セレンを適用することで,局所的な電界集中に起因した白キズの発生を低減できることを実証した.
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